西安工業(yè)大學(xué)將脈沖電弧離子束鍍膜技術(shù)、非平衡磁控濺射鍍膜技術(shù)和電子束熱蒸發(fā)鍍膜技術(shù)根據(jù)薄膜種類進(jìn)行組合使用，研制出了一種多功能組合光學(xué)鍍膜機(jī)，成功實現(xiàn)了各種光學(xué)薄膜、光電功能多層薄膜以及光電微系統(tǒng)的制備。該光學(xué)鍍膜機(jī)具備鍍膜時被鍍件始終保持在真空狀態(tài)，蒸發(fā)源實時快速轉(zhuǎn)換的優(yōu)點(diǎn)，可實現(xiàn)所有的功能加工在一臺設(shè)備內(nèi)完成，有效地避免了采用不同方法制造薄膜器件時，薄膜界面之間由外界污染造成的影響，克服了以往不同技術(shù)沉積光學(xué)薄膜時的薄膜界面之間附著力下降乃至脫膜的問題，前后兩種材料之間銜接緊密，產(chǎn)品的品質(zhì)和合格率得到有效提升，在不降低薄膜紅外光學(xué)特性的基礎(chǔ)上，抗惡劣環(huán)境能力得以提高。該設(shè)備擁有三種蒸發(fā)裝置，在啟動單一設(shè)備時，可提供具有單一功能的薄膜；根據(jù)不同薄膜特性要求選擇不同的沉積方式將三種蒸發(fā)裝置合理組合使用，就可以滿足各種光學(xué)薄膜、光電功能多層薄膜以及光電微系統(tǒng)的制備。該設(shè)備造價低，性價比高，一機(jī)多用，整個鍍膜時間減少了40%左右，在鍍制優(yōu)質(zhì)光學(xué)薄膜的同時，有效降低了企業(yè)生產(chǎn)成本，大幅提高了生產(chǎn)效率。