朱　強(qiáng)　蔣莊德　王海容　趙則祥

摘要：在介紹懸臂梁法測(cè)量微構(gòu)件彈性模量原理的基礎(chǔ)上，分析了測(cè)量和評(píng)價(jià)過(guò)程的主要不確定因素，將模糊數(shù)學(xué)方法引入彈性模量的評(píng)價(jià)過(guò)程．在常規(guī)模型中，給予有關(guān)參數(shù)一定的變動(dòng)范圍，以隸屬函數(shù)表示其取值分布情況，建立了基于模糊集的評(píng)價(jià)模型．其中，懸臂梁試件的剛度系數(shù)由載荷—有效撓度曲線經(jīng)模糊加權(quán)線性回歸擬合獲得，其幾何尺寸考慮為正態(tài)分布模糊數(shù)，利用水平截集概念轉(zhuǎn)化為普通集規(guī)劃問(wèn)題求解．對(duì)單晶硅(100)懸臂梁試件的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)進(jìn)行了計(jì)算，得到不同置信水平下的彈性模量評(píng)價(jià)區(qū)間．研究結(jié)果表明，帶有模糊參數(shù)的彈性模量評(píng)價(jià)模型能適當(dāng)吸收一些不確定因素，同時(shí)由于考慮了測(cè)量中多種因素的影響，評(píng)價(jià)結(jié)果與實(shí)際情況符合較好，因此更具有參考價(jià)值．

關(guān)鍵詞：懸臂梁法；微構(gòu)件；彈性模量；模糊模型；隸屬函數(shù)

中圖分類(lèi)號(hào)：TG115．5文獻(xiàn)標(biāo)識(shí)碼：A文章編號(hào)：0253-987X(2005)05—0517—05