宋 杰

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上海微電子：“智”造中國(guó)芯

宋 杰

在光刻機(jī)領(lǐng)域，上海微電子裝備有限公司不僅在先進(jìn)封裝光刻機(jī)產(chǎn)品方面形成了系列化和量產(chǎn)化，而且還實(shí)現(xiàn)了光刻機(jī)海外市場(chǎng)的銷(xiāo)售突破

隨著信息產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，集成電路（也就是常說(shuō)的“芯片”）成為手機(jī)、平板電腦等電子移動(dòng)終端離不開(kāi)的設(shè)備，而光刻機(jī)是半導(dǎo)體芯片制造業(yè)中的最核心設(shè)備。以光刻機(jī)為代表的高端半導(dǎo)體裝備支撐著集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展，芯片越做越小，集成的電路越來(lái)越多，能使終端變得小巧玲瓏。

在光刻機(jī)領(lǐng)域，上海微電子裝備有限公司（簡(jiǎn)稱(chēng)“SMEE”）取得了重要突破，并在先進(jìn)封裝光刻機(jī)產(chǎn)品方面形成了系列化和量產(chǎn)化，在國(guó)際同類(lèi)產(chǎn)品中處于先進(jìn)水平，還實(shí)現(xiàn)了光刻機(jī)海外市場(chǎng)的銷(xiāo)售突破。SMEE也被列入國(guó)家發(fā)改委2016 年1月底公布的國(guó)家認(rèn)定企業(yè)技術(shù)中心名單。

在微觀世界里“造房子”

近日，在浦東張江園區(qū)SMEE展覽館里，SMEE人事總監(jiān)賀躍進(jìn)介紹了組成光刻機(jī)的核心部件。他將制造光刻機(jī)比作是在微觀世界里“造房子”——成像系統(tǒng)由幾十個(gè)直徑為200～300毫米的透鏡組成，定位精度都是納米級(jí)。微米級(jí)的瞬時(shí)傳輸控制技術(shù)，猶如兩架空客以1000/小時(shí)公里同步高速運(yùn)動(dòng)，在瞬間對(duì)接穿針引線(xiàn)；玻璃鏡面加工等精度，誤差不會(huì)超過(guò)0.5毫米。

SMEE總經(jīng)理賀榮明表示，光刻機(jī)是集成電路裝備中技術(shù)難度最高、價(jià)值量最大的部分，由于技術(shù)的超高難度導(dǎo)致在全世界形成了超高的技術(shù)門(mén)檻。

據(jù)了解，當(dāng)今世界能夠擁有這種技術(shù)、生產(chǎn)這種產(chǎn)品的只有兩三個(gè)國(guó)家的兩三家公司。賀榮明表示，集成電路行業(yè)發(fā)展的很多技術(shù)路線(xiàn)、工藝路線(xiàn)是非常依賴(lài)于光科技的發(fā)展路線(xiàn)，所以從這個(gè)角度，它就成為信息產(chǎn)業(yè)集成電路行業(yè)發(fā)展的重要基石；從另一個(gè)角度來(lái)講，我國(guó)正在進(jìn)行大的結(jié)構(gòu)調(diào)整，對(duì)集成電路產(chǎn)業(yè)提出了非常高的期待與要求，不僅涉及到整個(gè)國(guó)家的產(chǎn)品結(jié)構(gòu)調(diào)整發(fā)展，從某種程度它也涉及到整個(gè)信息產(chǎn)業(yè)的安全，所以如何在集成電路行業(yè)擁有自己的核心裝備，對(duì)國(guó)家國(guó)民經(jīng)濟(jì)的發(fā)展就至為重要。

光刻機(jī)是集成度非常高，涉及的門(mén)類(lèi)、領(lǐng)域、科技種類(lèi)非常廣泛的集成性的設(shè)備，由于這種設(shè)備的發(fā)展會(huì)牽引帶動(dòng)很多關(guān)鍵單元技術(shù)、子技術(shù)、子學(xué)科的發(fā)展，“牽一發(fā)而動(dòng)全身”，它可以牽引推動(dòng)整個(gè)高科技基礎(chǔ)領(lǐng)域的發(fā)展。

據(jù)了解，以光刻機(jī)為代表的產(chǎn)品主要應(yīng)用于四大領(lǐng)域，芯片制造、芯片先進(jìn)封裝、LED制造、下一代顯示屏制造。另外還有類(lèi)光科技產(chǎn)品，包括激光封裝、激光退火等設(shè)備，去年開(kāi)始在試驗(yàn)，今年逐步開(kāi)始小批生產(chǎn)，未來(lái)為移動(dòng)穿戴、智能時(shí)代提供產(chǎn)品。

賀榮明表示，光刻機(jī)的自主研發(fā)可以概括為一個(gè)“難”字，“因?yàn)殡y，有時(shí)候就逼著你沒(méi)有后路背水一戰(zhàn)去創(chuàng)新?！比魏我粋€(gè)行業(yè)的發(fā)展，特別是高端裝備的發(fā)展，其實(shí)最重要的還是人才，光刻機(jī)人才與其他行業(yè)相比，涉及面更廣，有幾十個(gè)專(zhuān)業(yè)，所有的技術(shù)在這個(gè)產(chǎn)品上匯聚、交雜，形成異常復(fù)雜的設(shè)備，對(duì)人才的廣泛性、多樣性提出更高要求。

從跟蹤國(guó)際專(zhuān)利到不斷掌握擁有完全自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的高端光刻設(shè)備的總體設(shè)計(jì)技術(shù)、集成技術(shù)和關(guān)鍵單元技術(shù)，SMEE形成了系列完整的產(chǎn)品，實(shí)現(xiàn)了“用中國(guó)人的光刻機(jī)造中國(guó)芯”的夢(mèng)想

創(chuàng)新路上要“沿途下蛋”

賀榮明坦言，高端光刻機(jī)開(kāi)發(fā)的周期非常長(zhǎng)，難度也非常高，如果在整個(gè)過(guò)程中只是走研發(fā)的道路，而不是及時(shí)考慮產(chǎn)業(yè)化，那么對(duì)整個(gè)項(xiàng)目的開(kāi)發(fā)、人才團(tuán)隊(duì)的鼓勵(lì)都會(huì)帶來(lái)管理上的困難 。SMEE的決策者們?cè)跊Q定以高端光刻機(jī)開(kāi)發(fā)為主線(xiàn)的同時(shí)，每天都在考慮當(dāng)離高端產(chǎn)品的開(kāi)發(fā)還有一定高峰要攀登的時(shí)候，在“半山腰”、在“山腳”下，能不能把已經(jīng)掌握、部分掌握的技術(shù)變成產(chǎn)品，去服務(wù)于行業(yè)?；谶@個(gè)思路，SMEE就形成了很多“沿途下蛋”的產(chǎn)品。

比如說(shuō)，同樣是光刻機(jī)，它在前道的產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用難度非常高，但是后道的先進(jìn)封裝對(duì)光刻機(jī)的應(yīng)用越來(lái)越廣泛，可以先行進(jìn)入，所以SMEE就抓住了這個(gè)契機(jī)，開(kāi)發(fā)了一款適用于先進(jìn)封裝行業(yè)的光刻機(jī)。此前，這種光刻機(jī)完全依賴(lài)于進(jìn)口，而今SMEE 已經(jīng)占領(lǐng)了80%以上的國(guó)內(nèi)市場(chǎng)。現(xiàn)在市場(chǎng)上高端智能手機(jī)上都有SMEE 自主研發(fā)的先進(jìn)封裝光刻機(jī)的功勞。這樣一來(lái)，產(chǎn)品的研發(fā)形成了一種階梯、波浪，“前面在不斷瞄準(zhǔn)高科技的發(fā)展，同時(shí)它不斷把掌握的技術(shù)輻射為具有應(yīng)用前景又能為國(guó)民經(jīng)濟(jì)、產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域提供很好技術(shù)支撐的產(chǎn)品，這樣兩個(gè)目標(biāo)形成一種互動(dòng)、良性循環(huán)。既通過(guò)高科技的研發(fā)來(lái)錘煉人才，又通過(guò)產(chǎn)品的市場(chǎng)化來(lái)打造工程性人才，這種人才的分合匯聚組合讓公司向兩維領(lǐng)域發(fā)展（一維是技術(shù)高度，一維是產(chǎn)業(yè)寬度），不讓公司變?yōu)榧兇獾难邪l(fā)機(jī)構(gòu)，同時(shí)也不讓公司太功利化。這兩者融合能為公司將來(lái)高端光刻機(jī)的發(fā)展提供良好的發(fā)展模式?！辟R榮明表示。

賀榮明直言，企業(yè)運(yùn)營(yíng)的最大壓力在于技術(shù)突破和人才團(tuán)隊(duì)的聚焦與持續(xù)發(fā)展。由于我國(guó)技術(shù)基礎(chǔ)比較薄弱，不但要攻克技術(shù)上的難點(diǎn)，還要解決攻克過(guò)程中的管理問(wèn)題。在供應(yīng)鏈的打造和高科技行業(yè)上受到國(guó)外的限制等，使得我國(guó)整個(gè)技術(shù)門(mén)類(lèi)還不健全，整個(gè)資源鏈還不完善，現(xiàn)在一方面以自主創(chuàng)新為主，一方面用更寬泛的國(guó)際視野面向全球整合資源。“我國(guó)高速發(fā)展，吸引了全球高科技人才、組織對(duì)我們充滿(mǎn)期待，這樣迎來(lái)了利用國(guó)際資源解決自身瓶頸，使得SMEE在堅(jiān)持自主創(chuàng)新的同時(shí)全球化、國(guó)際化?！?/p>

從跟蹤國(guó)際專(zhuān)利到不斷掌握擁有完全自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的高端光刻設(shè)備的總體設(shè)計(jì)技術(shù)、集成技術(shù)和關(guān)鍵單元技術(shù)，SMEE形成了系列完整的產(chǎn)品，實(shí)現(xiàn)了“用中國(guó)人的光刻機(jī)造中國(guó)芯”的夢(mèng)想。截至2015年底，SMEE獲得的專(zhuān)利總數(shù)1800項(xiàng)左右，85%是發(fā)明專(zhuān)利，800項(xiàng)已獲授權(quán)，其中國(guó)際發(fā)明專(zhuān)利140多項(xiàng)，獲授權(quán)的國(guó)際發(fā)明專(zhuān)利42項(xiàng)。這些專(zhuān)利滲透在各個(gè)產(chǎn)品之中，為高科技產(chǎn)品走向世界提供自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的法律保障。

SMEE在布局知識(shí)產(chǎn)權(quán)規(guī)劃時(shí)，很早就成立了知識(shí)產(chǎn)權(quán)與技術(shù)管理部，有20多位知識(shí)產(chǎn)權(quán)工程師、法律專(zhuān)家，定期分析收集全球?qū)I(yè)技術(shù)領(lǐng)域的各種專(zhuān)利，包括新產(chǎn)生專(zhuān)利、即將失效的專(zhuān)利等，每個(gè)季度，知識(shí)產(chǎn)權(quán)與技術(shù)管理部提交知識(shí)產(chǎn)權(quán)戰(zhàn)略工作報(bào)告，以供SMEE進(jìn)行戰(zhàn)略決策。

值得一提的是，每年SMEE以任務(wù)形式下達(dá)“專(zhuān)利指標(biāo)”，并且與績(jī)效考核掛鉤，使產(chǎn)品進(jìn)入市場(chǎng)不侵權(quán)不被起訴，“比如先進(jìn)封裝光刻機(jī)技術(shù)有400項(xiàng)專(zhuān)利在保護(hù)著它，使它很好地進(jìn)入市場(chǎng)，用戶(hù)可以放心使用，我們也不會(huì)受到競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手的干擾?！备呖萍计髽I(yè)發(fā)展，知識(shí)產(chǎn)權(quán)的戰(zhàn)略規(guī)劃與產(chǎn)品發(fā)展必須要同步。目前，SMEE已成為國(guó)家級(jí)知識(shí)產(chǎn)權(quán)示范企業(yè)。