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2022年5期

刊物介紹

本刊為國內(nèi)外公開發(fā)行的技術性刊物,以報道半導體設備及半導體產(chǎn)業(yè)鏈技術與材料為主要方向,以“公布新的科技成就,傳播科技信息,交流學術思想,促進科技成果的商品化、產(chǎn)業(yè)化,為建設社會主義精神文明與物質(zhì)文明服務”為本刊的為刊方針。發(fā)揮傳媒優(yōu)勢,全方位服務于微電子行業(yè)的廣大科技工作者。

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