11月8日,隨著有研集團(tuán)所屬有研工研院設(shè)計(jì)制造的GREB2800 大型電子束熔煉爐在麗水成功“點(diǎn)火開爐”,國內(nèi)第一個(gè)電子級(jí)超大規(guī)模集成電路制造用超高純鉭材料產(chǎn)業(yè)基地正式投產(chǎn)。

全球應(yīng)用于高端芯片制造用超高純鉭材技術(shù)被美國和日本的兩家公司壟斷,我國完全依賴進(jìn)口。國產(chǎn)超高純鉭材料產(chǎn)業(yè)基地的建成,填補(bǔ)了該領(lǐng)域的空白,將結(jié)束我國長期依賴進(jìn)口的局面。

大功率電子束熔煉爐是超高純鉭材料制備的關(guān)鍵核心裝備之一,也是我國的重大短板裝備之一。有研工研院針對(duì)電子級(jí)超高純鉭電子束熔煉裝備開展技術(shù)攻關(guān),自主研發(fā)出單槍功率達(dá)到800 kW 的大功率電子束熔煉爐,同時(shí)也是目前國內(nèi)單槍功率最大的電子束熔煉爐,設(shè)備水平國內(nèi)領(lǐng)先、國際先進(jìn)。該設(shè)備具有完整的自主知識(shí)產(chǎn)權(quán),實(shí)現(xiàn)了我國超高純鉭材料制備用大功率電子束熔煉爐的完全國產(chǎn)化。