韋進(jìn)文　郭俊杰

摘要：提出了用于坐標(biāo)測量機(jī)(CMM)加速度誤差補(bǔ)償?shù)臍飧?dǎo)軌的剛度和阻尼的估計方法。利用CMM框架模型建立振動方程，并轉(zhuǎn)化為包含剛度和阻尼參數(shù)的慣性系統(tǒng)的頻響函數(shù)形式。通過試驗測試了CMM系統(tǒng)的加速度頻率響應(yīng)，由相應(yīng)的Bode圖而非Levy法估算了CMM氣浮導(dǎo)軌的剛度與阻尼，對參數(shù)辨識后的CMM系統(tǒng)進(jìn)行模態(tài)分析，從而得到了采用模態(tài)疊加法的加速度誤差補(bǔ)償模型。試驗表明，用該方法進(jìn)行的加速度誤差補(bǔ)償，CMM測端處誤差預(yù)測值與實測值的相關(guān)系數(shù)大于O.7，證明了該方法的可靠性。

關(guān)鍵詞：坐標(biāo)測量機(jī)；氣浮導(dǎo)軌；誤差補(bǔ)償

中圖分類號：TH703.4；TH113．1文獻(xiàn)標(biāo)志碼：A文章編號：0253—987X(2009)01—0047—05