巨化股份近日發(fā)布公告:擬設(shè)立全資子公司并由其投資1.5億元實(shí)施高純電子氣體項(xiàng)目(一期)，以加快電子化學(xué)品業(yè)務(wù)培育，促進(jìn)轉(zhuǎn)型升級，優(yōu)化產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)。

該項(xiàng)目擬新建1000 t/a醫(yī)藥級氯化氫、1000 t/a高純氯化氫、500 t/a高純氯氣等系列產(chǎn)品的生產(chǎn)裝置及相關(guān)配套設(shè)施。其中，高純氯化氫主要用于半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)過程中的清洗和外延生長工藝;高純氯氣主要用于液晶平板顯示器、光纖和半導(dǎo)體行業(yè)，被用作蝕刻氣體和脫水劑;醫(yī)藥級氯化氫產(chǎn)品主要用于醫(yī)藥合成原料。

據(jù)測算，項(xiàng)目達(dá)產(chǎn)后，預(yù)計年均利潤總額5200萬元，所得稅前財務(wù)內(nèi)部收益率約為24%，所得稅后財務(wù)內(nèi)部收益率約為20%。根據(jù)公告，項(xiàng)目生產(chǎn)裝置計劃2015年4月開工建設(shè)，2015年12月具備試車條件。

業(yè)內(nèi)人士介紹，電子氣體是特種氣體的一個重要分支。隨著我國超大規(guī)模集成電路、平板顯示器、光伏發(fā)電等產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展，電子氣體市場需求量明顯增長，廣泛應(yīng)用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴(kuò)散等工藝。例如在目前工藝技術(shù)較為先進(jìn)的超大規(guī)模集成電路工廠的晶圓片制造過程中，全部工藝步驟超過450道，其中大約要使用50種不同種類的電子氣體。