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新型三維動態(tài)光學顯微鏡

2023-02-26 14:04:45肖晨
西安工業(yè)大學學報 2023年4期
關鍵詞:全息顯微鏡光學

西安工業(yè)大學田愛玲團隊自主設計、研發(fā)的新型三維動態(tài)光學顯微鏡,基于目前的動態(tài)觀察顯微鏡和測量用的掃描三維顯微鏡的應用現(xiàn)狀,采用數(shù)字全息技術原理,記錄攜帶有被觀測物體輪廓或相位信息的單幀數(shù)字全息干涉圖,利用計算機數(shù)值重建算法對所記錄的全息圖進行數(shù)值重建獲得被觀測物體的相位和振幅信息,從而完成被測物體三維形貌的重構,達到非接觸、全場、動態(tài)觀察、測試、記錄和存儲的功能。最終研制三維動態(tài)光學顯微鏡樣機獲得國家外觀專利許可(ZL201830159740.9),實現(xiàn)了微觀形貌的納米級測量、并可延伸至動態(tài)測試,其主要技術指標有:① 空間采樣為1 280*1 024;② 橫向分辨率為0.5 μm;③ 縱向分辨率為5 nm;④縱向測量深度為平滑樣品根據(jù)視場深度而定,臺階樣品不超過半個波長。與其它顯微技術相比,數(shù)字全息顯微術有其獨特的優(yōu)點:① 能夠記錄和再現(xiàn)物體的三維信息,且具有較高的分辨率;② 對樣本物體的影響較小;③ 設備簡單,成本低廉;④ 操作簡便,可實現(xiàn)動態(tài)測試;⑤ 對測量環(huán)境要求不高。因此,本項目的產(chǎn)業(yè)化能夠促進光學顯微鏡的更新?lián)Q代,符合國家產(chǎn)業(yè)政策的發(fā)展方向。該項目的研究技術將在很大程度上改善我國相關領域在測量觀察方面的現(xiàn)狀,有助于相關行業(yè)的技術進步。目前市場空間較大,符合行業(yè)的發(fā)展方向,技術門檻較高,可應用于微小物體的形貌檢測、微形變分析以及生物細胞形態(tài)測量等多個領域,實現(xiàn)實時三維觀測。

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