申請(qǐng)?zhí)枺?02110371245.5

【公開號(hào)】CN112857232A

【公開日】2021.05.28

【分類號(hào)】G01B11/02

【申請(qǐng)日】2021.04.07

【申請(qǐng)人】中北大學(xué)

【發(fā)明人】武京治;王艷紅;楊恒澤;李孟委

【摘 要】本發(fā)明公開了一種長量程光學(xué)自參考位移傳感器，包括由上至下依次的金膜層、上玻璃層、間隙層、下玻璃層和硅基底，金膜層用于通過電流，所述金膜層的厚度為100 nm，所述金膜層上蝕刻有雙納米孔，雙納米孔包括兩個(gè)相交的圓形納米孔，所述雙納米孔下方的間隙層中對(duì)應(yīng)設(shè)置有兩個(gè)并排排列的效應(yīng)塊，該效應(yīng)塊為金納米塊。在電磁波垂直照射下，本發(fā)明的結(jié)構(gòu)在激發(fā)anapole模式的對(duì)應(yīng)波長處會(huì)表現(xiàn)出反射率急劇減小，利用這一模式，通過測量該結(jié)構(gòu)反射光譜的變化來間接反映待測物體的位移，從而實(shí)現(xiàn)位移的探測。