1納米是一根頭發(fā)絲的8萬(wàn)分之一，而小于1納米則被稱為亞納米——這是國(guó)防科大精密工程創(chuàng)新團(tuán)隊(duì)在超精密光學(xué)零件加工中創(chuàng)造的“中國(guó)精度”，有力支撐了“極大規(guī)模集成電路制造裝備與成套工藝”等3個(gè)國(guó)家重大科技專項(xiàng)創(chuàng)新突破，3年來(lái)為國(guó)家創(chuàng)造直接經(jīng)濟(jì)效益超2億元，兩種超精拋光裝備通過(guò)國(guó)家重大科技專項(xiàng)驗(yàn)收。

超精密加工是以高精度為目標(biāo)的先進(jìn)制造技術(shù)，納米精度被譽(yù)為超精密加工技術(shù)皇冠上的明珠，西方發(fā)達(dá)國(guó)家將其視為戰(zhàn)略資源，嚴(yán)格限制出口。面對(duì)我國(guó)光學(xué)零件制造水平的窘境，國(guó)防科大精密工程創(chuàng)新團(tuán)隊(duì)在李圣怡教授率領(lǐng)下，跳過(guò)一、二代光學(xué)零件制造加工技術(shù)，直接瞄準(zhǔn)基于可控柔體制造的第三代光學(xué)加工方法開(kāi)展攻關(guān)，在國(guó)內(nèi)首次研制出擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的磁流變、離子束兩種超精拋光裝備，創(chuàng)造了我國(guó)光學(xué)零件加工亞納米的“中國(guó)精度”奇跡，使我國(guó)光學(xué)自動(dòng)化加工技術(shù)及工藝一躍進(jìn)入世界先進(jìn)水平，成為繼美國(guó)、德國(guó)之后第三個(gè)掌握高精度光學(xué)零件制造加工技術(shù)的國(guó)家，也是目前世界上唯一同時(shí)具有磁流變和離子束拋光裝備研發(fā)能力的國(guó)家。