郝曉紅　梅雪松　張東升　陶　濤　姜歌東　

摘要：針對磁懸浮精密定位平臺的運動穩(wěn)定性問題，設(shè)計了一種新型六自由度磁懸浮精密定位平臺。該平臺采用12個空心電磁線圈做定子、36塊永磁體做動子，懸浮部分與驅(qū)動部分相互獨立，從而很好地解決了由電磁線圈鐵心引起的非線性以及懸浮與驅(qū)動單元之間的相互耦合問題。采用羅侖茲定律，分析了永磁體長度、線圈電流和懸浮位移對懸浮穩(wěn)定性的影響，確定了平臺的懸浮平衡位置，建立了平臺在平衡位置附近的懸浮數(shù)學模型，并進行了動態(tài)響應(yīng)仿真研究。研究結(jié)果表明，該磁懸浮精密定位平臺在懸浮電流為2A、懸浮高度為0．5mm時可以穩(wěn)定懸浮，因此可應(yīng)用于需要超精密定位和超潔凈環(huán)境的半導(dǎo)體光刻裝置中。

關(guān)鍵詞：磁懸浮；精密定位平臺；穩(wěn)定性

中圖分類號：TH113文獻標識碼：A文章編號：0253—987X(2005)09-0937—04