在半導(dǎo)體光電器件這個大家族中,有許多的成員,它們有的能把電變成光,有的能把光變成電,還有的能對光和電的信號進行各種處理和放大。半導(dǎo)體光電器件神奇的功能吸引著南京大學(xué)電子科學(xué)與工程學(xué)院的博士生導(dǎo)師王科,他多年來一直致力于從事半導(dǎo)體光電材料與器件的前沿研究,在寬禁帶氮化物半導(dǎo)體的材料外延生長、物性分析、新型光電器件,尤其是氮化物外延生長技術(shù)與應(yīng)用方面做了系列研究工作,取得了不錯的成果。
發(fā)光二極管與半導(dǎo)體照明革命
世紀(jì)之交,恰逢氮化鎵藍(lán)光二極管有了重大突破,半導(dǎo)體照明革命恰逢其時,南京大學(xué)是國內(nèi)最早進入相關(guān)領(lǐng)域的單位之一。在張榮教授講述的半導(dǎo)體物理課堂上,王科對氮化物半導(dǎo)體產(chǎn)生了濃厚興趣。2000年從南京大學(xué)本科畢業(yè)后,他進入香港大學(xué)攻讀半導(dǎo)體物理學(xué)碩士學(xué)位,他的導(dǎo)師馮漢源是英國牛津大學(xué)有史以來第一位失明的物理學(xué)博士,他風(fēng)度儒雅、談吐大方,給王科留下了深刻的印象。馮教授的理論功底很強,還能在黑板上板書上課,有這樣讓人敬佩的老師,王科對研究更是不敢怠慢,為他日后的研究打下了扎實的基礎(chǔ)。
彼時雖然氮化鎵藍(lán)光二極管發(fā)展很快,但是更長波長的綠光-黃光-紅光二極管頗為滯后。馮教授介紹了另一種獲得三原色發(fā)光器件的思路:把稀土元素加入氮化鎵中就可以獲得各種顏色的發(fā)光。當(dāng)時,歐盟剛剛設(shè)立一個大型項目支持該項研究,于是王科決定前往牽頭該項目的英國斯特斯克萊德大學(xué)深造?!爱?dāng)時的想法其實很簡單,就是覺得這項研究非常有趣,同時也能看看外面的世界?!辈┦科陂g,王科跟隨導(dǎo)師凱爾文·奧唐奈(Kelvin O’Donnell)和羅伯特·馬?。≧obert Martin)教授進行了關(guān)于稀土元素?fù)诫s氮化鎵的研究。“稀土元素有發(fā)紅光的、綠光的、藍(lán)光的,但是組合起來就變成了白光。我覺得這非常有意思?!蓖蹩瓢l(fā)現(xiàn)稀土元素?fù)诫s的半導(dǎo)體具有優(yōu)異的光學(xué)特性,在LED顯示、上轉(zhuǎn)換、下轉(zhuǎn)換等領(lǐng)域有很好的應(yīng)用價值。
博士畢業(yè)時,導(dǎo)師羅伯特·馬丁建議王科如果想在這個領(lǐng)域有更深的發(fā)展,日本是一個很好的選擇。“他跟我說,以氮化鎵、碳化硅為代表的第三代半導(dǎo)體,基本上都是日本團隊率先取得突破性進展。的確,日本是最近十多年半導(dǎo)體照明革命的發(fā)源地,其影響已經(jīng)滲入到人們的日常生活中?!眲偤卯?dāng)時課題組與日本立命館大學(xué)名西憓之教授有合作,做的是氮化物分子束外延生長技術(shù),這是非常前沿的半導(dǎo)體材料和精細(xì)結(jié)構(gòu)制備技術(shù),王科覺得這是一個不錯的機會。2008年的春天,他闊別待了4年之久的格拉斯哥,來到了日本立命館大學(xué),開啟新的研究之路。
鉆研新技術(shù)
分子束外延技術(shù)(Molecular Beam Epitaxy,MBE)是一種在晶體基片上生長高質(zhì)量的晶體薄膜的前沿技術(shù),在半導(dǎo)體制造、光電子等方面得到了廣泛的應(yīng)用。“我們現(xiàn)在說‘卡脖子’技術(shù),分子束外延技術(shù)正是一個環(huán)節(jié),也是對我們領(lǐng)域來說很關(guān)鍵、很重要的一個環(huán)節(jié),所以一開始我就想認(rèn)認(rèn)真真把分子束外延技術(shù)學(xué)扎實。”研究分子束外延技術(shù)不是一個簡單的過程,它需要時間的積累,王科在立命館大學(xué)一待就是5年。
5年間,王科充分掌握了MBE的相關(guān)理論,積累了不少成果。2013年的秋天,王科前往千葉大學(xué)任職副教授。在千葉大學(xué)工作期間,王科印象最深的是吉川明彥老師的認(rèn)真與嚴(yán)謹(jǐn)?!凹ɡ蠋熞蠛車?yán),只要定了計劃,一定要按計劃來推進,想盡各種各樣的辦法,克服各種各樣的困難,一步一步推進?!蓖蹩普f從吉川老師身上感受到了日本人的工匠精神,科研工作中每一步的落實都極為重要,每一處細(xì)節(jié)都需要完善,才能有一個好的結(jié)果?!白钪匾氖?,吉川教授的方向是和我契合的,研究是連貫的,一直聚焦氮化物外延技術(shù)。”他說。
2016年,王科來到日本理化學(xué)研究所(RIKEN)任職。這是日本唯一的綜合性自然科學(xué)研究所,在物理學(xué)、工程學(xué)、化學(xué)、計算科學(xué)等領(lǐng)域開展了廣泛的研究。在RIKEN量子光器件研究室,王科負(fù)責(zé)氮化物分子束外延平臺,同時主持日本學(xué)術(shù)振興會(JSPS)基金項目“基于氮化鎵(GaN)超晶格的太赫茲量子級聯(lián)激光器(THz-QCL)”,并作為骨干參與了JSPS大型項目“基于氮化物半導(dǎo)體的未開發(fā)波長太赫茲量子級聯(lián)激光器研究”,負(fù)責(zé)該項目理論設(shè)計和實驗的具體實施。很快,王科和團隊就制備出輸出功率超過1瓦的太赫茲量子級聯(lián)激光器,其功率密度可與世界紀(jì)錄相比擬。
在日本國立理化學(xué)研究所近3年時間里,王科收獲滿滿,但他也時刻關(guān)注著國內(nèi)半導(dǎo)體領(lǐng)域的發(fā)展?!白罱@十多年國家發(fā)展很快,國內(nèi)科研環(huán)境大大提升,國家對第三代半導(dǎo)體支持力度很大,我覺得我應(yīng)該回去?!?/p>
冒險之旅,創(chuàng)造新的第一
2019年王科回到了闊別已久的母校——南京大學(xué),擔(dān)任電子科學(xué)與工程學(xué)院教授和博士生導(dǎo)師,為我國第三代半導(dǎo)體事業(yè)的發(fā)展貢獻(xiàn)一份力量。
很快王科就獲得了國家自然科學(xué)基金面上項目“氮化鎵系新型太赫茲量子級聯(lián)激光器研究”的支持。量子級聯(lián)激光器是一種新型半導(dǎo)體激光器,是半導(dǎo)體能帶工程的典范,在氣體檢測、空間通信、紅外對抗、太赫茲成像等方面得到了越來越多的應(yīng)用,但也面臨著許多的問題?!澳壳笆澜缟线€沒有基于氮化鎵材料的量子級聯(lián)激光器,世界范圍僅有極少數(shù)單位關(guān)注,我們國家基本沒有開展該方向的研究,可以說這是一個‘無人區(qū)’。上千層原子級精確度外延結(jié)構(gòu)的制備是一項挑戰(zhàn)極大的任務(wù),我已經(jīng)準(zhǔn)備好坐冷板凳?!辈痪煤笤撗芯揩@得科技部重點研發(fā)計劃重點專項支持。在王科構(gòu)想的藍(lán)圖里,以氮化鎵系列材料開發(fā)新型太赫茲量子級聯(lián)激光器,是當(dāng)前國際上具有引領(lǐng)性的前沿領(lǐng)域,如果取得突破,就可以產(chǎn)出從無到有的原創(chuàng)性成果,這將是我國新的第一,冒險是值得的。
面向產(chǎn)業(yè)難題
和戰(zhàn)略需求
氮化物半導(dǎo)體具備優(yōu)良的材料特性,除了在發(fā)光方面的產(chǎn)業(yè)應(yīng)用,在射頻微波電子、功率電子、光電探測等方面也有廣泛應(yīng)用。江蘇省在氮化物半導(dǎo)體領(lǐng)域有很堅實的產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ),且大力支持產(chǎn)學(xué)研密切合作。王科回南京工作不久就獲得江蘇省產(chǎn)業(yè)前瞻與關(guān)鍵核心技術(shù)重點項目的支持,針對高質(zhì)量氮化鎵襯底材料的應(yīng)用開發(fā),負(fù)責(zé)基于氮化鎵材料的器件應(yīng)用驗證,主要面向國民經(jīng)濟主戰(zhàn)場與5家合作單位開展幾種核心光電子與電子器件關(guān)鍵技術(shù)研究。比如面向新型顯示產(chǎn)業(yè)的micro-LED、面向5G通信產(chǎn)業(yè)的射頻微波器件、面向電力電子產(chǎn)業(yè)的功率器件,還有面向戰(zhàn)略需求的尖端技術(shù)——氮化鎵雪崩光電探測器、激光二極管、深紫外發(fā)光器件及紫外單光子探測器。江蘇良好的產(chǎn)學(xué)研合作氛圍正有力地促進科研工作落到實處,推動相關(guān)產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。尤其是團隊紫外單光子探測器的工作已獲得體現(xiàn)國家戰(zhàn)略的科技創(chuàng)新2030—重大項目的支持。王科說:“能夠為我國科技發(fā)展的戰(zhàn)略需求貢獻(xiàn)一份力量,我感到非常榮幸?!?/p>
王科對于科研工作,有一種發(fā)自內(nèi)心的熱愛。在他看來,科研不僅需要嚴(yán)謹(jǐn)認(rèn)真的品格,而且需要勇于創(chuàng)新和鉆研深入的精神。作為一名教師,王科十分注重對學(xué)生的引導(dǎo)作用。在日常的科研教育中,他非常關(guān)心學(xué)生的想法,注重培養(yǎng)他們對產(chǎn)業(yè)發(fā)展趨勢的了解,引導(dǎo)學(xué)生關(guān)注科技前沿的進展動態(tài),為將來選擇方向打下基礎(chǔ)。他的學(xué)生多次獲得國內(nèi)外頂級學(xué)術(shù)會議的獎項,這是對他為教育付出的最大肯定。
站在前人的肩膀上,眺望遠(yuǎn)方,王科充滿了自信:“雖然目前面臨的問題很多,但我們不會氣餒,我們會一個問題一個問題地解決,一步一個腳印地朝著目標(biāo)前進。”