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兩項電子氣體國標(biāo)頒布

2015-03-24 15:29
低溫與特氣 2015年1期
關(guān)鍵詞:這兩項工業(yè)用標(biāo)準(zhǔn)制

2015年元旦前夕,國家質(zhì)檢總局、國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會發(fā)布公告,《電子工業(yè)用氣體高純氯》和《電子工業(yè)用氣體氯化氫》正式頒布。

參與這兩項標(biāo)準(zhǔn)制修訂工作的中昊光明化工研究設(shè)計院有限公司相關(guān)人士表示,高純氯和氯化氫是電子工業(yè)的重要原材料,它們主要在半導(dǎo)體制備過程中用作刻蝕劑和清洗劑等。這兩項國家標(biāo)準(zhǔn)的制修訂對于規(guī)范高純氯和氯化氫產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)和使用,提升行業(yè)技術(shù)水平都將起到有力的促進(jìn)作用。

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