王權(quán)岱　段玉崗　丁玉成　盧秉恒　張亞軍

摘要：針對(duì)目前微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)制造中存在的三維加工能力不足的問(wèn)題，將壓印光刻技術(shù)和分層制造原理相結(jié)合，研究了三維MEMS制造的新工藝。采用視頻圖像原理構(gòu)建了多層壓印的對(duì)正系統(tǒng)，對(duì)正精度達(dá)到2／μm。通過(guò)降低黏度和固化收縮率，兼顧彈性和固化速度，開(kāi)發(fā)了適用于微壓印工藝的高分辨率抗蝕劑材料，并進(jìn)行了勻膠、壓印和脫模工藝的優(yōu)化實(shí)驗(yàn)。通過(guò)原子力顯微鏡對(duì)壓印結(jié)果進(jìn)行了分析，分析結(jié)果表明，圖形從模具到抗蝕劑的轉(zhuǎn)移誤差小于8％，具有制作復(fù)雜微結(jié)構(gòu)的能力，同時(shí)也為MEMS的制作提供了一種高效低成本的新方法。

關(guān)鍵詞：壓印光刻；分層制造；微電子機(jī)械系統(tǒng)；對(duì)正

中圖分類號(hào)：TH162．1；TH163文獻(xiàn)標(biāo)識(shí)碼：A文章編號(hào)：0253—987X(2005)09—0946—04