應(yīng)力隔離法在藍(lán)寶石壓力傳感器結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)中的應(yīng)用
2018-08-29 00:44王凡,劉寶偉,陳寶成等
傳感器與微系統(tǒng) 2018年7期
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