申請(專利)號：CN202121802320.0

公開(公告)日：2022-03-15

申請(專利)人：重慶凱益特種氣體有限公司

摘要：本實用新型公開了一種三氯化硼的純化裝置，涉及電子氣體裝置技術(shù)領(lǐng)域。本實用新型包括三氯化硼原料瓶，三氯化硼原料瓶的一端通過管道連接有第一加熱箱，第一加熱箱的一端通過管道連接有減壓閥，減壓閥的一端通過管道連接有高溫爐，高溫爐一側(cè)的底部設(shè)置有出料管道，高溫爐的一端通過管道連接有冷卻器，冷卻器的一端通過管道連接有吸附器。本實用新型通過冷卻器、吸附器、過濾器和精餾塔的配合，使得裝置在使用時能夠便于將低純度的三氯化硼提純?yōu)楦呒兌热然?，且通過第一氣管、第二加熱箱、第二氣管、氮氣儲存瓶和連接柱的配合，使得裝置在使用時能夠便于通過加熱后的氮氣對吸附飽和后的分子篩進行再生。