王昕歌/上海市計(jì)量測(cè)試技術(shù)研究院

0 引言

隨著機(jī)械加工行業(yè)的不斷發(fā)展，表面粗糙度測(cè)量技術(shù)也取得了長(zhǎng)足的進(jìn)步，它在機(jī)械、電子、光學(xué)等精密加工行業(yè)中的地位也顯得越發(fā)重要。表面粗糙度是指加工表面上具有較小間距和峰谷所組成的微觀幾何形狀特征，其產(chǎn)生是由于在加工過(guò)程中，刀具與制件表面之間的摩擦、切削或壓制時(shí)產(chǎn)生塑性變形，以及工藝系統(tǒng)中高頻振動(dòng)等因素的作用，使被加工表面產(chǎn)生微觀幾何變形。表面粗糙度是評(píng)定零件表面質(zhì)量的重要指標(biāo)，它對(duì)零件的摩擦因數(shù)、密封性、耐磨性、抗腐蝕性、疲勞強(qiáng)度、接觸剛度、配合性質(zhì)以及導(dǎo)熱導(dǎo)電性能等均有影響。所以合理控制表面粗糙度對(duì)提高產(chǎn)品性能至關(guān)重要。

1 測(cè)量方法

目前，常用的表面粗糙度測(cè)量方法有比較法、針描法、光切法、光干涉法。此外還有印模法、氣動(dòng)法、電容法、光纖法、光反射法、全息干涉法、激光光斑法、掃描電鏡法、光外差干涉法、光觸針測(cè)量法、計(jì)算機(jī)視覺(jué)檢測(cè)系統(tǒng)以及各種模式的識(shí)別方法。本文只對(duì)最常用的四種粗糙度測(cè)量方法進(jìn)行介紹。

1.1 比較法

比較法是現(xiàn)場(chǎng)常用的最簡(jiǎn)便易行的方法，它是將被測(cè)表面與表面粗糙度比較樣塊進(jìn)行比較，用肉眼判斷或借助于放大鏡、比較顯微鏡放大后進(jìn)行比較；也可用手摸、指甲劃動(dòng)的感覺(jué)來(lái)判斷被測(cè)表面的粗糙度。比較法一般只用于粗糙度參數(shù)值較大時(shí)的近似評(píng)定。一般說(shuō)來(lái)Ra ＞ 2.5 μm的加工表面可直接目測(cè)與比較樣塊進(jìn)行比較。當(dāng)目測(cè)不易判別時(shí)，可用手指甲以適當(dāng)速度分別沿比較樣塊和被測(cè)表面劃過(guò)，憑主觀觸覺(jué)進(jìn)行判斷。根據(jù)經(jīng)驗(yàn)，當(dāng)表面微觀不平度間距在0.1 mm左右時(shí)，手指的移動(dòng)速度以25 mm/s為宜。當(dāng)Ra值在0.4～2.5 μm范圍時(shí)可采用5～10倍放大鏡進(jìn)行觀察比較。當(dāng)Ra值在0.1～0.4 μm范圍時(shí)，可用比較顯微鏡（放大25～50倍）進(jìn)行觀察比較。當(dāng)Ra值小于0.1 μm時(shí)，不適合采用比較法判定。

1.2 光切法

光切法是采用光切顯微鏡對(duì)表面粗糙度進(jìn)行測(cè)量的方法。它采用了光切原理，屬于非接觸測(cè)量。適用的粗糙度參數(shù)主要為Rz。對(duì)于其他參數(shù)的測(cè)量繁瑣復(fù)雜且示值誤差較大。儀器受總放大倍率和物鏡的數(shù)值孔徑限制了測(cè)量范圍，測(cè)量范圍為0.8～80 μm。超出測(cè)量范圍便無(wú)法清晰成像。該方法的優(yōu)點(diǎn)是成本低，易操作。

1.3 光干涉法

光干涉法中常用的是采用干涉顯微鏡進(jìn)行測(cè)量。顯微干涉法屬于非接觸測(cè)量，它要求被測(cè)表面有一定的反射率。適用于超精細(xì)加工表面。測(cè)量的主要參數(shù)是Rz。測(cè)量范圍為0.1～1.0 μm。最常用的是6JA型干涉顯微鏡。采用干涉顯微鏡測(cè)量時(shí)難度較高，它是利用光波波長(zhǎng)作為尺寸來(lái)衡量工件表面的平面深度。為了在較短的時(shí)間內(nèi)調(diào)出條紋，在所有準(zhǔn)備工作完成的前提下，先要在目鏡視場(chǎng)中調(diào)出清晰的弓形圖象，接著是調(diào)焦，調(diào)到能看到清晰工件表面圖象，注意工件的紋理要垂直光波。再接下來(lái)是利用儀器上的一手柄以很慢的速度來(lái)回轉(zhuǎn)動(dòng)手輪，得到清晰的五彩繽紛的干涉條紋，如果工件稍動(dòng)一下，圖象沒(méi)有了，這時(shí)只要細(xì)調(diào)焦距即可解決。

1.4 針描法

針描法又稱(chēng)觸針?lè)āＫ抢糜|針式表面粗糙度測(cè)量?jī)x進(jìn)行測(cè)量。是用一種特殊觸針(多為金剛石觸針)以一定的速度沿著被測(cè)工件表面移動(dòng)，由于表面的微觀不平引起觸針的上下運(yùn)動(dòng)，把觸針移動(dòng)的變量經(jīng)過(guò)機(jī)械的、光學(xué)的或者電學(xué)的轉(zhuǎn)換后，再經(jīng)放大、運(yùn)算，得到被測(cè)表面的粗糙度評(píng)定參數(shù)數(shù)值的一種檢測(cè)方法。觸針式表面粗糙度測(cè)量方法在機(jī)械零件測(cè)試中的應(yīng)用十分廣泛。理論上當(dāng)針尖半徑為零時(shí)所測(cè)輪廓為實(shí)際輪廓，所以針尖半徑越小越好，但針尖半徑過(guò)小又會(huì)劃傷被測(cè)表面，因此不適用于超高精表面的測(cè)量。

目前，在眾多測(cè)量表面粗糙度的方法中，盡管觸針式表面粗糙度測(cè)量?jī)x有產(chǎn)生劃痕、掃描速度低、測(cè)量區(qū)域有限等缺點(diǎn)，但它仍是最常用、最方便、最可靠的表面粗糙度測(cè)量方法，并且一直是各國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)及國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)制定的依據(jù)。

了解了表面粗糙度測(cè)量的常用方法，在實(shí)際應(yīng)用中我們便可以根據(jù)實(shí)際情況來(lái)選擇能夠滿足測(cè)量要求的最佳測(cè)量方法。

2 參數(shù)

在許多情況下，機(jī)械零件的表面粗糙度情況是非常復(fù)雜的，單純用一個(gè)表面粗糙度參數(shù)來(lái)表征很難說(shuō)明表面粗糙度的真實(shí)情況。一些結(jié)構(gòu)完全不同的表面，它們的表面粗糙度值很可能是相同的。因此，如何正確理解和應(yīng)用表面粗糙度參數(shù)顯得尤為重要。

從表面粗糙度的概念來(lái)看，粗糙度存在于兩個(gè)基本平面上。當(dāng)用某種高度來(lái)表征時(shí)，粗糙度存在于同表面垂直的面上，即粗糙度的高度特征；當(dāng)用某種波長(zhǎng)來(lái)表征時(shí)，它又存在于該表面上，即粗糙度的橫向間距特征。

根據(jù)GB/T1031-2009《產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范（GPS）表面結(jié)構(gòu)輪廓法表面粗糙度參數(shù)及其數(shù)值》中的規(guī)定，表面粗糙度參數(shù)從下列兩項(xiàng)中選?。?/p>

（1）輪廓的算術(shù)平均偏差Ra

參數(shù)Ra是在取樣長(zhǎng)度內(nèi)，輪廓偏距絕對(duì)值的算術(shù)平均值，它的統(tǒng)計(jì)意義是一階原點(diǎn)的絕對(duì)矩，在一定程度上反映了輪廓高度相對(duì)中線的離散程度。Ra值的大小能客觀地反映被測(cè)表面微觀幾何特性，Ra越小，說(shuō)明被測(cè)表面微小峰谷的幅度越小，表面越光滑；反之，說(shuō)明被測(cè)表面越粗糙。

（2）輪廓的最大高度Rz

參數(shù)Rz是指在一個(gè)取樣長(zhǎng)度內(nèi)，最大輪廓峰高與最大輪廓谷深之和的高度。

注意：在GB/T 3505-1983中，Rz符號(hào)曾用于指示“不平度的十點(diǎn)高度”。目前，在使用中的一些表面粗糙度測(cè)量?jī)x器大多是測(cè)量以前的Rz參數(shù)。因此，當(dāng)采用現(xiàn)行的技術(shù)文件和圖樣時(shí)必須小心慎重，因?yàn)橛貌煌?lèi)型的儀器按不同的規(guī)定計(jì)算所得結(jié)果之間的差別并不都是非常微小而可忽略的。

在幅度參數(shù)（峰和谷）常用的參數(shù)值范圍內(nèi)（Ra 為 0.025～ 6.3 μm，Rz為 0.1～25 μm)推薦優(yōu)先選用Ra。對(duì)于極光滑和粗糙的表面可采用Rz作為評(píng)定參數(shù)。

表面粗糙度輪廓幅度參數(shù)極限值的選擇原則是：在滿足零件表面功能要求的前提下，盡量選取較大的參數(shù)值。

根據(jù)表面功能的需要，除表面粗糙度參數(shù)Ra和Rz外，還可選用下列的附加參數(shù)：

（1）輪廓單元的平均寬度Rsm

一個(gè)輪廓峰與相鄰輪廓谷的組合叫做輪廓單元，在一個(gè)取樣長(zhǎng)度范圍內(nèi)，中線與各個(gè)輪廓單元相交線段的寬度（輪廓的寬度Xsi）的平均值為Rsm，即

Rsm屬于附加評(píng)定參數(shù)，只能與Ra或Rz同時(shí)選用，不能獨(dú)立采用。

（2）輪廓的支承長(zhǎng)度率Rmr(c)

輪廓的支承長(zhǎng)度率Rmr(c)是指在給定水平位置c上輪廓的實(shí)體材料長(zhǎng)度M1(c)與評(píng)定長(zhǎng)度的比率。在水平位置c上輪廓的實(shí)體材料長(zhǎng)度M1(c)是指在一個(gè)給定水平位置c上用一條平行于x軸的線與輪廓單元相截所獲得的各段截線長(zhǎng)度之和。即

輪廓的支承長(zhǎng)度率Rmr(c)依據(jù)評(píng)定長(zhǎng)度而不是在取樣長(zhǎng)度上來(lái)定義，因?yàn)檫@樣可以提供更穩(wěn)定的參數(shù)。 輪廓的水平位置c可用微米或輪廓最大高度Rz的百分?jǐn)?shù)表示。支承長(zhǎng)度率Rmr(c)是水平位置c的函數(shù)，其關(guān)系曲線稱(chēng)為支承比率曲線。

以上4個(gè)參數(shù)，評(píng)定輪廓的算術(shù)平均偏差Ra和輪廓的最大高度Rz是幅度參數(shù)，是標(biāo)準(zhǔn)中規(guī)定必須標(biāo)注的參數(shù)，稱(chēng)為基本參數(shù)；輪廓單元的平均寬度Rsm和輪廓的支承長(zhǎng)度率Rmr(c)稱(chēng)為幅度參數(shù)的附加參數(shù)。其中，前者是反映間距特性的參數(shù)，后者是反映形狀特性的參數(shù)。附加參數(shù)不能單獨(dú)在圖樣上注出，只能作為幅度參數(shù)的輔助參數(shù)注出。

[1]王伯平. 互換性與測(cè)量技術(shù)基礎(chǔ)[M]. 北京：機(jī)械工業(yè)出版社,2000.

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[3]陳于萍， 高曉康. 互換性與測(cè)量技術(shù)[M]. 北京: 高等教育出版社,2002.

[4]全國(guó)產(chǎn)品尺寸和幾何技術(shù)規(guī)范標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì). GB/T 1031-2009 [S]. 北京：中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)出版社，2009.