□文/ 周佳佳 浙江省CMOS集成電路創(chuàng)新平臺

建設(shè)背景

習(xí)近平總書記指出，加快建設(shè)科技強(qiáng)國是全面建設(shè)社會主義現(xiàn)代化國家、全面推進(jìn)中華民族偉大復(fù)興的戰(zhàn)略支撐，必須瞄準(zhǔn)國家戰(zhàn)略需求，系統(tǒng)布局關(guān)鍵創(chuàng)新資源，發(fā)揮產(chǎn)學(xué)研深度融合優(yōu)勢，不斷在關(guān)鍵核心技術(shù)上取得新突破。如何突破“缺芯少核”困境、突圍“弱基無人”危機(jī)？“集成電路產(chǎn)業(yè)由科學(xué)催生工程文化發(fā)展，集成電路學(xué)科以工科為主，工程師文化建立勢在必行，要在大學(xué)進(jìn)行產(chǎn)教融合的卓越工程師培養(yǎng)，做出新工科的建設(shè)?！敝袊こ淘涸菏俊⒑贾菘苿?chuàng)中心領(lǐng)域首席科學(xué)家吳漢明反復(fù)發(fā)聲。

建設(shè)目標(biāo)

2020年4月，我國集成電路領(lǐng)域著名專家、中國工程院院士吳漢明從時(shí)任浙江大學(xué)校長吳朝暉手中接過受聘證書，正式加盟浙江大學(xué)，擔(dān)任浙江大學(xué)微納電子學(xué)院院長。2020 年6 月，在時(shí)任浙江省委書記袁家軍的直接關(guān)心、親自推動下，面向國家重大戰(zhàn)略需求，聚焦CMOS 集成電路成套工藝和設(shè)計(jì)一體化，省、市、區(qū)、校謀劃建設(shè)全國唯一的12 英寸CMOS 集成電路芯片設(shè)計(jì)與制造成套工藝技術(shù)研發(fā)平臺，致力于推動產(chǎn)業(yè)高端人才培養(yǎng)，打造國內(nèi)一流集成電路產(chǎn)教融合高端人才培養(yǎng)基地和集成電路產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展“創(chuàng)新硅谷”。

研究方向：集成電路智能制造技術(shù)、針對工業(yè)芯片、汽車電子的特色工藝技術(shù)、良率提升技術(shù)。

建設(shè)成效

■通過“學(xué)院+平臺”協(xié)同，加快推進(jìn)科教融匯

微納電子學(xué)院自2020年9月整建制搬遷入駐杭州科創(chuàng)中心以來，一體化推進(jìn)專業(yè)學(xué)院和創(chuàng)新平臺建設(shè)。2023 年5 月22 日，2023 中國（杭州）集成電路產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新大會暨全國集成電路學(xué)院院長論壇在杭州科創(chuàng)中心召開，教育部、浙江省人民政府共建集成電路（制造）人才培養(yǎng)和協(xié)同創(chuàng)新基地正式揭牌。平臺以協(xié)同創(chuàng)新基地為依托，充分發(fā)揮科技攻關(guān)新型舉國體制優(yōu)勢，將全國示范性微電子學(xué)院排頭兵建設(shè)與國內(nèi)高校唯一的12 英寸集成電路制造成套工藝公共平臺打造有機(jī)結(jié)合、深度融合，加強(qiáng)建設(shè)“集成電路科學(xué)與工程”一級學(xué)科，加快開展集成電路產(chǎn)業(yè)亟需人才培養(yǎng)、一流師資和卓越工程師培訓(xùn)，加快關(guān)鍵共性技術(shù)協(xié)同攻關(guān)和科研成果轉(zhuǎn)移轉(zhuǎn)化，實(shí)現(xiàn)了12 英寸CMOS 成套工藝線通線，基礎(chǔ)工藝平臺的性能已達(dá)到國際領(lǐng)先水平，累計(jì)獲批國家級項(xiàng)目13 個(gè)，各類科研項(xiàng)目80余個(gè)。

■通過“課堂+實(shí)訓(xùn)”聯(lián)動，加快推進(jìn)產(chǎn)教融合

“產(chǎn)教脫節(jié)”是我國高校集成電路人才培養(yǎng)的重要現(xiàn)實(shí)問題。集成電路專業(yè)學(xué)生缺少實(shí)訓(xùn)教學(xué)，畢業(yè)生能直接上手參加企業(yè)項(xiàng)目較少，實(shí)操能力和工程經(jīng)驗(yàn)相對匱乏。學(xué)院以教育部集成電路高層次緊缺人才培養(yǎng)專項(xiàng)為依托，與行業(yè)龍頭企業(yè)共建聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室和人才培養(yǎng)基地，大力引進(jìn)具有豐富產(chǎn)業(yè)經(jīng)歷的高水平人才并擔(dān)任校內(nèi)導(dǎo)師，兼聘行業(yè)龍頭企業(yè)一線技術(shù)人才擔(dān)任企業(yè)導(dǎo)師。目前，已培養(yǎng)在校碩博研究生400 余人，預(yù)計(jì)5 年內(nèi)將培養(yǎng)工程師近千名。2023 年6 月，學(xué)院成功承辦“職教國培”示范項(xiàng)目集成電路類專業(yè)帶頭人培訓(xùn)班，同步進(jìn)行國家級職業(yè)教育“雙師型”教師培訓(xùn)基地（集成電路類）的揭牌，來自全國高職院校的50 余名集成電路專業(yè)帶頭人在學(xué)院及平臺開展集中實(shí)訓(xùn)，加快開展貫通產(chǎn)教兩端的復(fù)合型師資培養(yǎng)。

■通過“論文+流片”雙檢，加快推進(jìn)協(xié)同育人

人才培養(yǎng)的成效既要通過理論學(xué)習(xí)來檢驗(yàn)，也需要通過實(shí)踐能力來檢查。學(xué)院以“一生一芯”研究生實(shí)踐專項(xiàng)計(jì)劃為抓手，面向全國高校集成電路專業(yè)學(xué)生開放實(shí)訓(xùn)實(shí)踐，在完成理論學(xué)習(xí)、學(xué)術(shù)論文的基礎(chǔ)上，提供從芯片設(shè)計(jì)到制造全流程實(shí)習(xí)實(shí)訓(xùn)機(jī)會，實(shí)現(xiàn)所有研究生完成至少一次工藝開發(fā)或芯片流片，大大縮短集成電路急需人才從培養(yǎng)階段到投入科技與產(chǎn)業(yè)一線的周期。截至目前，累計(jì)已完成100 余名碩博研究生的培訓(xùn)工作，為解決集成電路領(lǐng)域急需緊缺人才、拔尖創(chuàng)新人才的自主培養(yǎng)提供全新方案。在2023 年5 月的全國集成電路學(xué)院院長論壇上，吳漢明院士牽頭發(fā)出了全國集成電路學(xué)院校際合作聯(lián)合倡議書，倡議共同建設(shè)我國高校集成電路制造牽引的校際聯(lián)合平臺，協(xié)同開展人才培養(yǎng)、集智攻關(guān)、企業(yè)合作、成果轉(zhuǎn)化，共同促進(jìn)國家戰(zhàn)略性長遠(yuǎn)性科技發(fā)展。

未來展望

“杭州科創(chuàng)中心要加快探索重大科創(chuàng)平臺建設(shè)模式，主動肩負(fù)起推動高水平科技自立自強(qiáng)的時(shí)代使命，加大集成電路等領(lǐng)域自主研發(fā)力度，奮力拼搏、攻堅(jiān)克難，贏得美好未來。”2023 年5 月，省委書記易煉紅在平臺看望師生員工時(shí)，他深情說道，“中國人民幾千年來都是生生不息的，中國人民抗打壓的精神、勇氣歷來是十分強(qiáng)大的，美西方的打壓倒逼我們在集成電路等高科技領(lǐng)域靠自己創(chuàng)新創(chuàng)造，你們現(xiàn)在正肩負(fù)著神圣的使命。”集成電路的黃埔軍校，師生員工一直在奮斗、一直在路上?！?/p>