林德啟用全新制氮機(jī)，為積塔半導(dǎo)體供氣
2020-02-20 03:37:21Grace
上海化工 2020年3期
林德集團(tuán)最近宣布，其為積塔半導(dǎo)體建造的一臺制氮機(jī)在上海開機(jī)成功，林德與積塔半導(dǎo)體簽訂了一份為期20年的超高純工業(yè)用氣供應(yīng)合約，目前開機(jī)運(yùn)行的為計(jì)劃建造的兩臺高純制氮機(jī)中的第一臺，第二臺預(yù)計(jì)將于2022年上線啟用。
該臺制氮機(jī)位于上海臨港產(chǎn)業(yè)區(qū)，將為積塔半導(dǎo)體造價(jià)高達(dá)51億美元的晶圓制造廠供應(yīng)各種超高純度氣體（如氮?dú)?、氧氣、氬氣、二氧化碳）以及壓縮干空氣（CDA）。
（Grace）
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