科學(xué)導(dǎo)報(bào)訊 記者鄔婷 3月1日，記者從中國電子科技集團(tuán)公司第二研究所（以下簡(jiǎn)稱中國電科二所）獲悉，中國電科（山西）碳化硅材料產(chǎn)業(yè)基地實(shí)現(xiàn)順利投產(chǎn)。此次產(chǎn)業(yè)園的順利投產(chǎn)不僅是山西省新型半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)集群化發(fā)展的標(biāo)志性事件，對(duì)國內(nèi)寬禁帶半導(dǎo)體材料產(chǎn)業(yè)發(fā)展也具有重要意義，為國防事業(yè)和電子信息產(chǎn)業(yè)提供堅(jiān)強(qiáng)保障。

據(jù)了解，中國電科二所作為山西省半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟副理事長單位，圍繞“安全”和“智慧”兩大事業(yè)，聚焦電子裝備智能制造、三代半導(dǎo)體、光伏新能源、網(wǎng)絡(luò)信息安全和綜合治理安全等領(lǐng)域，加大研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化投入，通過技術(shù)創(chuàng)新驅(qū)動(dòng)與應(yīng)用示范項(xiàng)目推廣，助力山西經(jīng)濟(jì)轉(zhuǎn)型。中國電科（山西）電子信息科技創(chuàng)新產(chǎn)業(yè)園既是貫徹山西省委、省政府“四為四高兩同步”總體部署要求的重大舉措，也是中國電科圍繞半導(dǎo)體材料、裝備制造產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域在晉的戰(zhàn)略布局。

中國電科二所著手布局碳化硅單晶襯底材料的研制規(guī)劃，依靠自身在電子專用設(shè)備研發(fā)領(lǐng)域的技術(shù)優(yōu)勢(shì)，潛心鉆研著碳化硅單晶生長爐的研制。山西爍科晶體有限公司作為其旗下公司，是全球四家具備制備高純半絕緣碳化硅晶片技術(shù)廠家之一，不但掌握了碳化硅材料的制備技術(shù)，同時(shí)從生產(chǎn)設(shè)備到原材料均實(shí)現(xiàn)自主可控。目前，中國電科二所全面掌握了高純碳化硅粉料制備工藝、4英寸高純半絕緣碳化硅單晶襯底的制備工藝，形成從碳化硅粉料制備、晶體生長、晶片加工、外延驗(yàn)證等整套碳化硅材料研制線。