童維超 蔣柏斌 吳小軍 李國 黃燕華 張春雨 馬小軍

摘要： 針對尖刀加工的平面調(diào)制微結(jié)構(gòu)表面質(zhì)量差以及尖刀頂部尖角易磨損的現(xiàn)象，本文系統(tǒng)分析了尖刀在加工平面調(diào)制結(jié)構(gòu)時輪廓誤差的形成機理，發(fā)現(xiàn)了尖刀加工調(diào)制表面的輪廓誤差大且存在難以補償?shù)奶匦?，調(diào)制結(jié)構(gòu)的輪廓誤差與刀尖寬度成正比，與調(diào)制的周幅比值（λ/a）成反比．為此，本文提出了采用圓弧刀具結(jié)合刀具半徑補償方法以降低平面調(diào)制樣品輪廓誤差的技術(shù)方案．實驗結(jié)果表明，采用圓弧刀結(jié)合刀具補償方法對平面調(diào)制結(jié)構(gòu)的輪廓精度提升具有顯著作用，相比于尖刀切削，圓弧刀補償加工的一維調(diào)制樣品獲得了更高的表面質(zhì)量和輪廓精度．針對幅值a=4 μm，周期λ=60 μm 的平面調(diào)制樣品，采用圓弧刀補償加工方案，調(diào)制樣品的表面粗糙度Ra值由59. 66 nm 降至21 nm，輪廓誤差精度提高了約20%.

關(guān)鍵詞： 平面調(diào)制結(jié)構(gòu)； 輪廓誤差； 周幅比值（λ/a）； 圓弧刀； 半徑補償； 表面粗糙度

中圖分類號： TG519. 1 文獻標志碼： A DOI： 10. 19907/j. 0490-6756. 2024. 024003