【摘 要】本文從生產(chǎn)角度闡述了彩色濾光片（簡稱彩膜CF）一個很重要的工序-涂布制程中所容易產(chǎn)生的一種Mura缺陷，通過缺陷分析，色度膜厚測量做對比等多種手法，明確說明了不良Mura所發(fā)生的原因，并通過多組實(shí)驗作對比，得出了控制涂布Mura的最佳方法。

【關(guān)鍵詞】Mura缺陷，彩色濾光片，Nozzle堵塞

前言

目前，平板顯示已經(jīng)成為顯示產(chǎn)業(yè)的主角，其中最成功應(yīng)用最廣泛的當(dāng)屬TFT-LCD，它已廣泛地使用在筆記本電腦、手機(jī)、顯示器和電視等和人類生活相關(guān)的各類電子產(chǎn)品上；它具有功耗低、外形薄、重量輕等特征，而彩色濾光片是液晶顯示器件的重要組成部件，占TFT-LCD所有制造成本的20%以上，高品質(zhì)的彩色濾光片對TFT-LCD的色彩表現(xiàn)具有決定性的影響，所以保證彩色濾光片的合格率關(guān)系到公司的競爭力和利益。本文通過多年來CF生產(chǎn)制造經(jīng)驗，總結(jié)出涂布過程中易產(chǎn)生的一種常見不良Mura，通過多次實(shí)驗，提出了有效的改善方案，提升彩色濾光片生產(chǎn)的合格率。

一. 涂布Mura

在CF制造過程中，黃光的每道工序（一般有BM/R/G/B/PS）都涉及到涂布工序，它的作用是將光阻均勻的涂到基板上去（如圖1所示）。

玻璃基板在B線涂布過后，有時會存在線Mura檢測機(jī)臺的檢查發(fā)現(xiàn)沿著玻璃長邊方向出現(xiàn)一道寬度均等的Mura，不良為Glass共通Mura，如有出現(xiàn)均是批量性不良，該不良嚴(yán)重影響產(chǎn)品的合格率，對公司的成本造成很大損害。

二. 調(diào)查與實(shí)驗

（一）原因調(diào)查

由于Mura檢查機(jī)臺在線體分布在涂布工序之后（如圖2所示），所以檢查出不良Mura后，往前道機(jī)臺推理，發(fā)現(xiàn)不良Mura的方向與基板涂布方向一致，推測可能為Nozzle 堵塞，造成涂布時光阻不均勻，從而產(chǎn)生涂布Mura。

（二）不良分析

針對不良品進(jìn)行特性分析，用色度機(jī)對Mura區(qū)特性測量，結(jié)果：mura區(qū)B畫素（Y，x，y）較正常區(qū)明顯偏大，具體見圖3，由特性得出不良Mura是由B制程產(chǎn)生，由特性可以看出不良區(qū)的膜厚偏薄。

（三）實(shí)驗驗證

a. 在Mura檢查機(jī)發(fā)生不良Mura后，針對B涂布機(jī)的Nozzle 用無塵布進(jìn)行擦拭清潔，擦拭后流片確認(rèn)，不良Mura任然繼續(xù)存在。

b. 繼續(xù)清潔Nozzle ，用刮片對Nozzle內(nèi)部清潔，發(fā)現(xiàn)Nozzle里有輕微堵塞現(xiàn)象，量測位置發(fā)現(xiàn)和不良Mura位置相符，疏通Nozzle 后，流片確認(rèn)發(fā)現(xiàn)不良Mura任然存在，但程度已有所變輕。

c. 拆解Nozzle ，發(fā)現(xiàn)不良Mura位置對應(yīng)的Nozzle處，有光阻已凝結(jié)，導(dǎo)致堵塞，清潔后裝上流片確認(rèn)，不良Mura消失。

三. 結(jié)論

通過以上分析和實(shí)驗得出，光阻凝結(jié)導(dǎo)致Nozzle堵塞，是產(chǎn)生玻璃長邊方向不良Mura的根本原因。而導(dǎo)致光阻凝結(jié)的原因是Nozzle長時間沒有清潔，后續(xù)根據(jù)大量流片確認(rèn)，多次實(shí)驗結(jié)果，得出目前生產(chǎn)的光阻每班（12小時）清潔Nozzle一次，包含擦、刮等動作，從而可以保證Nozzle不會堵塞；后續(xù)如更換光阻，還需進(jìn)一步實(shí)驗。

參考文獻(xiàn)：

[1] 任書銘，郭小軍，范剛洪，彩色濾光片制程中顯影液殘留缺陷的改善 1006-6268（2012）03-0021-05

[2] 王銀春， TFT-LCD生產(chǎn)中彩色濾光片引起的不良分析及改善

作者簡介：

高廣修（1983-），男，南京中電熊貓液晶材料科技有限公司工程師，主要從事CF生產(chǎn)的技術(shù)管理和生產(chǎn)管理工作。