挑戰(zhàn)碳化硅前沿科技的“小巨人”
2022-05-30 05:43:00耿倩王添依
科學(xué)導(dǎo)報(bào) 2022年67期
耿倩 王添依
金秋十月，走進(jìn)中國電科旗下的山西爍科晶體有限公司（簡稱“爍科晶體”）車間，最搶眼的就是一排排近3米高的碳化硅單晶生長設(shè)備。在這些設(shè)備內(nèi)部超過2000℃的高溫環(huán)境中，進(jìn)行著驚人的化學(xué)反應(yīng)——一個(gè)個(gè)碳化硅晶錠正在快速生長。
練就“獨(dú)門絕技”
山西爍科晶體作為山西省第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈“鏈主”，是半導(dǎo)體材料碳化硅研發(fā)和生產(chǎn)的高新技術(shù)企業(yè)，全面掌握碳化硅生長爐、粉料合成、晶體生長到加工檢測的工藝技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了產(chǎn)業(yè)化。
從爍科晶體2018年“呱呱落地”，到入選第四批國家級(jí)“專精特新”小巨人企業(yè)，這家年輕的公司，承載著不普通的使命。成立不到4年，就形成了行業(yè)技術(shù)領(lǐng)先、工藝先進(jìn)的碳化硅生產(chǎn)線，建成了國內(nèi)規(guī)模最大、產(chǎn)能第一的碳化硅材料產(chǎn)業(yè)基地，碳化硅材料產(chǎn)能達(dá)到國內(nèi)第一，市場占有率超過50%，為產(chǎn)業(yè)鏈安全穩(wěn)定作出了重要貢獻(xiàn)。
碳化硅是全球最先進(jìn)的第三代半導(dǎo)體材料，具有耐高壓、高頻、大功率等優(yōu)良的物理特性，是衛(wèi)星通信、電動(dòng)汽車、高壓輸變電、軌道交通等重要領(lǐng)域的核心材料。
“碳化硅單晶的制備一直是全球性難題，而高穩(wěn)定的晶體生長工藝則是其中最核心的一環(huán)。”技術(shù)專家表示，爍科晶體反復(fù)鉆研攻關(guān)，最終完全掌握了這項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)，并實(shí)現(xiàn)了高純碳化硅單晶的商業(yè)化量產(chǎn)。
“國家急迫需要和長遠(yuǎn)需求，始終是我們的研發(fā)方向?！奔夹g(shù)專家表示，爍科晶體充分發(fā)揮自身核心技術(shù)和產(chǎn)業(yè)規(guī)模優(yōu)勢(shì)，深耕碳化硅材料和大尺寸單晶研發(fā)“賽道”，自主研發(fā)碳化硅單晶生長爐，完成高純碳化硅粉料制備，突破4英寸、6英寸碳化硅襯底產(chǎn)業(yè)化關(guān)鍵技術(shù)，攻克N型碳化硅單晶襯底和高純半絕緣碳化硅單晶襯底制備難題，解決了“切、磨、拋”等工藝關(guān)鍵技術(shù)難點(diǎn)，不僅技術(shù)處于行業(yè)領(lǐng)先水平，還實(shí)現(xiàn)碳化硅粉料制備、單晶生長、晶片加工等全流程自主創(chuàng)新。
今年3月2日，山西爍科晶體又傳出好消息：實(shí)現(xiàn)了8英寸N型SiC拋光片的小批量生產(chǎn)，助推國產(chǎn)8英寸N型SiC拋光片的批量化生產(chǎn)。
據(jù)介紹，由于SiC對(duì)溫度及壓力控制有著極其苛刻的要求，而且其本身具有的高硬度、高脆性、低斷裂韌性等特點(diǎn)，大尺寸碳化硅單晶的制備及切割極具挑戰(zhàn)性，而爍科晶體8英寸晶體和晶片的成功研制，則充分驗(yàn)證了公司的自主創(chuàng)新能力和專業(yè)研發(fā)實(shí)力。
勇?lián)版溨鳌笔姑?/h3>
在第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展過程中，企業(yè)如同散落珍珠，串珠成鏈才能掘金未來。如今，爍科晶體作為“鏈主”肩負(fù)起了推進(jìn)產(chǎn)業(yè)鏈補(bǔ)鏈延鏈強(qiáng)鏈的重任。
近年來，山西爍科晶體積極發(fā)揮龍頭探路者作用，全力推進(jìn)數(shù)字化轉(zhuǎn)型，通過建設(shè)信息化系統(tǒng)，解決系統(tǒng)間數(shù)據(jù)孤島的問題，確保產(chǎn)品生產(chǎn)管理與產(chǎn)品追溯，實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)過程的人、機(jī)、料、法、環(huán)全方位系統(tǒng)管控，生產(chǎn)數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)回傳，構(gòu)建了標(biāo)準(zhǔn)化、透明化、高效化的綜合生產(chǎn)體系，不僅為科學(xué)決策提供了可靠數(shù)據(jù)支撐，也為產(chǎn)業(yè)鏈上下游企業(yè)數(shù)字化轉(zhuǎn)型作出示范。
為了加快產(chǎn)業(yè)鏈延伸，爍科晶體正全力打造中國電科（山西）碳化硅材料產(chǎn)業(yè)基地，積極吸引下游客戶與上游供應(yīng)商入駐，形成產(chǎn)業(yè)鏈上下游一體化發(fā)展格局。“力爭達(dá)到國內(nèi)甚至在國際上來說都非?？捎^的規(guī)模。這樣可以把上下游的很多企業(yè)都吸引過來，達(dá)到產(chǎn)業(yè)集群的優(yōu)勢(shì)?！?/p>
同時(shí)，為了進(jìn)一步突破SiC產(chǎn)業(yè)技術(shù)壁壘，助力縮短國內(nèi)外技術(shù)差距，推動(dòng)SiC襯底等關(guān)鍵材料的國產(chǎn)化替代進(jìn)程。爍科晶體本著生產(chǎn)一代、研發(fā)一代、儲(chǔ)備一代的原則，每年至少拿出20%的收入用于科研投入，強(qiáng)化專業(yè)技術(shù)支撐能力。并持續(xù)針對(duì)碳化硅需求端的數(shù)據(jù)走向和消費(fèi)趨勢(shì)，深度研判市場趨勢(shì)，適時(shí)啟動(dòng)產(chǎn)線擴(kuò)產(chǎn)，為產(chǎn)業(yè)規(guī)模持續(xù)增長夯基固本。
“搶時(shí)間、搶速度，始終心懷攻克前沿關(guān)鍵技術(shù)、服務(wù)國家重大需求的決心和行動(dòng)力。”技術(shù)人員滿懷信心的話語，折射出山西爍科晶體奮戰(zhàn)碳化硅材料技術(shù)前沿，支撐第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈起勢(shì)騰飛的決心。
猜你喜歡
廣東建材(2023年10期)2023-10-17 08:25:42
材料與冶金學(xué)報(bào)(2022年2期)2022-08-10 09:15:34
核科學(xué)與工程(2021年4期)2022-01-12 06:30:04
陶瓷學(xué)報(bào)(2021年5期)2021-11-22 06:35:22
四川建筑(2019年6期)2019-07-20 09:39:32
佛山陶瓷(2017年7期)2017-09-06 21:27:34
世界文化(2017年5期)2017-05-04 15:41:45
共產(chǎn)黨員·上(2016年2期)2016-03-28 02:50:22
電子器件(2015年5期)2015-12-29 08:42:07
橡膠工業(yè)(2015年10期)2015-02-24 05:49:34
