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荷蘭光刻機(jī)巨頭聯(lián)合創(chuàng)始人維姆·特魯斯特去世

2024-07-03 06:00:33
世界知識 2024年13期
關(guān)鍵詞:光刻機(jī)晶圓阿斯

6月11日,據(jù)報道,荷蘭光刻機(jī)巨頭阿斯麥(ASML)在社交平臺發(fā)文,悼念其創(chuàng)始人之一維姆·特魯斯特的離世。

據(jù)介紹,特魯斯特于1925年在荷蘭海牙出生,他在阿斯麥的創(chuàng)立、崛起與創(chuàng)新過程中都起到了舉足輕重的作用。上世紀(jì)70年代末和80年代初,半導(dǎo)體制造技術(shù)的規(guī)模和復(fù)雜性的快速增長,推動了這一行業(yè)價值鏈的分工,專業(yè)設(shè)備供應(yīng)商對于開發(fā)復(fù)雜的光刻系統(tǒng)變得尤為重要。在此背景下,飛利浦開始研發(fā)自己的晶圓步進(jìn)機(jī),用于對硅晶圓進(jìn)行圖案化。

特魯斯特正是飛利浦晶圓步進(jìn)機(jī)的開發(fā)人員,也是在飛利浦管理團(tuán)隊會議上唯一一個表示對光刻機(jī)研究有興趣的人。1984年,飛利浦和ASM成立合資企業(yè)阿斯麥。1987年,當(dāng)時搖搖欲墜的阿斯麥群龍無首,剛從飛利浦退休兩年的特魯斯特決定出任阿斯麥的首席執(zhí)行官他帶領(lǐng)ASML度過了1988年的危機(jī),直至1990年再次退休。

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