羅 扣， 陳軍寧， 高 珊， 張志偉

（安徽大學(xué)電子信息工程學(xué)院，安徽合肥 230601）

隨著柵氧厚度、結(jié)深和溝道長度的減小，MOSFET溝道中的載流子在強(qiáng)電場的作用下將獲得額外的高能量，這種具有很高能量的載流子稱為“熱載流子”。載流子通過聲子發(fā)射越過Si／SiO2界面勢壘進(jìn)入SiO2氧化層，在界面處產(chǎn)生了界面陷阱，在氧化層中產(chǎn)生了氧化層陷阱，從而使得器件的許多電性參數(shù)退化，如閾值電壓漂移，導(dǎo)通電阻漂移等，這就是熱載流子效應(yīng)［1］。熱載流子效應(yīng)是影響LDMOSFET可靠性的重要因素，LDMOSFET熱載流子效應(yīng)的程度受器件LDD區(qū)雜質(zhì)分布、溝道區(qū)雜質(zhì)分布、LDD區(qū)結(jié)構(gòu)、場板結(jié)構(gòu)、氧化工藝、摻雜工藝以及器件工作狀態(tài)等多種因素影響。近年來，對(duì)LDMOSFET的結(jié)構(gòu)與熱載流子效應(yīng)之間關(guān)系的研究已經(jīng)有不少成果，本文研究LDD區(qū)結(jié)構(gòu)、場板結(jié)構(gòu)以及工藝條件均相同，而器件LDD區(qū)雜質(zhì)分布、溝道區(qū)雜質(zhì)分布不同時(shí)器件熱載流子效應(yīng)所表現(xiàn)出來的不同特征。

1 最壞熱載流子應(yīng)力條件分析

為了盡可能準(zhǔn)確地預(yù)測器件的退化特性，通常將器件置于最惡劣工作條件中，即器件的最壞熱載流子應(yīng)力條件。因此，研究LDMOSFET熱載流子效應(yīng)要先找到LDMOSFET的最壞熱載流子應(yīng)力條件。由于場效應(yīng)管中漂移區(qū)（N－）的存在，對(duì)器件的電勢進(jìn)行了再分布，從而普通MOSFET的最大襯底電流應(yīng)力（VG＝VD／2）將未必是LDMOSFET的最壞熱載流子應(yīng)力條件［2］，本文將采用觀察器件在不同柵壓條件下，襯底電流和柵極熱電子電流的變化曲線來尋找LDMOSFET的最壞熱載流子應(yīng)力條件。本文中器件采用常用的LDMOSFET結(jié)構(gòu)，如圖1所示，LDMOSFET采用橫向雙擴(kuò)散的MOSFET硅工藝技術(shù)，即在同一窗口相繼進(jìn)行2次雜質(zhì)擴(kuò)散，2次雜質(zhì)擴(kuò)散形成的橫向結(jié)深之差精確地決定了器件溝道長度。其中AB為柵極板，BC為場極板。

圖1 N－LDMOS結(jié)構(gòu)縱向剖面示意圖

結(jié)構(gòu)和摻雜參數(shù)如下：漏源濃度峰值均為7× 1019cm－3，襯底濃度為7×1014cm－3。AB長1.1μm，BC長2.7μm，柵氧厚度為30 nm，場氧厚度為520 nm。器件在常用柵壓下，漏壓15 V左右達(dá)到了飽和狀態(tài)，擊穿電壓80 V，此處選取的漏端電壓為40 V，保證了器件不發(fā)生擊穿。5種不同摻雜濃度下襯底電流與柵壓的關(guān)系，如圖2所示。

圖2 襯底電流與柵壓的關(guān)系

圖2中，n.ch、n.dr分別表示溝道摻雜濃度和漂移區(qū)摻雜濃度。在選取的5種LDMOSFET摻雜參數(shù)中最大襯底電流應(yīng)力條件都并非如普通MOSFET為VG＝VD／2，而是遠(yuǎn)遠(yuǎn)小于VD／2。并且增加漂移區(qū)摻雜濃度，其最大襯底電流應(yīng)力條件呈現(xiàn)出向后漂移的趨勢，這是漂移區(qū)的存在所致。因?yàn)橛辛似茀^(qū)在溝道與漏極之間充當(dāng)緩沖區(qū)，器件中的電場分布發(fā)生變化，在漂移區(qū)中產(chǎn)生高場區(qū)，從而產(chǎn)生了新的碰撞電離區(qū)，使得襯底電流上升［3］。5種不同摻雜濃度下柵極熱電子電流與柵壓的關(guān)系，如圖3所示。

圖3 柵極電流與柵壓的關(guān)系

圖3表明了在選取的5種LDMOSFET摻雜中，進(jìn)入到柵極的熱電子電流隨柵壓的變化趨勢與圖2相似，但最大柵極熱電子電流并非發(fā)生在最大襯底電流應(yīng)力處，而是在更高的柵壓處。由此可見，隨著溝道摻雜濃度的增加，器件更容易達(dá)到最大柵電流應(yīng)力條件（即最壞熱載流子應(yīng)力條件），柵極電流主要由溝道熱載流子電流組成［3］。

LDDMOSFET是漏端輕摻雜器件，與LDMOSFET結(jié)構(gòu)相似，其漏端輕摻雜結(jié)構(gòu)與LDMOSFET的漂移區(qū)結(jié)構(gòu)都起到有效抑制熱載流子效應(yīng)的作用。由于LDMOSFET和LDDMOSFET都是將漏端高電場轉(zhuǎn)移、分散，伴隨高電場的轉(zhuǎn)移，器件的退化特點(diǎn)發(fā)生了變化［4－5］。這2種器件的退化特性具有相似性。圖4所示為LDDMOSFET器件分別在VD＝VG（溝道熱載流子應(yīng)力條件，CHC）、Isubmax（最大襯底電流應(yīng)力條件，DAHC）應(yīng)力下實(shí)驗(yàn)所得的飽和區(qū)漏電流退化比較［6］。

比較圖2與圖3可見，在較低柵壓下2種電流變化趨勢相似，說明襯底電流在較低柵壓條件下可以作為器件熱載流子效應(yīng)強(qiáng)弱的表征量。在較高柵壓下，襯底電流已經(jīng)趨于飽和，但柵極電流會(huì)繼續(xù)增加。在VDS＝40 V時(shí)，柵壓在20 V附近柵極電流明顯高于最大襯底電流應(yīng)力下的柵電流，圖4的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)說明，LDMOSFET器件可以把溝道熱載流子的多少作為最壞熱載流子應(yīng)力條件衡量標(biāo)準(zhǔn)。

圖4 LDDMOSFET飽和區(qū)漏電流退化對(duì)比

2 區(qū)域摻雜與器件退化的關(guān)系

出于器件安全工作區(qū)域方面的考慮，在進(jìn)行應(yīng)力仿真實(shí)驗(yàn)時(shí)，選取了非常接近最壞熱載流子應(yīng)力條件的設(shè)置，以靜態(tài)偏置為柵壓VGS＝16 V和漏壓VDS＝40 V來分析器件的退化情況。在器件的電極上施加此應(yīng)力，表1中顯示的是在溝道摻雜濃度為6×1016cm－3時(shí)，不同漂移區(qū)摻雜下的漏電流IDS、進(jìn)入柵極的熱電子電流IG、碰撞電離產(chǎn)生的襯底電流ISUB經(jīng)過4.5×108s后的退化情況。表1表明這3種電流的退化都不是很明顯，隨著漂移區(qū)摻雜濃度的增加，器件的這3種電流的退化速度減弱了，可見適當(dāng)?shù)靥岣咂茀^(qū)摻雜濃度可以有效降低器件的熱載流子效應(yīng)。表1中的負(fù)值說明襯底電流值是上升的，這是由于漂移區(qū)的存在，器件退化過程中，電勢發(fā)生再分布，導(dǎo)致了局部碰撞電離增強(qiáng)，這是LDMOSFET獨(dú)特的退化特性［7］。

表1 器件退化率與漂移區(qū)摻雜濃度的關(guān)系 %

表2中顯示的是在漂移區(qū)摻雜濃度為6× 1016cm－3時(shí)，不同溝道區(qū)摻雜下的漏電流IDS、進(jìn)入柵極的熱電子電流IG、碰撞電離產(chǎn)生的襯底電流ISUB經(jīng)過4.5×108s后的退化情況，表2說明隨著溝道區(qū)摻雜濃度的增加，器件的退化變得很劇烈，直接影響到了器件的使用壽命。

表2 器件退化率與溝道區(qū)摻雜濃度的關(guān)系 %

通過對(duì)表1和表2的數(shù)據(jù)進(jìn)行分析，可知溝道的摻雜對(duì)器件的熱載流子效應(yīng)更具有影響力，這是在器件漂移區(qū)結(jié)構(gòu)、場板結(jié)構(gòu)相同的情況下所表現(xiàn)出來的特征。

比較表1和表2可以發(fā)現(xiàn)，隨著溝道區(qū)摻雜濃度的減少或者漂移區(qū)濃度的增加，漏電流、柵極電流和襯底電流的退化速度都會(huì)明顯減弱。可見由于漂移區(qū)的存在，器件的退化特性具有了新的特點(diǎn)，即漂移區(qū)的存在使得LDMOSFET的熱載流子效應(yīng)得到有效的抑制，下面將對(duì)這一現(xiàn)象進(jìn)行詳細(xì)的解釋。

3 區(qū)域摻雜與熱載流子作用機(jī)理

器件的熱載流子效應(yīng)由MOSFET的柵極電流直接反映，本文將根據(jù)柵極電流的來源，詳細(xì)分析LDMOSFET中熱電子的產(chǎn)生以及對(duì)器件的作用機(jī)理。

3.1 區(qū)域摻雜與電場分布

圖5所示為漂移區(qū)摻雜濃度作為遞增變量時(shí)LDMOSFET中的電場曲線圖。

圖5 LDMOSFET電場強(qiáng)度分布

由圖5可見，隨著漂移區(qū)摻雜濃度的升高，器件的高電場由近漏端區(qū)域向場極板以下區(qū)域以及近溝道區(qū)域轉(zhuǎn)移，在高電場下碰撞電離加劇，文獻(xiàn)［8］中提出襯底電流與漏極電流、漏壓和電場的關(guān)系如下：

其中，Ib為襯底電流；C1為系數(shù)，ID為漏極電流；Ei為熱電子通過碰撞電離產(chǎn)生電子 －空穴對(duì)所必須具有的最小能量；E為高場區(qū)的電場強(qiáng)度。λ為熱電子得到能量kBTe所經(jīng)過的平均自由程，其中kB為玻爾茲曼常數(shù)，Te為熱載流子溫度。增加?xùn)艍汉吐弘m然可以增加漏極電流ID，但同時(shí)也增強(qiáng)了器件的熱載流子效應(yīng)。從（1）式可以看出，襯底電流與電場強(qiáng)度是增函數(shù)的關(guān)系。

鑒于LDMOSFET的特殊結(jié)構(gòu)，發(fā)生碰撞電離的區(qū)域與器件的電場分布以及電流密度有著緊密的聯(lián)系。由圖5可以看出，一定的應(yīng)力條件下，隨著漂移區(qū)中摻雜濃度的增加，電子碰撞幾率上升，在漂移區(qū)內(nèi)發(fā)生強(qiáng)烈的碰撞電離，從而襯底電流又有了新的來源。但是由于器件獨(dú)特的漂移區(qū)結(jié)構(gòu)，在漂移區(qū)內(nèi)產(chǎn)生的熱載流子并不能直接影響柵氧化層，由于場氧層的勢壘比柵氧層高出許多（本文中LDMOSFET所采用的場氧厚度是柵氧厚度的17倍），對(duì)場氧的損傷也是非常小，有效地抑制了器件中的熱載流子效應(yīng)［9－10］。

3.2 LDMOSFET中的碰撞電離分布

通過仿真，得到了碰撞電離分布圖。圖6 a、圖6 b分別表示的是漂移區(qū)摻雜濃度、溝道摻雜濃度作為遞增變量時(shí)LDMOSFET中的碰撞電離分布圖。圖中顯示出發(fā)生碰撞電離的區(qū)域，可以比較直觀地發(fā)現(xiàn)熱電子電流的來源。

圖6 碰撞電離分布

從圖6可以看出，碰撞電離主要發(fā)生在溝道與漂移區(qū)相遇形成的PN結(jié)附近和近漏極區(qū)域，其中近溝道的場極板下方區(qū)域碰撞電離程度較強(qiáng)烈。比較圖6a、圖6b可以發(fā)現(xiàn)，隨著溝道摻雜濃度降低，漂移區(qū)摻雜濃度升高，器件的碰撞電離主要分布區(qū)有向漂移區(qū)轉(zhuǎn)移的趨勢，這與圖5中的電場強(qiáng)度分布相對(duì)應(yīng)。

3.3 區(qū)域摻雜與器件退化

通過以上仿真結(jié)果及理論分析，可知增加溝道摻雜濃度，加劇了熱載流子效應(yīng)，直接提高了熱電子進(jìn)入柵氧的數(shù)量；增加漂移區(qū)濃度，對(duì)熱載流子效應(yīng)略有加強(qiáng)，但是漂移區(qū)內(nèi)產(chǎn)生的熱電子進(jìn)入的是場氧區(qū)［11］，從而被柵極收集到的熱電子更是極少，而且場氧厚度達(dá)到520 nm（柵氧厚度為30 nm），所以場氧的勢壘高度遠(yuǎn)遠(yuǎn)高于柵氧，熱電子進(jìn)入場氧的概率是非常小。這樣就定性地解釋了表1和表2中漏電流、柵電流、襯底電流的退化機(jī)制。

4 結(jié) 論

通過以上的仿真結(jié)果以及理論分析，器件的區(qū)域摻雜與器件熱載流子效應(yīng)的關(guān)系為：

（1）增加器件摻雜濃度，提升器件驅(qū)動(dòng)能力的同時(shí)，縮減了器件的安全工作區(qū)（擊穿電壓降低），也使得熱電子效應(yīng)加劇，降低了器件的穩(wěn)定性和可靠性。相對(duì)于增加溝道摻雜，增加漂移區(qū)摻雜可使這一矛盾得到緩和。

（2）增加溝道區(qū)的摻雜濃度和漂移區(qū)的摻雜濃度都會(huì)增強(qiáng)熱電子效應(yīng)，其中，增加溝道區(qū)的摻雜濃度會(huì)使得器件的電學(xué)特性退化更加明顯，而增加漂移區(qū)的摻雜濃度結(jié)果正好相反。通過仿真數(shù)據(jù)分析可知，溝道區(qū)的摻雜濃度對(duì)器件的熱載流子效應(yīng)比漂移區(qū)摻雜具有更大的影響。因此，在保證器件驅(qū)動(dòng)能力的情況下，在確定各個(gè)區(qū)域的摻雜時(shí)，要本著溝道摻雜不調(diào)或微調(diào)的原則，來規(guī)劃漂移區(qū)的結(jié)構(gòu)和摻雜。

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