近日，科學服務領域的世界領導者賽默飛世爾科技（以下簡稱：賽默飛）亮相于上海舉辦的SEMICON CHINA 2019展會，現場發(fā)布展示了其最新一代的產品及半導體綜合解決方案，新品致力于提高工廠及分析性實驗室效率，進一步助力中國半導體事業(yè)的發(fā)展。

展會上，賽默飛從多個維度綜合展現了其在實驗室方案、失效分析、環(huán)境分析以及生產支持方面的綜合能力以及一體化解決方案。其中以Thermo ScientificTMHelios 5為代表的一眾新品，也通過SEMICON CHINA 2019這個絕佳的平臺第一次在中國與業(yè)界的朋友們見面。

賽默飛首發(fā)推出最新一代Thermo ScientificTMHelios 5，這款全新的先進的小型聚焦離子束掃描電子顯微鏡將用于納米材料的表征和分析。產品系列的發(fā)布解決了目前越來越多的半導體技術挑戰(zhàn)，包括更小的幾何形狀，3D結構，新材料和大量的分析樣品以提高產量和根本原因分析。隨著半導體產業(yè)從7 nm技術節(jié)點轉向5 nm技術節(jié)點，Helios 5 TEM和Atom Probe樣品制備軟件提高對最先進的原子級的結構和成分信息的獲得能力，它可以在納米尺度上實現最高質量的表面和3D信息，并且可以最精確地定位感興趣的區(qū)域。

近幾年來，半導體工業(yè)已經普遍接受使用ELITE（Enhanced Lock In Thermal Emission）實現電性失效分析定位的工作。Thermo ScientificTMELITETM系統具有極佳的靈敏度，可以彌補傳統EMMI/OBIRCH檢測的不足，還可以作為非破壞性檢測，對于封裝后的元件，分析失效點深度的位置。除了先進制程和封裝的需求，針對功率元件在車用電子的應用，且支持高電壓的測試。

同時還展出了：Thermo ScientificTMNicoletTMiG50 FT-IR光譜儀，Thermo ScientificTMNicoletTMiN10光譜儀，Thermo ScientificTMiCAPTMTQs ICP-MS ，Thermo ScientificTMNESLAB ThermoFlex 系 列，Thermo ScientificTMPhenomTMProX等產品。

展會現場，賽默飛展示了ELITE的實體機器并進行了DEMO演示，吸引了大批專業(yè)及相關人士的駐足了解問詢。同行以及訪客在展臺現場聆聽了現場工程師講解賽默飛在半導體行業(yè)的綜合解決方案，并共同分享探討了半導體行業(yè)內的前沿技術與最新市場動態(tài)。（賽默飛世爾科技（中國）有限公司）