鹿文龍 王剛

摘 要：本文基于濺射薄膜技術(shù)研制微壓傳感器，充分發(fā)揮濺射薄膜技術(shù)優(yōu)勢，通過改進(jìn)芯體結(jié)構(gòu)解決了輸出靈敏度低的難題。使用PGA900信號調(diào)理器對薄膜微壓傳感器進(jìn)行信號調(diào)理，通過內(nèi)置算法實(shí)現(xiàn)傳感器溫度補(bǔ)償和性能優(yōu)化。經(jīng)過試驗(yàn)驗(yàn)證，傳感器的性能穩(wěn)定、輸出特性良好，達(dá)到了同類產(chǎn)品的較高水平。

關(guān)鍵詞：PGA900；微壓傳感器；濺射薄膜；信號調(diào)理

微壓傳感器是一種壓力傳感器，可測量微小壓力，廣泛應(yīng)用于工業(yè)控制、石油管道、水利水電、航空航天等行業(yè)[1-2]。傳統(tǒng)的微壓傳感器基于硅壓阻式測量原理，存在溫度特性差的缺點(diǎn)[3]。本文基于濺射薄膜式測壓原理[4]，選擇PGA900信號調(diào)理器，充分發(fā)揮薄膜傳感器技術(shù)優(yōu)勢，研制出薄膜微壓傳感器，并對傳感器的性能進(jìn)行了考核驗(yàn)證。

1 薄膜微壓測量原理及技術(shù)優(yōu)勢

薄膜微壓傳感器采用應(yīng)變式測壓原理，如圖1所示，傳感器的敏感元件由基底、絕緣膜、合金膜、保護(hù)膜組成[5]?；卓蓚鬟f并感應(yīng)外界壓力，將壓力量轉(zhuǎn)換為應(yīng)變量。絕緣膜、合金膜和保護(hù)膜依次從下往上鍍制在基底材料上，絕緣膜為SiO2材料，具有良好的絕緣特性，用于隔離基底和合金膜。合金膜為金屬材料，通過離子測控濺射技術(shù)鍍制成特定的應(yīng)變絲柵圖形，如圖2所示。應(yīng)變絲柵由2個(gè)主柵電阻和2個(gè)輔柵電阻組成，形成1個(gè)惠斯通電橋?；椎膽?yīng)變傳遞至合金膜后，應(yīng)變絲柵會產(chǎn)生變形，從而引起惠斯通電橋輸出發(fā)生改變。電橋的輸出電壓變化與外界壓力變化存在比例關(guān)系，通過測量電橋電壓便可實(shí)現(xiàn)對壓力的測量。保護(hù)膜位于合金膜上表面，材料為SiO2，對合金膜起到保護(hù)作用。

傳統(tǒng)微壓傳感器基于硅壓阻原理，通過半導(dǎo)體制造技術(shù)在確定晶向制作相同的4個(gè)感壓電阻，由電阻組成惠斯通電橋。當(dāng)承受壓力時(shí)，電阻的電阻率發(fā)生變化，引起電阻值變化，電橋失去平衡產(chǎn)生電壓信號。電橋電路原理如圖2所示，輸出信號滿足公式1關(guān)系。由于半導(dǎo)體材料的溫度特性不穩(wěn)定，當(dāng)溫度變化時(shí)電橋電阻會發(fā)生變化，傳感器的輸出會發(fā)生較大漂移，所以硅壓阻微壓傳感器的溫度特性較差。

與硅壓阻原理不同，薄膜微壓傳感器為應(yīng)變式原理，外界壓力引起合金膜的應(yīng)變絲柵發(fā)生應(yīng)變，其中主柵電阻被拉伸產(chǎn)生正向應(yīng)變，阻值增大；輔柵電阻被壓縮產(chǎn)生負(fù)向應(yīng)變，阻值減小。電橋失去平衡，輸出差分電壓信號。薄膜微壓傳感器的應(yīng)變絲柵電阻為金屬材料，電阻的電阻率穩(wěn)定，不會隨溫度發(fā)生變化。絲柵是通過離子磁控濺射工藝將同種靶材材料原子濺射沉積而成的，鍍制結(jié)束后再經(jīng)過激光調(diào)阻技術(shù)對絲柵電阻進(jìn)行精密調(diào)整。鍍制的絲柵電阻材料均勻，不含雜質(zhì)，溫度特性一致。如2所示，在敏感芯體的非應(yīng)變區(qū)域?yàn)R射鍍制溫度補(bǔ)償絲柵，可用來補(bǔ)償傳感器的溫度靈敏度漂移，所以薄膜微壓傳感器具有良好的溫度特性。

但是，由于薄膜微壓傳感器的應(yīng)變絲柵為金屬材質(zhì)，材料彈性模量較大，外界壓力引起的應(yīng)變量很小，所以傳感器的輸出靈敏度較低。為提高傳感器輸出信號質(zhì)量，需要采取措施提高輸出靈敏度。

2 薄膜微壓傳感器設(shè)計(jì)

2.1 敏感芯體結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)

常規(guī)的濺射薄膜敏感芯體結(jié)構(gòu)如圖3所示，外形呈“禮帽”狀，上端面密封，下端面內(nèi)部開有深槽[6]。上端面用于感受外界壓力，外徑為12 mm。當(dāng)壓力變化時(shí)上端面會產(chǎn)生相對應(yīng)變，應(yīng)變會引起鍍制的絲柵電阻變形，電橋輸出對應(yīng)電壓信號。

由于微壓傳感器的量程很小，而敏感芯體為金屬材質(zhì)，通常彈性模量較大。相同壓力條件下，芯體的應(yīng)變量與芯體上端面厚度成反比。而芯體的輸出靈敏度則與芯體的應(yīng)變量成正比。要提高芯體的輸出靈敏度就必須進(jìn)一步減小上端面厚度，這給芯體加工帶來了很大的難度。

研究中對敏感芯體的結(jié)構(gòu)進(jìn)行了改進(jìn)，如圖4所示，改進(jìn)后的敏感芯體為內(nèi)腔帶硬質(zhì)芯式結(jié)構(gòu)，即芯體的感壓內(nèi)腔帶有一塊硬質(zhì)芯，整個(gè)芯體上表面為Φ18 mm，硬質(zhì)芯直徑為Φ7 mm。當(dāng)壓力作用于芯體內(nèi)腔，由于硬質(zhì)芯的存在，應(yīng)變變形集中分布到內(nèi)腔上表面硬質(zhì)芯外圍區(qū)域。與常規(guī)結(jié)構(gòu)相比，相同壓力產(chǎn)生的應(yīng)變量增大，敏感芯體的輸出靈敏度顯著提高。

2.2 密封組件結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)

微壓傳感器的量程小，通常要求具有絕壓測量能力。而傳統(tǒng)的濺射薄膜壓力傳感器由于敏感芯體暴露在外，只能測量表壓壓力而不能測量絕壓壓力。研究中設(shè)計(jì)了密封組件結(jié)構(gòu)，用于密封敏感芯體上表面，為敏感芯體提供真空環(huán)境，從而實(shí)現(xiàn)絕對壓力的測量。

密封組件由密封殼體、金屬插針和堵蓋組成，金屬插針通過玻璃燒結(jié)工藝密封燒結(jié)在密封殼體上，在真空條件下將密封殼體焊接在壓力接口座上，并將堵蓋焊接在密封殼體頂部，可以為敏感芯體提供一個(gè)真空環(huán)境，實(shí)現(xiàn)對絕對壓力的測量。

轉(zhuǎn)接電路板位于密封結(jié)構(gòu)內(nèi)部，焊接固定在金屬插針上，并與薄膜芯體上表面保持水平，采用金絲焊接技術(shù)焊接薄膜芯體焊盤和轉(zhuǎn)接電路板焊盤，可將芯體信號引出至外部電路，實(shí)現(xiàn)信號轉(zhuǎn)接。

2.3 硬件電路設(shè)計(jì)

薄膜微壓傳感器使用PGA900進(jìn)行信號調(diào)理，該芯片是一款面向電阻式傳感器的信號調(diào)理器，具有數(shù)字和模擬輸出的可編程傳感器信號調(diào)理功能。PGA900具有2路模擬信號輸入，分別為1路壓力信號和1路溫度信號，可對2路信號實(shí)現(xiàn)采集、放大和調(diào)理，采集精度每路為24位，壓力信號的放大倍數(shù)最大為400倍，溫度信號的放大倍數(shù)最大為20倍。憑借片上ARM Cortex M0處理器實(shí)現(xiàn)溫度補(bǔ)償、線性化等校準(zhǔn)算法。PGA900帶有1路可編程增益放大器的14位DAC模擬輸出。具備SPI、I2C、通用異步收發(fā)器（UART）和2個(gè)通用輸入輸出（GPIO）端口訪問數(shù)據(jù)和配置寄存器。同時(shí)還保留1個(gè)單線接口OWI，支持通過電源引腳進(jìn)行單線通信和配置，無需使用額外線路。片內(nèi)內(nèi)置溫度傳感器，采集溫度范圍為-40～150 ℃。PGA900傳感器靈敏度可調(diào)節(jié)范圍為1～135 mV/V，內(nèi)部有1 kB數(shù)據(jù)的SRAM、128字節(jié)的EEPROM和8 kB的軟件存儲器。內(nèi)部框圖如圖5所示。

濺射薄膜敏感芯體的輸出靈敏度在PGA900的信號調(diào)節(jié)范圍內(nèi)，敏感芯體連接至VBRGP、VINPP、VINPN、VBRGN，使用片內(nèi)溫度傳感器采集環(huán)境溫度。PGA900可實(shí)現(xiàn)對敏感芯體的信號放大、輸出校準(zhǔn)和溫度補(bǔ)償。PGA900的最高工作溫度可達(dá)150 ℃，還可用于制作耐高溫型薄膜微壓傳感器?；赑GA900的薄膜微壓傳感器信號調(diào)理電路如圖6所示。

信號調(diào)理電路由穩(wěn)壓芯片MIC5233-5和信號調(diào)理器PGA900組成，其中穩(wěn)壓芯片將外部電壓穩(wěn)定至5 V為PGA900供電，PGA900對電壓進(jìn)一步濾波處理后為薄膜芯體供電。薄膜芯體輸出的毫伏級信號進(jìn)入PGA900，由PGA900內(nèi)部集成的可調(diào)增益儀表放大器對信號進(jìn)行放大處理，放大后的信號由24位AD轉(zhuǎn)換器轉(zhuǎn)換為數(shù)字量。通過上位機(jī)軟件控制PGA900內(nèi)部的ARM處理器對數(shù)字量進(jìn)行非線性修正、端點(diǎn)標(biāo)定和歸一化處理，經(jīng)調(diào)理后的數(shù)字量由14位DA轉(zhuǎn)換器轉(zhuǎn)換為標(biāo)準(zhǔn)電壓信號輸出。

2.4 傳感器校準(zhǔn)

使用上位機(jī)軟件通過串口可以操作PGA900內(nèi)部的ARM處理器，可控制A/D采集、校準(zhǔn)參數(shù)計(jì)算、EEPROM下載和D/A輸出等過程。軟件可以利用校準(zhǔn)算法對采集到的傳感器數(shù)據(jù)進(jìn)行端點(diǎn)校正和線性化修正[7]。校準(zhǔn)后的參數(shù)可以存入片內(nèi)EEPROM，防止數(shù)據(jù)丟失。校準(zhǔn)完成后，PGA900上電讀取參數(shù)，輸出正確電壓值。

3 試驗(yàn)測試及數(shù)據(jù)分析

使用氣介質(zhì)標(biāo)定系統(tǒng)對校準(zhǔn)成功的微壓傳感器進(jìn)行性能測試。氣介質(zhì)壓力計(jì)量程為0～0.7 MPa、精度0.02%，傳感器供電電壓為15±1 V。將已放置在規(guī)定試驗(yàn)環(huán)境下至少1 h的待測傳感器以規(guī)定的安裝力矩安裝在壓力源上，并通以額定的激勵電源，預(yù)熱15 min后開始測試。

從量程下限加載到量程上限的壓力，觀察裝置的氣密情況，檢查測試儀器和電源電壓，根據(jù)量程范圍，給傳感器施加3次滿量程預(yù)壓。根據(jù)滿量程確定均勻分布的檢定級（不少于5級）。按檢定級逐點(diǎn)進(jìn)行正、反3個(gè)壓力循環(huán)。根據(jù)這3個(gè)循環(huán)的測試數(shù)據(jù)，按標(biāo)準(zhǔn)QJ28A計(jì)算出靜態(tài)特性指標(biāo)。傳感器的輸出特性方程為Ya bX=+（式中：X為校準(zhǔn)壓力值；Y為對應(yīng)于各校準(zhǔn)壓力值的電壓輸出值；a為特性方程的截距；b為特性方程的斜率。）

在常溫（20 ℃）、高溫（60 ℃）、低溫（-40 ℃）3種狀態(tài)下分別對傳感器進(jìn)行靜態(tài)性能標(biāo)定，得出特性方程。分別計(jì)算3種狀態(tài)下的遲滯、重復(fù)、非線性，取3個(gè)溫度點(diǎn)最大測量精度作為該傳感器的全溫區(qū)綜合測量精度。經(jīng)測試傳感器的最大綜合誤差小于0.2%FS（如表1）。

4 結(jié)束語

基于PGA900的薄膜微壓傳感器充分發(fā)揮了濺射薄膜傳感器性能穩(wěn)定、穩(wěn)定特性好的優(yōu)勢，利用PGA900內(nèi)部集成的ARM處理器對傳感器進(jìn)行了輸出校準(zhǔn)和非線性修正。經(jīng)過校準(zhǔn)后的傳感器性能指標(biāo)達(dá)到了較高水平，同時(shí)設(shè)計(jì)的密封組件可以為薄膜芯體提供真空環(huán)境，實(shí)現(xiàn)絕對壓力的測量。

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