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化學(xué)氣相沉積宏量制備高品質(zhì)石墨烯薄膜

2019-10-14 07:56楊金龍
物理化學(xué)學(xué)報 2019年10期
關(guān)鍵詞:層數(shù)氣相晶界

楊金龍

中國科學(xué)技術(shù)大學(xué),合肥微尺度物質(zhì)科學(xué)國家實(shí)驗(yàn)室,合肥 230026

石墨烯自發(fā)現(xiàn)以來,因其非常優(yōu)異的電學(xué)、熱學(xué)、光學(xué)和力學(xué)等性能,在高端電子、能源存儲、復(fù)合材料等領(lǐng)域有著廣闊的應(yīng)用前景1。為了解決石墨烯的宏量制備和應(yīng)用問題,自2009年以來,化學(xué)氣相沉積(Chemical Vapor Deposition,CVD)方法逐漸成為制備高品質(zhì)石墨烯薄膜的最有效手段之一2。CVD方法制備的石墨烯因其具有質(zhì)量高、層數(shù)可控、可放大性好等特點(diǎn),近幾年被廣泛地關(guān)注,并取得了迅速發(fā)展。然而,理想與現(xiàn)實(shí)之間卻存在著巨大的差距。在CVD制備過程中會產(chǎn)生大量的缺陷、晶界3和褶皺4,嚴(yán)重影響石墨烯的優(yōu)異性質(zhì)。與此同時,石墨烯轉(zhuǎn)移的過程中引入大量的表面污染與破損,也嚴(yán)重限制了CVD石墨烯薄膜的進(jìn)一步的應(yīng)用5。石墨烯CVD的宏量制備,對石墨烯的CVD設(shè)備和工藝提出了更高的要求,實(shí)現(xiàn)石墨烯均一度和質(zhì)量的控制變得尤為困難。因此,如何實(shí)現(xiàn)高品質(zhì)CVD石墨烯薄膜的宏量制備,維持其優(yōu)良的電子結(jié)構(gòu)和物理性質(zhì),實(shí)現(xiàn)石墨烯層數(shù)、疇區(qū)尺寸6、堆垛方式7、缺陷濃度8、摻雜濃度、平整度和潔凈度的精確控制成為石墨烯CVD制備的重中之重。

最近,針對以上問題,北京大學(xué)劉忠范教授課題組和彭海琳教授課題組應(yīng)邀在國際化學(xué)領(lǐng)域權(quán)威綜述刊物Chemical Reviews上發(fā)表題為《化學(xué)氣相沉積制備石墨烯—理想與現(xiàn)實(shí)》的綜述文章9,詳細(xì)地綜述了自CVD方法制備石墨烯提出以來,在高品質(zhì)石墨烯制備方面的研究進(jìn)展,并對高品質(zhì)石墨烯的制備進(jìn)行了展望。作者從碳同素異形體的成鍵和制備問題出發(fā),系統(tǒng)地歸納和探討了CVD法制備石墨烯基本條件和涉及的熱力學(xué)與動力學(xué)問題,并在此基礎(chǔ)上詳細(xì)地討論了石墨烯CVD過程中涉及的氣相輸運(yùn)、前驅(qū)體表面吸附和裂解、活性碳物種的表面遷移、石墨烯的成核與生長、石墨烯疇區(qū)拼接等基元步驟。并在此基礎(chǔ)上,討論了高品質(zhì)石墨烯制備涉及的晶界缺陷、低生長速度、褶皺和污染物等問題和目前的解決方案。與此同時,作者也對石墨烯工業(yè)放量制備存在的設(shè)備和質(zhì)量控制等問題進(jìn)行了詳細(xì)的闡述,并提出可行的解決方案。最后作者對高品質(zhì)石墨烯的未來進(jìn)行了展望,提出了高品質(zhì)石墨烯的制備應(yīng)立足于對CVD基本過程的理解、有效的石墨烯品質(zhì)評估手段和宏量制備設(shè)備的改進(jìn)等前瞻性意見。

文中報道的一系列創(chuàng)新性研究成果,指明了高品質(zhì)石墨烯薄膜的高端應(yīng)用方向,對促進(jìn)石墨烯產(chǎn)業(yè)的良性可持續(xù)發(fā)展有重要意義。此項(xiàng)工作得到了國家自然科學(xué)基金委、科技部國家重點(diǎn)研究計劃、北京市科委項(xiàng)目的經(jīng)費(fèi)支持。

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