微弧氧化亦稱為等離子體微弧氧化、微等離子體氧化、陽極火花沉積或火花放電陽極氧化,是一種直接在非鐵金屬表面原位生長陶瓷層的新技術(shù),其基本原理是利用電化學(xué)方法,將要微弧氧化的工件置于電解質(zhì)溶液中,利用400~500 V高壓電源,從陽極氧化的法拉第區(qū)域進(jìn)入高壓放電區(qū),使該工件表面微孔中產(chǎn)生火花放電斑點,使工件和電解液中的氧在瞬時高溫下發(fā)生電、物理、化學(xué)反應(yīng)生成三氧化二鋁(Al2O3)的陶瓷薄層,牢固地生長附著在工件的表面,達(dá)到工件表面強化的目的。整個微弧氧化過程包含了以下基本過程:空間電荷在氧化物基體中形成;在氧化物孔中產(chǎn)生氣體放電;膜層材料的局部熔化;熱擴散;膠體微粒的沉積;帶負(fù)電的膠體微粒遷移進(jìn)入放電通道;等離子體化學(xué)和熱化學(xué)反應(yīng)。普通的陽極氧化在法拉第區(qū)進(jìn)行,而微弧氧化則在弧光放電區(qū)進(jìn)行。