郭鵬

投資MEMS不宜操之過急。MEMS技術(shù)的成熟需要長期的投入和積累，企業(yè)可將它融入到特色工藝開發(fā)的綜合業(yè)務中去，最大限度發(fā)揮設備潛力，提高產(chǎn)線的生存能力。

MEMS（微機電系統(tǒng)）技術(shù)歷經(jīng)半個世紀的發(fā)展，成為幾乎所有領(lǐng)域微型化后都必然面對的趨勢，形成了納米器件、生物醫(yī)學、光學、能源、海量數(shù)據(jù)存儲等諸多分支，并從單一MEMS器件和功能向系統(tǒng)功能集成方向發(fā)展，帶動與之相關(guān)的納米科學、生化分析、微流體理論等科學研究。

2013年，全球MEMS代工業(yè)并未取得預期中的高速增長。從全球來看，MEMS代工業(yè)滯后于MEMS市場的發(fā)展，80%的銷售額屬于IDM（整合元件制造商）。IDM雖然只有ST、SONY、Dalsa三家，但在收入中占比接近60%。

中國MEMS產(chǎn)業(yè)化進程明顯滯后于西方發(fā)達國家，旺盛的MEMS市場需求與相對薄弱的產(chǎn)業(yè)形成反差。具有一定知名度和出貨量的本土MEMS企業(yè)仍然屈指可數(shù)，逐鹿中國市場的主要競爭者仍以跨國企業(yè)為主，產(chǎn)業(yè)迫切需要具有MEMS流片經(jīng)驗的高端技術(shù)人才。

目前，國內(nèi)MEMS代工廠主要有華潤上華、中芯國際、上海先進等。工藝開發(fā)是目前代工廠面臨的主要問題之一。單從硬件來看，海外成功的代工廠在設備上與國內(nèi)代工廠不相上下，但海外代工廠的工藝開發(fā)能力遠優(yōu)于國內(nèi)代工廠。海外代工廠的開發(fā)速度較快，一般半年時間能形成穩(wěn)定產(chǎn)能、較高良率，而國內(nèi)代工廠通常需要3～5年的時間。

盡管代工廠的MEMS業(yè)務尚未風生水起，但由于看好中國MEMS產(chǎn)業(yè)的發(fā)展前景，大量資本涌入MEMS產(chǎn)業(yè)。目前來看，國內(nèi)MEMS產(chǎn)線投資旺盛，一批項目正在建設，同時還有一批項目正在策劃、評審中。正在建設的項目絕大多數(shù)定位為IDM+代工的模式，如洛陽力盛芯8英寸光MEMS產(chǎn)線、遼寧撫順罕王集團8英寸產(chǎn)線、中電13所6英寸產(chǎn)線，還有淄博4英寸中試線、蚌埠6英寸中試線和蘇州工業(yè)園的6英寸代工線等。到2015年，MEMS產(chǎn)線將陸續(xù)建成，形成近85萬片的年產(chǎn)能，但由于設計能力薄弱，國內(nèi)MEMS設計公司在與跨國企業(yè)競爭中處于弱勢，難以拿到相匹配的訂單。2013年中國大陸生產(chǎn)MEMS晶圓3.6萬片，其中45.9%為6英寸晶圓，主要用于科研、中試、中低端產(chǎn)品生產(chǎn)，45.9%為8英寸晶圓，主要用于中試、中高端產(chǎn)品生產(chǎn)。

僅僅依靠擴大產(chǎn)能并不能實現(xiàn)中國MEMS產(chǎn)業(yè)的跨越式發(fā)展，技術(shù)是中國MEMS產(chǎn)業(yè)鏈的短板。國內(nèi)設計業(yè)產(chǎn)品技術(shù)不夠成熟，特色不夠鮮明，市場認可度不高；而代工廠對特定產(chǎn)品也缺乏足夠的技術(shù)儲備，量產(chǎn)階段的設計公司往往更愿意跟海外的代工廠合作，以期望得到足夠的良率和穩(wěn)定的產(chǎn)品。

投資MEMS不宜操之過急。MEMS技術(shù)的成熟需要長期的投入和積累，企業(yè)可將它融入到特色工藝開發(fā)的綜合業(yè)務中去，最大限度發(fā)揮設備潛力，提高產(chǎn)線的生存能力。此外，企業(yè)可參照代工廠的模式，放開特色工藝的品種，除了MEMS之外，發(fā)展功率器件、圖像傳感器等多元化代工業(yè)務，根據(jù)市場需求及時調(diào)整產(chǎn)能配比，從而避免因為MEMS訂單不足而閑置機臺，造成大量浪費。endprint