戶萬 蔡巧玉

如果有人問你，自工業(yè)革命以來最為復雜的一項技術是什么？在你了解到指甲蓋大小的硅片上面集成了超過10億只晶體管前，你會毫不猶豫地回答：“是半導體芯片技術”嗎？

從1947年貝爾實驗室發(fā)明第一只晶體管，到1958年J.Kilby和R.Noyce發(fā)明第一塊集成電路，掀起世界電子產(chǎn)業(yè)的一場革命至今，上至航天飛機，下至人們每天使用的智能手機、平板電腦……半導體芯片，已經(jīng)成為當今世界最不可忽視的重要產(chǎn)品，其對現(xiàn)代信息社會的滲透性遠超過其他任何單一類產(chǎn)品。

半導體芯片種類繁多，人們使用最多的是數(shù)字芯片。數(shù)字芯片主要用于計算和數(shù)據(jù)處理，如CPU、固態(tài)存儲硬盤等，它們的作用就像是大腦。此類芯片的單元晶體管尺寸沿著摩爾定律越來越小，目前已達納米級。射頻芯片是另一類用于通信、遙控遙測、雷達等裝備的半導體芯片，它們的作用就像是眼睛和耳朵。應用發(fā)展要求射頻芯片頻率和功率越來越高，單元晶體管尺寸則是越來越大。“天問一號”火星探測器與地球的聯(lián)系依靠的就是射頻芯片。您手機接收到的信號強弱就是由射頻芯片功率大小決定的，未來5G手機將使用頻率更高的毫米波段芯片，信息通量和下載速度將大大增加。

“在射頻微波毫米波芯片領域，國產(chǎn)第一代硅和第二代砷化鎵半導體芯片規(guī)模應用落后西方發(fā)達國家數(shù)十年。在第三代氮化鎵領域，中國芯還要繼續(xù)落后下去嗎？”男兒不展凌云志，空負天生八尺軀。志氣，向來是中國電子科技集團公司第十三研究所（以下簡稱“13所”）副所長、我國半導體芯片研究專家蔡樹軍和他的團隊最不缺，也是最難能可貴的品質(zhì)。

從早年懷抱“師夷長技以自強”之志遠赴美國加州大學洛杉磯分校等世界級半導體研究殿堂積累沉淀、初綻光芒，到回國后，先后帶領團隊突破第三代半導體氮化鎵射頻器件技術，實現(xiàn)射頻芯片從第二代向第三代的跨越;突破砷化鎵芯片制造瓶頸技術，補齊砷化鎵芯片落后短板……這一樁樁、一件件事，無不飽含不服輸、勇敢拼的勇氣和志向，而這，正是中華民族偉大復興路上中華兒女最不可缺的驅(qū)動內(nèi)核之一。

緣定核芯“發(fā)動機”

什么是氮化鎵芯片？什么是砷化鎵芯片？它們的研究對國家、對普通老百姓有著怎樣的意義？走進蔡樹軍及其團隊的研究世界，或許你能一窺究竟。半導體行業(yè)中有“一代材料、一代技術、一代產(chǎn)業(yè)”的說法。以氮化鎵和碳化硅等寬禁帶半導體為代表的第三代半導體，正憑借材料性能的優(yōu)勢和廣闊的應用場景，被業(yè)內(nèi)譽為固態(tài)光源、電力電子、射頻器件等產(chǎn)業(yè)的“新發(fā)動機”。

立足國家重大需求，突破半導體射頻芯片核心技術，實現(xiàn)第二代砷化鎵和第三代氮化鎵高端射頻芯片的自主設計、自主制造是蔡樹軍及其團隊多年堅持的目標，也是他們最值得驕傲和自豪的貢獻。

傾盡半生的智慧和力量，只為改變中國半導體射頻芯片的落后局面。這樣的壯志，這樣的情懷，其實是積蓄已久——

1981年，秉持“學好數(shù)理化，走遍天下都不怕”理念的蔡樹軍以數(shù)理化平均超90分的優(yōu)異成績考入武漢大學物理系，那年他不滿17周歲?；厥桩敃r，他笑稱自己“啥也不懂”，對“半導體”的概念也還很模糊。初入大學頭兩年，他和物理系所有學員一樣，學的是四大力學、電路原理等基礎課程，首要任務是夯實基礎。等到大三面臨分專業(yè)時，在金屬、半導體、理論、光學4個專業(yè)之間，他毫不猶豫地選擇了當時還是新興學科的半導體，理由只有一個：因為“感覺中國在這個領域落后很多”。越艱難的事情，越需要有人去開拓前行。對年輕的蔡樹軍來說，不懼困難，勇往直前是他骨子里埋藏的基因，確定目標后，唯奮力前行。

1985年本科畢業(yè)后，蔡樹軍在本科班主任的推薦下，報考13所研究生。選擇13所的理由說起來有點“草率”，只因蔡樹軍的老師說起他多年前到一家單位參加全國性研討會，而那家單位大門口掛著一幅大橫幅，上面寫著“熱烈歡迎13所老大哥前來指導！”“這說明13所的地位一定很高。”蔡樹軍笑著回憶。事實上，笑談背后，是13所作為我國半導體領域內(nèi)代表“國家水平”的知名研究所真正不容小覷的技術能力和雄厚實力。在我國半導體研究和產(chǎn)業(yè)蹣跚起步的漫長階段里，13所是重要參與者也是重要推動者，為推動我國半導體技術發(fā)展做出過諸多不可磨滅的貢獻。1956年中國第一只晶體管，1965年我國第一塊實用化硅集成電路，1977年中國第一只砷化鎵場效應晶體管等均在13所誕生。如今13所已是國內(nèi)領先的，覆蓋微電子、光電子、MEMS、高端傳感器和集成微系統(tǒng)諸領域的大型綜合性半導體研究所。

時至今日，蔡樹軍還在為自己當初的選擇感到慶幸。就是在這樣一個光榮的大家庭里，他不僅一步步實現(xiàn)了積累和成長，還獲得了到外面世界汲取先進知識的大門鑰匙。且最終在這里，他收獲了夢想得以實踐的歸屬感。至今，蔡樹軍還清晰地記得自己初到13所時選擇的是材料專業(yè)，“因為當時覺得中國半導體不行是因為基礎材料不行”，但天意弄人，因為材料專業(yè)的導師已經(jīng)招滿學生，所以所里推薦他轉(zhuǎn)到器件專業(yè)，這一次“不順遂”的經(jīng)歷恰好促成了蔡樹軍與半導體器件研究一生的情緣。而后來的經(jīng)歷也證明：他最終的選擇是對的。

這要從蔡樹軍的家庭講起——蔡樹軍的父親是當?shù)胤綀A幾十里知名的農(nóng)機機械工程師，在小蔡樹軍兒時的記憶中，滿手沾滿機油搗鼓機械零部件是最常見不過的場景。從小耳濡目染、參與實踐，鍛煉了他極佳的動手能力。這為他后來在半導體器件研究中能夠做常人之不能做，埋下了堅實伏筆。

上研究生時，蔡樹軍從事的是第一代硅器件研究。與很多同輩不一樣，他研究生時就因為出色的表現(xiàn)獲得導師王長河副總工程師和趙麗華主任的準許，可以獨立地在研究室動手開展實驗。從器件結(jié)構(gòu)設計、畫版圖，到氧化、擴散、光刻、濺射、刻蝕、測試等，全鏈條的工藝經(jīng)師傅指點后，蔡樹軍很快都熟練掌握，基本自己獨立完成。那時還沒有商業(yè)二維器件模擬軟件可以使用，為了驗證自己的理論設計，蔡樹軍還用FORTRAN語言編寫了二維器件模擬軟件，“畢業(yè)論文因此增加了兩張漂亮的3D電勢分布圖，很值！”可惜的是數(shù)千條語句的軟件程序因為“打印出來會是很厚一沓、太費紙”，所以沒有保存下來?！澳嵌螘r間非常鍛煉我的能力”，蔡樹軍回憶。他研究生期間完成的新型高壓抗輻照器件，將抗輻照性能提升了60倍。

擁有自信和堅實技術能力的蔡樹軍研究生畢業(yè)的第一年就領銜室創(chuàng)新小組，第二年就主持完成星用高可靠器件的成果鑒定，成功替代了日本的相應產(chǎn)品，之后又主持完成國內(nèi)首個S波段100瓦脈沖大功率器件的鑒定，成果獲得原電子工業(yè)部科技進步獎二等獎等。那幾年里，除了收獲更多的底氣和自信之外，也加深了蔡樹軍對國產(chǎn)設備的了解和多年后致力推動設備國產(chǎn)化的信心?！拔覀儺敃r使用的工藝設備全部是國產(chǎn)，光刻機是13所自己研制的。國產(chǎn)設備不是不行，而是需要環(huán)境、時間和空間去提升?！?/p>

一步一步積累、沉淀，從學生到課題組長，再到主任，8年的時間里，蔡樹軍在13所完成了成長跨越。28歲不到，他就破格成為當時13所里最年輕的高級工程師。

在13所成長的幾年時間里，蔡樹軍極強的動手能力和創(chuàng)造力開始得以展現(xiàn)。常常會有一些讓人驚喜的小創(chuàng)造。當年，因為看到室里核算員每個月做財務報表、成本分攤等工作繁瑣而且容易出錯，他就用486機器、FOXBASE語言編寫了一個計算機核算軟件，最后在全所推廣;針對手動砷預淀積工藝存在砷中毒危險的問題，他從倉庫里找出一些舊的電控件，把手動改成了自動控制，既大大減小了砷中毒的危險，同時還提高了工藝重復性;針對光刻使用鑷子經(jīng)常造成硅片邊緣崩邊，影響光刻質(zhì)量的問題，他用銼刀和鉗子改造鑷子成“鷹鉤鼻”，避免了硅片正面崩邊……這樣工藝上的小改進、小發(fā)明，還有不少。在很多人眼里，蔡樹軍不僅善于發(fā)現(xiàn)問題，還善于找到解決問題的辦法。

機會總是喜歡垂青有所準備的人。在快速積累成長的過程中，蔡樹軍迎來了升級跨越的好機會——

山水萬程皆沉淀

20世紀90年代中期，蔡樹軍正是30歲意氣風發(fā)的時候，經(jīng)過在13所多年的沉淀，他剛剛成長為室主任。恰同學少年，風華正茂，在躊躇滿志的他正打算帶著實驗室成員大干一場的時候，一次非常特別的機會擺在了他的面前——

彼時，我國第一代半導體研究還在如火如荼地進行，西方發(fā)達國家已經(jīng)在著手第三代半導體氮化鎵的研究。時任13所所長的趙正平和梁春廣院士敏銳地捕捉到了這一點，決定派人前往美國學習取經(jīng)。這次在別人看來非常難得的機會花落蔡樹軍。如果換作是別人，肯定高興還來不及，蔡樹軍卻犯了難，“當時正干得火熱，一群人正等著你帶領他們?nèi)ネ瓿啥ㄏ碌哪繕耍揖瓦@樣跑去美國做半年的高級訪問學者，屁股沒坐熱，啥也沒學到就要回來，兩頭都耽誤事情?！眰€性的蔡樹軍拒絕了這一機會。沒想到，愛才惜才的所領導進一步為他單獨申請到了一年的學習時間，這次，蔡樹軍沒有理由拒絕了，肩負代表國家到世界先進半導體研究殿堂學習取經(jīng)的重任，他踏上了征程。沒想到，這一走就是8年時間。

1996年6月，蔡樹軍前往世界知名學府美國加州大學洛杉磯分校（UCLA）電子工程系做訪問學者研究。UCLA是世界互聯(lián)網(wǎng)的發(fā)源地，出過15名諾貝爾獎得主。作為全球排名前十左右的電子工程系其更是名師薈萃。蔡樹軍所在的導師課題組里，有來自世界各地諸如臺積電、三星等優(yōu)秀公司、機構(gòu)里的優(yōu)秀學者，諸多先進思想都在此聚集、碰撞。蔡樹軍就像是進到一個新鮮、充滿活力的“不一樣”的世界，到處都是他之前想都沒想過的先進事物：用計算機控制的各種實驗儀器、設備先進齊全的“納米制造工藝中心”、精密快捷的加工車間……這些都帶給他極大的震撼。在這樣一個人才濟濟的地方，蔡樹軍倒也不輸優(yōu)勢，一去第一個月就把一臺課題組原本要丟棄的設備給弄活了。導師眼睛一亮，開始極力勸說他留下來攻讀博士學位，還親自到13所就此事溝通。從原來的訪問變成攻讀博士學位，原本答應訪問完就回13所的蔡樹軍在此之前從沒想過這個問題，在他陷入兩難的時候，是13所原總工的話讓他最終下決心留在美國繼續(xù)學習?！扒拜呉运慕?jīng)歷告訴我，人生的路很長，學習的機會不是一直有，而為國家做貢獻的機會一直有。”一番忠告如醍醐灌頂。幸得13所領導的理解支持，蔡樹軍最終以公派自費的名義開啟了在美國的學生生涯。

“在美國念博士很辛苦，不同學校有不同的規(guī)矩。UCLA規(guī)定除了主修專業(yè)外，還要輔修兩個專業(yè)。我選擇了主修半導體器件專業(yè)，輔修半導體材料專業(yè)和集成電路專業(yè)，共修了13門課。修滿學分后是資格大考。3個小時開卷考試、3個小時閉卷考試再加3個小時答辯，都通過后才正式具備博士研究生資格，淘汰率有四分之一?！辈虡滠姾軕c幸自己堅持了下來。至今，他還記得導師給予他的鼓勵：Suffer from learning is a good thing?。ㄒ?qū)W習而辛苦是件好事?。?/p>

雖然學業(yè)重，但蔡樹軍始終沒有忘記初心，積極參與當時國際熱點氮化鎵射頻器件技術的攻關。從1996年到2002年，6年在UCLA的時間里，蔡樹軍表現(xiàn)超群，被指定為團隊負責人，先后負責了多個總經(jīng)費超過1000萬美元的氮化鎵研究項目，而他個人最終也以“Microwave Power AlGaN/GaN Heterojunction Field Effect Transistor for X-band Applications”（“氮化鎵異質(zhì)結(jié)微波功率器件在X波段的應用”）為題完成博士論文。這是國際上最早的氮化鎵射頻器件博士研究論文之一。論文系統(tǒng)研究了氮化鎵材料性質(zhì)，提出表面電荷補償模型闡明電流崩塌機理，發(fā)明了GAMMA柵抑制逆壓電效應，突破歐姆接觸等關鍵技術瓶頸，解決世界性關鍵技術難題，發(fā)表了當時國際最高水平成果，獲得了導師和項目高級官員的高度評價。研究成果充分揭示了氮化鎵作為射頻功率器件的巨大潛力，為后來他回國帶領團隊實現(xiàn)跨越發(fā)展打下堅實的理論和實踐基礎。

在美國6年的研究對蔡樹軍的影響是多方面的，除了學習居于前沿的先進技術知識和理念之外，他還對來自世界各地不同文化背景的人增進了了解，美國人的開朗、日本人的嚴謹、伊朗人的謹慎、俄羅斯人扎實的理論功底……幾年接觸，蔡樹軍學會了與不同性格背景的人溝通交流，建立了良好的人脈。尤其是導師對追求科學真理的熱情，對追求完美結(jié)果的執(zhí)著，至今，仍影響著蔡樹軍?！癚uality is not an act，is a habit”（優(yōu)秀品質(zhì)是一種習慣，而不是一兩次的表現(xiàn)?。?，導師的座右銘猶在耳畔，熏陶數(shù)年，已成了蔡樹軍一輩子的財富。2002年博士畢業(yè)之后，意猶未盡的蔡樹軍還選擇到領域里的知名學府——香港科技大學繼續(xù)學習和工作，成為電子工程系客座助理教授、博士生導師，英文講授“半導體器件物理”和“集成電路制造”等課程?！爸挥挟斶^老師，學過的知識才能進一步夯實。因為課堂上來自世界各地的學生什么問題都可能問，當老師的總不能被學生輕易難住”，蔡樹軍笑著說。兩年的任教生涯，收獲滿滿。離開后，學校改聘他為兼職副教授，并將崗位保留了十多年。

從1996年到2004年，出走13所歷練的8年間，走過多個世界科學研究殿堂，蔡樹軍的經(jīng)歷正應了那句話：山水萬程皆沉淀，歸來不負少年時。

敢與天公試比高

2004年，羽翼豐滿的蔡樹軍選擇回到了闊別8年的13所。

對回來這件事情，蔡樹軍從沒有過猶豫，“我承諾過我肯定要回來的”。沒有談任何條件，即使他在香港科技大學的工資已經(jīng)是13所的幾倍數(shù)，即使北上廣有不少非常不錯的單位都拋來橄欖枝……他還是毫不猶豫地選擇回到原點?！皩ξ襾碚f，人生就像一本書，換換章節(jié)可以，但沒有必要另起爐灶，這些年來，13所給了我太多，我還是就著13所這本書，繼續(xù)往下翻吧?！辈虡滠娦χf。而這次回歸，他不僅與13所重續(xù)了前緣，還翻開了新的篇章。

正如前文所說，一代芯片一代裝備。以第二代半導體砷化鎵芯片為例，涉及上千個具體性能指標不同的產(chǎn)品，因為長期突破不了性能低、成品率低、一致性差、可靠性差等問題，嚴重制約了裝備發(fā)展，改變落后局面迫在眉睫。

回國3個月了解情況后，蔡樹軍主動到當時虧損多年的砷化鎵專業(yè)部兼任主任。“半導體曾經(jīng)是13所的榮光，到我們這代更應該保持其榮光”。為改變落后局面，蔡樹軍兼任主任后大刀闊斧地主導了一系列提升工作。包括重新組建核心團隊，技術上梳理出幾十個問題，成立攻關小組，主導了一系列攻關。在提升精細T型柵成品率的攻關過程中，他發(fā)現(xiàn)了自掩蔽效應機理，提出解決方案，解決深亞微米T型柵可靠性與成品率低的問題;主導外延材料自主研發(fā)，大大加快了新產(chǎn)品的開發(fā)速度和抗風險能力;主導模型團隊的培養(yǎng)和建設，縮短了產(chǎn)品設計周期;主導技術和人才引進，策劃國際合作，培養(yǎng)和提升一大批工藝線核心骨干能力，等等。

工欲善其事，必先利其器。在世界級科研殿堂學習和工作多年，蔡樹軍對先進技術方法手段的推動作用有著清醒的認識，因此極力推進相關工作，包括主導工藝線SPC（統(tǒng)計工藝控制）在線系統(tǒng)的建設，通過引進消化吸收再創(chuàng)新，實現(xiàn)了先進的具有完全自主知識產(chǎn)權(quán)的SPC技術，該技術系統(tǒng)的開發(fā)，改變了關鍵工藝參數(shù)不可見、不可控的歷史;主導了PCM（工藝控制監(jiān)控圖形）設計，將復雜的工藝質(zhì)量轉(zhuǎn)化成可以測量的參數(shù);改變?nèi)斯y試和統(tǒng)計數(shù)據(jù)的歷史，示范搭建VEE控制系統(tǒng)，推動實現(xiàn)全系統(tǒng)測試數(shù)據(jù)的計算機自動采集，大幅提高工藝過程數(shù)據(jù)和產(chǎn)品數(shù)據(jù)的采集效率，確保了數(shù)據(jù)的準確性和實時性;主導了基于SPC大數(shù)據(jù)對產(chǎn)品性能與工藝參數(shù)進行關聯(lián)度分析的圖形化系統(tǒng)的建立，做到工藝改進有的放矢，已成為持續(xù)提升產(chǎn)品性能的基本手段。這些先進技術方法手段的應用，無疑在當時是一劑又一劑強心針，加快推進了半導體射頻芯片的工程化進程。

一只木桶能裝多少水，不取決于最高的木板有多高，而取決于最短的木板有多短。在國產(chǎn)芯片領域，芯片制造就是這樣一根短板，蔡樹軍對此有深刻的感悟。

“做芯片是一件不容易的事情，需要幾代人的傳承接力。前有長輩一代人打下的基礎，后有年輕人的快速成長，先后接替我的兩位主任幾年里都已成長為副所長。正因為有這些優(yōu)秀的年輕人的接棒，才有了事業(yè)的傳承，才有了今天我們射頻高端芯片自主保障和與國際并跑的局面?！弊允贾两K，蔡樹軍都不覺得功勞是自己的，而是團隊智慧和努力的結(jié)晶。

在一系列舉措的推動之下，13所最終建成了可與西方一流同類企業(yè)比擬的化合物射頻芯片集成設計制造線，形成具有自主知識產(chǎn)權(quán)的標準先進工藝，性能、產(chǎn)能和交付周期達到國際一流水平，補齊了射頻芯片的短板，徹底改變了射頻芯片長期依賴進口的落后局面。

在蔡樹軍近40年的半導體研究生涯中，策劃寬禁帶半導體推進計劃應該是濃重的一筆。作為計劃指南主要編制者和項目負責人，憑借早年在境外研究氮化鎵多年的堅實基礎和技術領先優(yōu)勢，蔡樹軍先后負責了多個相關重大項目的實施，在進一步提升性能基礎上，帶領團隊解決一系列工程化問題，成功實現(xiàn)國產(chǎn)射頻芯片向國際最新一代的跨越，在高端射頻芯片領域?qū)崿F(xiàn)與國際并跑。相關成果蔡樹軍作為第一完成人獲得2019年度國家科技進步獎一等獎，該獎也是中國電科成立以來，在基礎元器件領域獲得的首個國家科學技術進步獎一等獎。

我自縱橫，敢與天公試比高。比美國晚啟動8年，卻實現(xiàn)與之并跑和局部超越。蔡樹軍和他所在的團隊憑借對前沿技術敏銳的洞察力以及超強的領悟力、創(chuàng)新力、執(zhí)行力，在中國深陷芯片危困之際，唱響了一曲非常難得的從設計到制造全鏈條的中國芯自主創(chuàng)新之歌，為中國芯的崛起吹響了振奮人心的號角。

唱響合作主旋律

“一個人走得快，一群人走得遠?！睆氖贾两K，蔡樹軍都在強調(diào)團隊的力量。事實上，參與大工程項目這些年，蔡樹軍口中所說的團隊，早已經(jīng)不再局限于13所，而是涵蓋了各個領域的合作單位。這些年走來，他們給蔡樹軍留下太多的感動故事、感動瞬間。他們，是支撐蔡樹軍前行的最大力量。

蔡樹軍永遠也不會忘記，自己風華正茂之時，是13所前輩和領導為他打開了通向世界科研殿堂學習進步的大門，回國后，正是在13所歷任所長和同事們的支持和幫助之下，他才得以一步一步放心帷幄布局并最終踐行?！霸缒瓴环σ恍┐蟮堕煾呐e措，例如把氮化鎵器件技術整體從重點實驗室轉(zhuǎn)移到專業(yè)部，重新布局等，這些，都得到了他們的大力支持?！?/p>

在蔡樹軍看來，他所在的是一支有著優(yōu)良傳承和蓬勃朝氣的奮進團隊?！拔覀儸F(xiàn)任所長卜愛民常說一句話：‘做隱姓埋名的人，干驚天動地的事。這也是他從老一輩人身上感悟到的精神?！倍@，這也是蔡樹軍不斷強調(diào)“要保持個人低調(diào)、少突出個人”，甚至有了成果也很少報獎的原因。蔡樹軍說起一件難忘的事：在獲得國家科技進步獎一等獎后，他給當年的老領導匯報，老領導在得知他回國后一直在同一個崗位一干近20年后說：“我就喜歡你這樣坐得住的，專注一件事，干成一件事！”得到老領導的肯定，蔡樹軍已是很滿足?！捌鋵崳瑹o聞，在13所奉獻了一輩子的人有很多”。

除了肩負責任、無私奉獻，科學布局、運籌帷幄;對前沿技術敏銳的洞察力，對先進科學技術方法的重視，對科學管理方法的踐行……經(jīng)年累月，這些13所前輩沉淀出的優(yōu)秀品質(zhì)在蔡樹軍等新一代13所人身上都得到淋漓盡致的展現(xiàn)、沉淀，并且升華、擴大。

早年，蔡樹軍從13所前輩身上獲益良多，如今，他希望自己在這方面的感悟也能夠惠及年輕一代。回國后他至今兼任重點實驗室副主任。第二年他提出的“格物、致知、創(chuàng)新”的室訓已刻在實驗室的墻上，提醒著重點實驗室的年輕骨干們，在努力探究科學真理的同時，不忘為社會創(chuàng)造現(xiàn)實價值。令人欣慰的是，重點實驗室團隊在蔡樹軍香港科大的博士生、現(xiàn)任常務副主任的帶領下，在太赫茲、石墨烯、金剛石、氧化鎵器件等前沿領域保持了國際第一梯隊水平，為未來持續(xù)發(fā)展打下良好基礎。其中太赫茲核心芯片關鍵技術及應用獲2020年度中國電子學會發(fā)明獎一等獎。

當年接手專業(yè)部，上任第一周，蔡樹軍就明示了他的管理理念：“人盡其才，物盡其用”，并將其貼在了墻上。重組團隊的時候，蔡樹軍主動公開個人郵箱，收到郵件上百份。為踐行自己的管理理念，他基本與每個成員都談過話，把有意愿換崗的都盡量安排在合適的崗位上?！懊總€人都有長處，我的首要職責就是發(fā)現(xiàn)人才，并盡快發(fā)揮所有員工的長處”，“其次就是如何用好現(xiàn)有的設備”。

當年，在缺人缺技術的困頓時刻，專業(yè)部曾經(jīng)讓一批退休人員返聘上崗，當年輕主力逐漸充足后，這些老員工也完成使命從容退出?！按蠹铱傆幸环N愿意為目標無私奉獻的精神?！辈虡滠娪X得，這就是軍工人身上最可愛的閃光點?！翱萍既招略庐悾覀冃枰涯贻p人的能量發(fā)揮出來，待遇是一方面，擘畫藍圖，激發(fā)他們對事業(yè)的熱愛，把心穩(wěn)住，事業(yè)才有延續(xù)的希望?！?/p>

穩(wěn)定隊伍，信任年輕人，把交接棒逐步交到他們手上的同時，蔡樹軍一方面作為課題負責人承擔固態(tài)微波領域最大項目，一方面不忘在領域里發(fā)揮自己更大的作用。近些年里，他受邀作專題和特邀報告40余次，報告主題包括硅、砷化鎵、氮化鎵半導體器件與集成電路、宇航可靠性、5G、工業(yè)4.0、半導體設備國產(chǎn)化等諸多方面，聯(lián)合發(fā)表的論文據(jù)中國知網(wǎng)統(tǒng)計下載總數(shù)已超過1萬次。這些年，他立意解決行業(yè)里的主要矛盾，著手前沿布局，圍繞早日實現(xiàn)核心芯片的自主可控，往來奔走，建言獻策……為推動半導體行業(yè)發(fā)展做出了重要貢獻。

隱姓埋名舒壯志，長使兒女淚沾襟。蔡樹軍之所以能全心撲在工作上，離不開家人的支持。難忘當年女兒在蘭州出生的時候，他正在所里開成果鑒定會，會后還惦記用戶對新產(chǎn)品的使用情況，順道又走訪了西安客戶，3天后才見到新出生的小寶寶。這樣對家人的愧疚在蔡樹軍多年工作中出現(xiàn)過無數(shù)次?！霸谝呀?jīng)走過的人生旅途中，陪孩子太少是我最大的愧疚”。當愧疚成為常態(tài)，唯一聲嘆息，將所有對親人的感恩埋在心間，用事業(yè)來回報。

或許是因為自己多年在外的深刻感悟，蔡樹軍對未來先進硅數(shù)字集成電路產(chǎn)業(yè)、中國目前芯片最大短板的發(fā)展方向，依然倡導“合作是主旋律”?！肮钄?shù)字集成電路發(fā)展到今天，已經(jīng)注定單一國家無法獨立承擔所有研發(fā)費用并壟斷全產(chǎn)業(yè)鏈，尤其在3nm節(jié)點及其以后，技術難度、投資費用更大?！薄懊鎸θ缃裢庠谛蝿葑兓斐傻睦Ь?，我們不惹事也不怕事。我們要客觀認識差距，過度樂觀和過度悲觀都是不可取的。一方面商用芯片領域要繼續(xù)努力主動融入世界、擁抱世界;另一方面涉及國家安全的芯片必須堅決實施全面自主保障戰(zhàn)略，一張藍圖繪到底。”“半導體技術作為人類共同的財富，應該有來自中國的更大貢獻。期待中國創(chuàng)新，期待中國方案！”在蔡樹軍心中，半導體產(chǎn)業(yè)前景依然樂觀。中國順勢而為，大有可為！