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化工標(biāo)準(zhǔn)化動(dòng)態(tài)

2023-03-19 12:47:14吳世清
化工生產(chǎn)與技術(shù) 2023年2期
關(guān)鍵詞:光譜法碳化硅硅片

2022年1月以來(lái)實(shí)施的含硅系列標(biāo)準(zhǔn)(一)

1)GA/T 1965-2021《法庭科學(xué)硅藻rbcL基因特異片段檢測(cè)毛細(xì)管電泳熒光檢測(cè)法》。規(guī)定了法醫(yī)物證檢驗(yàn)水中尸體組織中硅藻的材料準(zhǔn)備、操作方法、PCR擴(kuò)增硅藻葉綠體核酮糖-1,5-二磷酸羧化酶大亞基基因特異片段和實(shí)時(shí)熒光定量檢驗(yàn)結(jié)果判定及注意事項(xiàng)。

2)GB/T 12690.7-2021《土金屬及其氧化物中非稀土雜質(zhì)化學(xué)分析方法第7部分:硅量的測(cè)定》。規(guī)定了稀土氧化物中全硅含量、稀土金屬及其氧化物中酸溶硅含量的測(cè)定方法。適用于稀土金屬及其氧化物中硅量的測(cè)定,包含鉬藍(lán)分光光度法(方法1)和電感耦合等離子體原子發(fā)射光譜法(方法2)。鉬藍(lán)分光光度法(方法1)適用于稀土氧化物中全硅含量及稀土金屬及其氧化物中酸溶硅含量的測(cè)定,測(cè)定范圍(質(zhì)量分?jǐn)?shù)):0.001 0%~0.20%;電感耦合等離子體原子發(fā)射光譜法(方法2)適用于稀土金屬及其氧化物中酸溶硅含量的測(cè)定,測(cè)定質(zhì)量分?jǐn)?shù)0.010%~0.20%。當(dāng)2 個(gè)方法的分析范圍出現(xiàn)重疊時(shí),宜首選方法1作為仲裁方法。

3)GB/T 18916.60-2021《取水定額 第60 部分:有機(jī)硅》。規(guī)定了有機(jī)硅取水定額的計(jì)算方法、取水定額以及定額管理要求。適用于現(xiàn)有、新建和改擴(kuò)建有機(jī)硅(硅氧烷環(huán)體)生產(chǎn)企業(yè)取水量的管理。

4)GB/T 21944.1-2022《碳化硅特種制品反應(yīng)燒結(jié)碳化硅窯具第1部分:方梁》。規(guī)定了反應(yīng)燒結(jié)碳化硅方梁的產(chǎn)品分類、技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則、包裝、標(biāo)志、運(yùn)輸和儲(chǔ)存。

5)GB/T 21944.2-2022《碳化硅特種制品反應(yīng)燒結(jié)碳化硅窯具第2部分:異形梁》。規(guī)定了反應(yīng)燒結(jié)碳化硅異形梁的產(chǎn)品分類、技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則、包裝、標(biāo)志、運(yùn)輸和儲(chǔ)存。

6)GB/T 21944.3-2022《碳化硅特種制品反應(yīng)燒結(jié)碳化硅窯具第3部分:輥棒》。規(guī)定了反應(yīng)燒結(jié)碳化硅輥棒的產(chǎn)品分類、技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則、標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸和儲(chǔ)存。

7)GB/T 21944.4-2022《碳化硅特種制品反應(yīng)燒結(jié)碳化硅窯具第4部分:燒嘴套》。規(guī)定了反應(yīng)燒結(jié)碳化硅燒嘴套的產(chǎn)品分類、技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則、包裝、標(biāo)志、運(yùn)輸和儲(chǔ)存。

8)GB/T 223.90-2021《鋼鐵及合金硅含量的測(cè)定電感耦合等離子體原子發(fā)射光譜法》。規(guī)定了用電感耦合等離子體原子發(fā)射光譜法測(cè)定硅含量的方法。適用于生鐵、鑄鐵、非合金鋼、低合金鋼及合金鋼中質(zhì)量分?jǐn)?shù)0.01%~5%的硅的測(cè)定。

9)GB/T 24581-2022《硅單晶中III、V 族雜質(zhì)含量的測(cè)定低溫傅立葉變換紅外光譜法》。描述了用低溫傅立葉變換紅外光譜法測(cè)定硅單晶中III、V族雜質(zhì)含量的方法。適用于硅單晶中的III、V族雜質(zhì)鋁(Al)、銻(Sb)、砷(As)、硼(B)、鎵(Ga)、銦(In)和磷(P)含量的測(cè)定,各元素的測(cè)定范圍(以原子數(shù)計(jì))為1.0×1010~4.1×1014cm-3。

10)GB/T 2480-2022《普通磨料碳化硅》。規(guī)定了碳化硅磨料的牌號(hào)、技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則和包裝、標(biāo)志、運(yùn)輸及貯存。適用于制造固結(jié)磨具、涂附磨具用途和自由研磨、拋光、切割用途的碳化硅磨料。

11)GB/T 26069-2022《硅單晶退火片》。規(guī)定了硅單晶退火片(以下簡(jiǎn)稱退火片)的分類、技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則、包裝、標(biāo)志、運(yùn)輸、貯存、隨行文件及訂貨單內(nèi)容。適用于通過(guò)退火工藝在硅單晶拋光片表面形成一定寬度潔凈區(qū)的硅片,產(chǎn)品用于技術(shù)代180~22 nm的集成電路。

12)GB/T 32280-2022《硅片翹曲度和彎曲度的測(cè)試自動(dòng)非接觸掃描法》。描述了利用2個(gè)探頭在硅片表面自動(dòng)非接觸掃描測(cè)試硅片的翹曲度和彎曲度的方法。適用于直徑不小于50 mm、厚度不小于100 μm 的潔凈、干燥的硅片,包括切割、研磨、腐蝕、拋光、外延、刻蝕或其他表面狀態(tài)的硅片,也可用于砷化鎵、碳化硅、藍(lán)寶石等其他半導(dǎo)體晶片翹曲度和彎曲度的測(cè)試。

13)GB/T 3286.11-2022《石灰石及白云石化學(xué)分析方法第11部分:氧化鈣、氧化鎂、二氧化硅、氧化鋁及氧化鐵含量的測(cè)定波長(zhǎng)色散X 射線熒光光譜法(熔鑄玻璃片法)》。石灰石及白云石化學(xué)分析方法第11 部分:氧化鈣、氧化鎂、二氧化硅、氧化鋁及氧化鐵含量的測(cè)定波長(zhǎng)色散X 射線熒光光譜法(熔鑄玻璃片法)。

14)GB/T 34520.8-2021《連續(xù)碳化硅纖維測(cè)試方法第8部分:氧含量》。規(guī)定了采用惰性氣體熔融-紅外吸收法測(cè)定連續(xù)碳化硅纖維中氧含量的試樣制備、試樣測(cè)試、測(cè)試結(jié)果計(jì)算等內(nèi)容。適用于采用惰性氣體熔融-紅外吸收法測(cè)定連續(xù)碳化硅纖維的總氧含量。非連續(xù)碳化硅纖維及基體的氧含量測(cè)試參照本文件。其他陶瓷纖維的氧含量測(cè)試參考本文件。

15)GB/T 35596-2022《硼硅酸鹽玻璃吹制耐熱器具》。規(guī)定了硼硅酸鹽玻璃吹制耐熱器具的術(shù)語(yǔ)和定義、技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則及標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸和貯存。適用于機(jī)器或人工吹制的硼硅酸鹽玻璃吹制耐熱器具。

16)GB/T 35598-2022《硼硅酸鹽玻璃壓制耐熱器具》。規(guī)定了硼硅酸鹽玻璃壓制耐熱器具的術(shù)語(yǔ)和定義、技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則及標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸和貯存。適用于機(jī)器或人工壓制的硼硅酸鹽玻璃耐熱器具。

17)GB/T 40312-2021《磷鐵磷、硅、錳和鈦含量的測(cè)定波長(zhǎng)色散X射線熒光光譜法(熔鑄玻璃片法)》。描述了用波長(zhǎng)色散X 射線熒光光譜法測(cè)定磷鐵中磷、硅、錳和鈦的含量的方法。適用于磷鐵中磷、硅、錳和鈦含量的測(cè)定。

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