郭黨委，馮娟娟

(蘭州大學 磁學與磁性材料教育部重點實驗室,蘭州 730000)

·實驗室建設與管理·

微納米加工凈化間的環(huán)境維護與管理

郭黨委，馮娟娟

(蘭州大學 磁學與磁性材料教育部重點實驗室,蘭州 730000)

隨著現(xiàn)代科技的發(fā)展，科研工作越來越需要與實際應用相結合，因此國內高校越來越多的建立起用于微納米刻蝕的凈化間，相應的其維護管理操作規(guī)范的建立也很有必要。文中主要從凈化間的環(huán)境控制、運行規(guī)范和人員管理等三個方面，討論和闡述了如何使其安全良好運行，進而確保制備樣品的質量，為高校科研活動提供保障。

高校；凈化間；維護；管理

近年來隨著我國綜合國力的不斷提高，國家在高科技領域的投入及支持力度逐年加大。高校作為教學科研的一個重要基地，越來越受到國家重視和大力支持，從而極大地推動了高校學科建設和科研水平提升，相應的也給高校實驗室建設帶來了發(fā)展機遇[1-5]。同時隨著現(xiàn)代科技的發(fā)展，科研活動也需要更多地與實際應用相結合，因此用于微納米刻蝕的凈化間也越來越多的高校中建立起來[6-7]。為此，蘭州大學根據(jù)學科發(fā)展需要，在學?！?85工程”經(jīng)費的支持下，從2008年開始實施籌建微納米加工實驗室。僅用三年時間，凈化間建設和曝光刻蝕設備調試驗收完成，目前已對校內外正常開放。

凈化間，顧名思義是指空氣經(jīng)過凈化的房間，它的設計建造是以減少室內塵粒為目的，其他參數(shù)如溫度、濕度、壓力等按照要求進行控制。凈化間以單位體積空氣某粒徑粒子的數(shù)量來區(qū)分潔凈程度，一般常用的為百級間、千級間和萬級間[8-11]。高校建立的微納米刻蝕凈化間主要是用于微納米級圖形及原理性器件的制備。一般來說，樣品刻蝕的質量決定其特性表現(xiàn)，即樣品的制備是科研的基礎和關鍵，因此加強對凈化間的環(huán)境維護和管理，以保證其環(huán)境和功能良好運行至關重要。

1 凈化間的環(huán)境控制

凈化間的潔凈環(huán)境主要是通過空氣的“過濾”來逐步實現(xiàn)和維持的，因此環(huán)境的控制管理是基礎，主要包含四個方面。

(2) 保持衛(wèi)生清潔。凈化間內每天做完實驗后應該把實驗桌面整理干凈，各種實驗藥品和儀器記錄本按照規(guī)定擺放整齊；凈化間的衛(wèi)生應該每天打掃一次，每月徹底打掃一次，盡可能地保持室內衛(wèi)生潔凈。

(3)用于清洗基片的化學用實驗臺應與用于曝光和刻蝕的實驗儀器放于不同的房間，以減少環(huán)境的變化對儀器尤其是曝光儀器的影響。

(3)定期對凈化間進行空氣質量檢測，針對檢測結果來進一步確定維護程序。

2 運行規(guī)范

(1)凈化間內物品要擺放合理，便于操作；盡量減少室內物品種類和個數(shù)，嚴格控制物品出入次數(shù)，要求物品在放入凈化間前一定要擦洗干凈，盡可能地減少外來物品引起的污染。

(2)凈化間內工作要制定嚴格的實驗流程和操作規(guī)范，同時明確區(qū)分潔污區(qū)域。

(3)凈化間的空調和過濾系統(tǒng)最好每天24 h運行，這樣可以保持良好的室內潔凈度。如果空調和過濾系統(tǒng)不能每天24 h連續(xù)運行，那么就需要：每次進入凈化間前30 min打開空調和過濾系統(tǒng)，使其連續(xù)運行，盡可能地排盡污染顆粒，達到要求，保證空氣質量[12-13]。

(4)要定期檢測空調和過濾系統(tǒng)的運行情況，做好儀器的維護保養(yǎng)工作。每周要對抽風和回風口進行清潔，要定期地對過濾器進行檢查，一般情況下，初效和中效過濾器每六個月更換一次，高效過濾器每1～2年更換一次，以確?；覊m過濾效果，從而達到凈化間的潔凈度[7-8,10]。

3 人員管理

(1)嚴格控制人員進出，盡可能地減少人員進出次數(shù)。

(2)工作人員應首先做到保持個人清潔衛(wèi)生，進入凈化間內不允許帶貴金屬、裝飾品及一切化妝品；凈化間內嚴禁飲食；進入凈化間時需要換鞋，穿戴整齊：超凈服、口罩、手套、鞋和帽子，尤其是長發(fā)女性，一定要用網(wǎng)套把頭發(fā)盤起來，然后戴上帽子，以免頭發(fā)暴露在凈化空氣中[7-8, 13]。

(3)凈化間內所用記錄紙應選用無塵紙，記錄用圓珠筆。

(4)工作人員進出凈化間要隨手關門，凈化間的門要時刻保持關閉狀態(tài)。

(5)加強凈化間工作人員理論和技能培訓，明確凈化間工作原理和環(huán)境維護要求，熟悉其維護基本知識，嚴格規(guī)范工作人員的行為和各項操作規(guī)章制度[7-8, 13-14]。

4 結束語

凈化間是采用空氣過濾凈化措施將一定空間范圍內的空氣中的微粒子、有害空氣和細菌等污染物排除，并將室內的溫度、濕度、壓力和氣流速度等控制在某一需求范圍內而所特別設計和建造的房間?？諝鈨艋闹饕康木褪浅タ諝庵袘腋〉膲m埃微粒，從而創(chuàng)造一個干凈的工作環(huán)境，以保證制備出高質量的產(chǎn)品?？諝鈨艋某潭热Q于全過程和全方位的控制管理，因此做好其清潔管理和維護保養(yǎng)工作是非常必要的。同時唯有持續(xù)做好這方面的工作，使其保持良好的環(huán)境和功能，才能發(fā)揮其作用價值，制備出高品質的產(chǎn)品，從而為高校的科研工作提供堅實的基礎。

[1]范強銳，馬濤，史天貴.建立高等學校實驗室安全標準的探索與實踐[J].實驗技術與管理,2012,29(9):206-208.

[2]劉義全，鮑洪剛，宋世軍.高校實驗室安全管理問題的思考[J].實驗科學與技術,2012,10(1):173-175.

[3]賈賢龍.高等學校實驗室安全現(xiàn)狀分析與對策[J].實驗室研究與探索,2011,32(12):193-195.

[4]車將，廖允成.實驗室安全的規(guī)范管理和探索[J].實驗科學與技術,2010,8(5):158-160.

[5]姚宇江.建立健全實驗室管理體系和法規(guī)，保障師生安全[J].中國教育技術裝備,2006(5):41-43.

[6]郭亞明，楊遠洪.建設“211工程”項目—北京航空航天大學集成光學實驗室[J].實驗技術與管理,2001,18(6):111-113.

[7]郭亞明.集成光學超凈室環(huán)境保持及專業(yè)設備維護保養(yǎng)[J].中國設備工程,2001(8):24-25.

[8]李蕊，劉亞利，蔡虎，等.百級凈化間的維護與管理[J].中國實用醫(yī)藥,2013,8(2):260.

[9]雷虹，李志華.凈化空調系統(tǒng)中的過濾器選擇原則探討[J].潔凈與空調技術,2010(3):77-80.

[10]江德新.灌裝間凈化系統(tǒng)的清潔及其效果考察[J].廣東藥學,1996(2):28-29.

[11]薛殿華.空氣調節(jié)[M].北京：清華大學出版社，1991.

[12]潘葆炯，閻彩萍.對深圳某電子廠凈化間空調系統(tǒng)設計的認識[J].制冷技術,2001(3):28-31.

[13]張軍，白雪珍，于兵，等.影響凈化度的因素及其控制研究[J].電力電容器,2002(1):29-34.

[14]光翠娥，王世強，王萍.理工類高校實驗室安全的潛在風險和問題分析及對策研究[J].中國現(xiàn)代教育裝備,2012(3):42-44.

Environment Maintenance and Management of Cleaning Room for Micro-nano Fabrication

GUO Dangwei, FENG Juanjuan

(Key Laboratory for Magnetism and Magnetic Materials of the Ministry of Education, Lanzhou University, Lanzhou 730000, China)

With the development of modern science and technology, more and more scientific research need to keep combined with practical application. Therefore, there are more and more cleaning rooms built for micro-nano fabrication in universities. Furthermore, it is necessary to formulate the operational regulations and management. In this article, it is discussed that how to make it operate normally and safely by the three aspects of environmental control, operational specification and personal management. Sequentially, it ensures the quality of samples and guarantees for scientific research in colleges and universities.

university; cleaning room; maintenance; management

2014-03-04

國家自然科學基金資助項目(51202102)。

郭黨委(1982-)，男，博士，工程師，主要從事實驗教學管理和微納米刻蝕過程研究工作。

G482

A

10.3969/j.issn.1672-4550.2015.01.056