康 寧, 唐 軍, 李大林, 陳 萌, 楊江濤, 郭 浩, 劉 俊

(中北大學(xué) 電子測(cè)試技術(shù)國(guó)防重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室 儀器科學(xué)與動(dòng)態(tài)測(cè)試教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室，山西 太原 030051)

亞波長(zhǎng)金屬偏振光柵設(shè)計(jì)與分析*

康 寧, 唐 軍, 李大林, 陳 萌, 楊江濤, 郭 浩, 劉 俊

(中北大學(xué) 電子測(cè)試技術(shù)國(guó)防重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室 儀器科學(xué)與動(dòng)態(tài)測(cè)試教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室，山西 太原 030051)

為解算大氣偏振態(tài)來(lái)實(shí)現(xiàn)精確導(dǎo)航,基于嚴(yán)格耦合波分析，設(shè)計(jì)了適用于復(fù)眼結(jié)構(gòu)的亞波長(zhǎng)金屬偏振器。針對(duì)不同周期、占空比和金屬層厚度的單層、雙層金屬光柵進(jìn)行了仿真分析，結(jié)合實(shí)際工藝水平和加工成本，最后選定周期200 nm，占空比0.5，深度200 nm，金屬層厚度100 nm的雙層金屬光柵作為復(fù)眼結(jié)構(gòu)的檢偏器，設(shè)計(jì)的雙層金屬光柵在中心波段450 nm的藍(lán)光(400～500 nm)TM偏振光透射率為45 %，消光比達(dá)到450，達(dá)到用于偏振導(dǎo)航的要求。

亞波長(zhǎng)金屬光柵； 嚴(yán)格耦合波分析； 周期； 占空比； 金屬厚度

0 引 言

太陽(yáng)光在傳輸過(guò)程中因大氣的散射作用而產(chǎn)生偏振光,并形成的特定的偏振態(tài)分布[1]。這種大氣偏振模式以太陽(yáng)子午線(xiàn)為中心線(xiàn)對(duì)稱(chēng)線(xiàn)分布，包含了豐富的方位信息。許多生物就能感知到大氣偏振光分布的模式，并以此來(lái)精確導(dǎo)航定位[2,3]?；谄窆庠趯?dǎo)航中的廣泛應(yīng)用前景，國(guó)內(nèi)外紛紛對(duì)光學(xué)偏振傳感器展開(kāi)了研究。Lambrinos D[4]用偏振器件模仿生物復(fù)眼測(cè)量光的偏振,并且在移動(dòng)機(jī)器人上構(gòu)建的偏振羅盤(pán)獲得了成功應(yīng)用。Ikeda S[5]等人通過(guò)電子束刻蝕在兩玻璃基底上分別制作了金屬偏振光柵，粘合2片玻璃基底后與光電二極管一起封裝制作了微型化的偏振光探測(cè)器。大連理工大學(xué)褚金奎教授[6]制作了可用于偏振導(dǎo)航的集成偏振光探測(cè)器，測(cè)量角度誤差小于±0.1°。

為了檢測(cè)天頂各方向的偏振信息，就需要設(shè)計(jì)多個(gè)子眼組成的復(fù)眼[7]結(jié)構(gòu)，每個(gè)子眼就相當(dāng)于一個(gè)偏振光探測(cè)器。要實(shí)現(xiàn)對(duì)大氣偏振光的精確的檢測(cè)，設(shè)計(jì)性能優(yōu)越的偏振器是其中關(guān)鍵。由于傳統(tǒng)的偏振片體積過(guò)大不易于集成,而通過(guò)電子束光刻、干法刻蝕、納米壓印等MEMS工藝加工可得到具備亞波長(zhǎng)結(jié)構(gòu)的金屬偏振光柵具備體積小、利于集成和偏振性能好等優(yōu)點(diǎn)，是作為子眼結(jié)構(gòu)檢偏器的理想選擇。

本文以單層、雙層金屬光柵結(jié)構(gòu)為基礎(chǔ)，針對(duì)于中心波段為450 nm的藍(lán)光(400～500 nm)。分析了不同周期、占空比、金屬層厚度的金屬偏振光柵在可見(jiàn)光波段的偏振特性，發(fā)現(xiàn)在周期200 nm左右時(shí)，單層金屬光柵的TM偏振光的透射率要比雙層金屬光柵要稍大，但是較雙層金屬光柵的消光比卻小了近1個(gè)數(shù)量級(jí)。通過(guò)對(duì)調(diào)節(jié)不同的參數(shù)，最終設(shè)計(jì)了周期200 nm，占空比0.5，深度200 nm，金屬層厚度為100 nm的雙層金屬光柵作為偏振器。

1 亞波長(zhǎng)金屬光柵的偏振特性

如圖1所示，將入射光分為T(mén)M偏振光(電場(chǎng)方向與柵線(xiàn)垂直)與TE偏振光(電場(chǎng)方向與柵線(xiàn)平行)，由于入射光的波長(zhǎng)要小于光柵周期，TM偏振光入射時(shí)，沿柵線(xiàn)方向的電子振蕩受阻，這時(shí)光柵層對(duì)TM偏振光就如同介質(zhì)層，TM偏振光可透射過(guò)去。而TE偏振光入射時(shí)，在柵條方向會(huì)激起電子自由振蕩，這時(shí)TE偏振光就會(huì)光柵層反射[8]。

圖1 金屬偏振光柵結(jié)構(gòu)圖

光柵的周期與入射光波長(zhǎng)之間的關(guān)系決定了光柵的衍射特性。光柵具有偏振性能說(shuō)明只有零級(jí)衍射。亞波長(zhǎng)光柵的光柵周期與入射光的波長(zhǎng)的比值達(dá)到某一閾值時(shí)就能滿(mǎn)足零級(jí)衍射的條件[9]

Λ(nsinθm+nisinθi)=mλ.

(1)

其中，n為光柵基底折射率，m為衍射級(jí)次，θm為對(duì)應(yīng)的衍射角，ni空氣折射率，θi為入射角。因?yàn)橹挥辛慵?jí)衍射，所以,m=1，θm=π/2，那么,入射角為0時(shí)，基底的折射率設(shè)定為1.5，λ=450 nm時(shí)，周期臨界值Λ為300 nm,即要設(shè)計(jì)的金屬偏振光柵的臨界周期為300 nm。

2 亞波長(zhǎng)金屬光柵的仿真分析

常見(jiàn)的金屬偏振光柵有的單層、雙層金屬光柵。如圖2所示，單層和雙層金屬光柵的加工流程和結(jié)構(gòu)有明顯的區(qū)別，單層金屬光柵就是基底上排列間距小于入射光波長(zhǎng)的金屬線(xiàn)條，雙層金屬光柵是在亞波長(zhǎng)介質(zhì)光柵的槽底和頂部形成具有2層金屬線(xiàn)條的結(jié)構(gòu)。為了分析兩者作為仿生復(fù)眼光學(xué)偏振器的偏振特性，利用嚴(yán)格耦合波分析(RCWA)針對(duì)不同的周期、占空比、和金屬層厚度的光柵進(jìn)行了分析。

圖2 單層金屬光柵和雙層金屬光柵加工流程

2.1 不同光柵周期的金屬光柵

根據(jù)式(1)的分析，要得到可以在450 nm波段實(shí)現(xiàn)零級(jí)衍射，光柵周期必須小于300 nm，而實(shí)際上設(shè)計(jì)的金屬偏振器需要更小的周期結(jié)構(gòu)才能在這個(gè)波段實(shí)現(xiàn)良好的偏振效果。結(jié)合實(shí)際工藝水平，將單層和雙層金屬光柵的金屬層的厚度設(shè)定為100 nm，雙層金屬光柵的介質(zhì)光柵的深度定為200 nm，占空比為0.5，而兩種光柵的周期的變化范圍都是180～220 nm。仿真結(jié)果如圖3所示。

圖3 不同周期單層和雙層金屬光柵的偏振特性

可以看出:周期的變化對(duì)兩種光柵在450 nm波段處的TM偏振光的透光率影響不大。另外，同周期的單層金屬光柵的TM偏振光的透光率比雙層金屬光柵的大了近30 %，但是雙層金屬光柵的消光比單層的大了近1個(gè)數(shù)量級(jí)。而且，越大光柵周期對(duì)應(yīng)著的消光比越小，光柵周期為180 nm雙層金屬光柵消光比達(dá)到了1 800。考慮到在實(shí)際加工中，越小的結(jié)構(gòu)加工難度更大、成本更高。而且作為復(fù)眼結(jié)構(gòu)的檢偏器件，需要制備大量的這種金屬偏振片。所以,周期200 nm的金屬光柵是一個(gè)較合適的選擇，后面的分析中，將周期都定為200 nm。

2.2 不同占空比的金屬光柵

占空比也是影響光柵偏振性能的一項(xiàng)關(guān)鍵參數(shù)，這里分析的占空比的變化范圍是0.3～0.7，對(duì)于單層光柵和雙層光柵金屬層的厚度都設(shè)定為100 nm，周期都是200 nm，雙層金屬光柵的介質(zhì)光柵的深度定為200 nm。仿真結(jié)果如圖4所示，對(duì)于單層金屬光柵，雖然小的占空比可以得到更大的TM偏振光透射率，但是消光比卻很小，兩者的變化趨勢(shì)相反。在占空比為0.5時(shí)，單層金屬光柵在450 nm處透射率達(dá)到0.6，消光比只有73;而占空比為0.5時(shí)雙層金屬光柵在450 nm波段處有最大的透射率，并在波長(zhǎng)為500 nm的消光比達(dá)到了2700,比同占空比的單層金屬光柵大了27倍?？梢钥闯?，占空比0.5是最優(yōu)選擇。

圖4 不同占空比單層和雙層金屬光柵的偏振特性

2.3 不同金屬厚度的金屬光柵

金屬層的厚度直接關(guān)系到金屬偏振光柵的偏振性能。根據(jù)前面的分析結(jié)果對(duì)不同金屬厚度的光柵結(jié)構(gòu)進(jìn)行了分析?？紤]到實(shí)際情況，對(duì)于單層金屬光柵，由于刻蝕金屬層的工藝難度較大，仿真中設(shè)置單層金屬光柵的金屬層的厚度變化范圍為0～120 nm。而雙層金屬光柵的金屬層是直接沉積在介質(zhì)光柵上，不需要額外的刻蝕工藝，所以,設(shè)置的金屬層的厚度變化范圍為60～140 nm。兩種結(jié)構(gòu)的周期都為200 nm，占空比設(shè)置為0.5。因?yàn)锳l質(zhì)的金屬光柵在可見(jiàn)光波段可以實(shí)現(xiàn)最優(yōu)的偏振特性，所以,這里選用Al作為金屬層材料。仿真結(jié)果如圖5所示。對(duì)于單層金屬光柵，在入射光波長(zhǎng)小于 550 nm之前,TM偏振光的透射率隨著金屬的變厚而變大，之后,則變小，越厚的金屬層對(duì)應(yīng)越大的消光比。雙層金屬光柵的TM偏振光透射率峰值隨著金屬層的厚度增大發(fā)生了紅移，當(dāng)金屬層厚度在100 nm時(shí)，在450 nm波段得到了最大的透射率。

圖5 不同金屬厚度單層和雙層金屬光柵的偏振特性

通過(guò)前面的分析，并考慮到單層和雙層金屬的加工復(fù)雜程度，周期200 nm，占空比0.5，深度200 nm，金屬層厚度100 nm的亞波長(zhǎng)雙層金屬光柵是作為復(fù)眼結(jié)構(gòu)偏振器的最佳選擇。如圖6所示，設(shè)計(jì)的雙層金屬光柵在450 nm波段處的TM偏振光透射率為45 %，消光比達(dá)到了450。

圖6 設(shè)計(jì)的雙層金屬光柵的偏振特性

3 結(jié)束語(yǔ)

本文基于嚴(yán)格耦合波理論，分析了不同周期、占空比和金屬層厚度的單層和雙層的金屬光柵的偏振特性。分析發(fā)現(xiàn)，雙層金屬光柵的TM偏振光透射率雖然不如單層金屬光柵，但消光比卻比單層金屬光柵優(yōu)越?？紤]到加工單層金屬工藝更加復(fù)雜，不適合大量制備，所以，雙層金屬光柵更適合復(fù)眼結(jié)構(gòu)的檢偏器。設(shè)計(jì)的雙層金屬光柵在450 nm波長(zhǎng)處TM偏振光透射率為45 %，消光比達(dá)到450。結(jié)合現(xiàn)有的電子束光刻、刻蝕、納米壓印的等技術(shù)這種性能優(yōu)越的雙層金屬光柵可廣泛應(yīng)用于光電通信、液晶顯示等領(lǐng)域。

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Design and analysis of sub-wavelength metal polarization grating*

KANG Ning, TANG Jun, LI Da-lin, CHEN Meng, YANG Jiang-tao, GUO Hao, LIU Jun

(National Key Laboratory for Electronic Measurement Technology,Key Laboratory of Instrumentation Science& Dynamic Measurement,Ministry of Education,North University of China,Taiyuan 030051,China)

In order to resolve atmospheric optics polarization pattern for accurate navigation,a sub-wavelength metallic polarizer is designed based on rigorous coupled-wave analysis(RCWA),which is suitable for structure of compound eye.Aiming at single and bi-layer metallic grating with different period,duty cycle and metal layer thickness are simultated and analyzed,actual technological level and cost into consideration,bi-layer metallic grating with period of 200 nm,duty cycle of 0.5 and metal layer thickness of 100 nm is chosen for polarizer of compound eye,TM polarized light transmittance of blue light in central band 450 nm of the designed bi-layer metallic grating achieve 45 %,and the extinction ratio achieve 450,satisfy requirements for polarization navigation.

sub-wavelength metal grating; rigorous coupled-wave analysis; period; duty cycle; metal thickness

2014—10—14*基金項(xiàng)目：國(guó)家自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(91123016)； 國(guó)家杰出青年基金資助項(xiàng)目(51225504,51105345); 國(guó)家“973”計(jì)劃前期項(xiàng)目(2012CB723404)

10.13873/J.1000—9787(2015)02—0079—03

TN 16

A

1000—9787(2015)02—0079—03

康 寧(1989-)，男，湖南邵陽(yáng)人，碩士研究生，主要研究方向?yàn)槲⒓{傳感與執(zhí)行器件。