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半導(dǎo)體電子廠房氣體檢測及監(jiān)視系統(tǒng)的設(shè)計(jì)

2021-07-22 11:43:34高三壘
商品與質(zhì)量 2021年28期
關(guān)鍵詞:控制室檢測器電極

高三壘

中國電子科技集團(tuán)公司第十三研究 河北石家莊 050051

1 氣體檢測及監(jiān)視系統(tǒng)的設(shè)計(jì)

1.1 系統(tǒng)描述

氣體檢測和監(jiān)控系統(tǒng)(GDS/GMS)是生命安全系統(tǒng)(LSS)的一部分。該系統(tǒng)集成了氣體泄漏警報(bào)、安全組合以及各種氣體設(shè)備的重要運(yùn)行狀態(tài)監(jiān)視功能。其配有氣體檢測器,以檢測生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的危險(xiǎn)氣體是否泄漏。

為了提高系統(tǒng)可靠性和穩(wěn)定性,GDS/GMS是冗余配置,它的所在位置是在氣化控制室中。系統(tǒng)網(wǎng)絡(luò)為雙環(huán)網(wǎng)絡(luò),供電是雙回路電源(市電+固定電源);網(wǎng)絡(luò)或電源出現(xiàn)故障將在系統(tǒng)中設(shè)置警報(bào)并使用另一網(wǎng)絡(luò)或其他電源。人機(jī)交互客戶端分別在發(fā)電廠的中央控制室和生產(chǎn)廠的氣化控制室以及行政大樓的安全控制室中[1]。

1.2 系統(tǒng)構(gòu)架

詳細(xì)的系統(tǒng)架構(gòu)分為兩部分:數(shù)據(jù)采集與監(jiān)控網(wǎng)絡(luò)架構(gòu)圖和PLC網(wǎng)絡(luò)架構(gòu)圖。下圖顯示了數(shù)據(jù)采集和監(jiān)視網(wǎng)絡(luò)架構(gòu)圖,其中包括兩個(gè)工程師站(ES),兩個(gè)操作員站(OS),兩組冗余的I/O服務(wù)器(I/OSERVER)和一組冗余的歷史數(shù)據(jù)服務(wù)器,通過網(wǎng)絡(luò)跟數(shù)據(jù)收集與監(jiān)控相連。

1.3 系統(tǒng)關(guān)鍵組成部分

1.3.1 可編程邏輯控制器(PLC)

GDS/GMS它們一個(gè)涵蓋了4000多個(gè)硬接線I/O點(diǎn),布置兩組PLC設(shè)備,每組由兩個(gè)網(wǎng)絡(luò)和兩個(gè)電源進(jìn)行供電,完成了整廠所有可編程邏輯控制器的把控邏輯以及聯(lián)合功能和監(jiān)視性能。

1.3.2 人機(jī)界面

GDS/GMS在廠房的中心控制室和生產(chǎn)車間氣化控制室以及行政樓里安??刂剖依锒疾贾昧瞬僮鼽c(diǎn),可以直接對該系統(tǒng)進(jìn)行監(jiān)視和操作,同時(shí)在氣化控制室里布置了兩個(gè)工程師站點(diǎn),能夠直接對該系統(tǒng)進(jìn)行設(shè)置和程序的編程等。

2 氣體檢測器的選擇及設(shè)計(jì)

2.1 可燃和有毒氣體檢測器設(shè)置原則

根據(jù)石化可燃?xì)怏w檢測規(guī)范GB50493-2009和有毒氣體報(bào)警設(shè)計(jì)規(guī)范,可燃?xì)怏w和有毒氣體檢測儀的設(shè)置原則如下:

當(dāng)可燃?xì)怏w泄漏時(shí),可燃?xì)怏w的濃度可能達(dá)到25%LEL,但是當(dāng)有毒氣體無法達(dá)到最大允許濃度時(shí),將安裝可燃?xì)怏w檢測器。當(dāng)有毒或含有可燃?xì)怏w泄漏時(shí),有毒氣體的濃度可能達(dá)到最大允許濃度,但是當(dāng)可燃?xì)怏w的濃度不能達(dá)到25%LEL時(shí),應(yīng)安裝有毒氣體檢測儀。

當(dāng)兩者同時(shí)存在時(shí),可燃?xì)怏w濃度可能達(dá)到25%LEL,有毒氣體的濃度也可能達(dá)到最高容許濃度時(shí),分別設(shè)置可燃?xì)怏w和有毒氣體檢測器。

在同時(shí)存在可燃?xì)怏w和有毒氣體的情況下,可燃?xì)怏w的濃度可以達(dá)到25%LEL,有毒氣體的濃度可以達(dá)到最大允許濃度時(shí),可以分別對它們設(shè)置檢測器。

當(dāng)相同的氣體可燃且有毒時(shí),僅安裝有毒氣體檢測器。

2.2 檢測的氣體種類及檢測原理

氣體種類中使用的13種有毒或可燃?xì)怏w,按照規(guī)定設(shè)置了不同類型的檢測器,和在控制系統(tǒng)里設(shè)置兩級警報(bào)。

有毒氣體檢測原理:分為電化學(xué)、紅外、定點(diǎn)電解以及隔膜離子電極等。

電化學(xué)類型:將擴(kuò)散氣體的電極浸入普通電解液中,通常是濃酸溶液或鹽溶液,方便在工作電極和負(fù)電極間進(jìn)行離子導(dǎo)電。根據(jù)電池的特定類型不一樣,被測氣體會在工作電極的表面上被氧化或還原該反應(yīng)改變了基于參考電極的工作電極的位置。連接到電池的電子驅(qū)動電路根據(jù)與所測量的氣體濃度成比例的標(biāo)準(zhǔn)在工作電極和對比電極之間傳輸電流,從而反映所測量的氣體濃度[2]。

催化燃燒類型:當(dāng)可燃?xì)怏w/空氣混合物經(jīng)過熱催化劑的表面時(shí),它將燃燒。燃燒釋放的熱量將改變鉑線圈的電阻值,該線圈在標(biāo)準(zhǔn)電橋電路中用作溫度計(jì)來使用和測量。電阻值的變化表示周圍空氣中被測氣體的濃度,可以顯示在氣體檢測器上。根據(jù)氣體檢測儀的安裝區(qū)域,有必要考慮防護(hù)等級和防爆要求。如果安裝在室外開放區(qū)域,則應(yīng)選擇室外類型或添加防護(hù)罩;如果安裝在防爆區(qū)域,則必須根據(jù)不同的防爆等級選擇相應(yīng)的防爆產(chǎn)品[3]。

3 與其他系統(tǒng)的聯(lián)動功能

3.1 與公共廣播系統(tǒng)(CCTV)的聯(lián)動

當(dāng)GDS檢測到氣體泄漏時(shí),它會向CCTV發(fā)送泄漏信號,然后CCTV在整個(gè)工廠廣播警報(bào)并疏散人員。

3.2 與廠務(wù)設(shè)施管理與控制系統(tǒng)(FMCS)的聯(lián)動

當(dāng)GDS檢測到氣體泄漏時(shí),它將泄漏信號發(fā)送給FMCS,F(xiàn)MCS會激活相應(yīng)區(qū)域中的緊急排氣風(fēng)扇以進(jìn)行緊急排氣,以確保及時(shí)釋放氣體。

3.3 與火警系統(tǒng)(FAS)的聯(lián)動

當(dāng)工廠區(qū)域內(nèi)的建筑物發(fā)生火災(zāi)時(shí),F(xiàn)áS將向GDS發(fā)送信號,GDS將自動關(guān)閉建筑物中的天然氣運(yùn)輸設(shè)備。

以上討論證明,用于半導(dǎo)體電子工廠的氣體檢測和監(jiān)控系統(tǒng)的設(shè)計(jì)經(jīng)驗(yàn)證是可行和可靠的。根據(jù)工藝和生產(chǎn)要求,分析使用的可燃?xì)怏w和有毒氣體的種類和使用的領(lǐng)域、相關(guān)的工藝設(shè)備以及設(shè)備之間的關(guān)系;根據(jù)氣體種類找出不同氣體的檢測原理和傳感器種類;根據(jù)不同領(lǐng)域的功能要求,確定操作站和工程師站的數(shù)量和位置等;

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