數(shù)字全息顯微鏡是將光學全息技術、數(shù)字圖像處理和顯微成像相結合的測量方案。設計了基于透射全息干涉原理的光學系統(tǒng)，研制了透射式數(shù)字全息顯微測試系統(tǒng)樣機。整個系統(tǒng)包括光學系統(tǒng)、光機系統(tǒng)和軟件系統(tǒng)，主要解決了數(shù)字全息顯微技術誤差抑制技術、再現(xiàn)距離和再現(xiàn)參考波矢量的調(diào)整、數(shù)字全息顯微技術的標定技術及相位快速重建等關鍵技術。系統(tǒng)可實現(xiàn)微觀形貌的納米級測量、并可延伸至動態(tài)測試。

該系統(tǒng)可應用于微機電系統(tǒng)、微光機電系統(tǒng)、納米技術、半導體和材料科學等領域的微觀形貌測試及其相應的動態(tài)特性分析。能夠記錄和再現(xiàn)物體的三維信息，且具有較高的分辨率；對樣本物體的影響較?。辉O備簡單，成本低廉；操作簡便，可實現(xiàn)動態(tài)測試；對測量環(huán)境要求不高。在MEMS/微系統(tǒng)、硅片、微透鏡陣列和生物醫(yī)學方面有所應用。