孫若愚，劉 江，譚方舟，王 璞

（北京工業(yè)大學激光工程研究院，北京00124）

百皮秒激光脈沖的全光纖放大及應用

孫若愚，劉 江，譚方舟，王 璞*

（北京工業(yè)大學激光工程研究院，北京00124）

為了得到高單脈沖能量的百皮秒激光脈沖，采用自制的被動鎖模摻鐿光纖激光器獲得了100ps的激光脈沖輸出，在此基礎上采用兩級全光纖結構主振蕩功率放大器進行功率放大，其中預放大級采用7μm纖芯的雙包層摻鐿光纖做增益介質，得到平均功率160mW的穩(wěn)定脈沖輸出；主放大級采用20μm纖芯的雙包層摻鐿光纖做增益介質，在抽運功率逐步增加到35.37W時，輸出功率達到了16.60W，相應的單脈沖能量為1.63μJ，峰值功率為16.61kW。此外，主放大級輸出的激光通過自制的模場轉換器與光子晶體光纖（纖芯4.6μm）成功熔接，得到了2.85W的白光超連續(xù)光譜，光譜波長覆蓋了600nm～1700nm的檢測范圍。結果表明，此激光可用于超連續(xù)譜光源的產(chǎn)生。

光纖光學；主振蕩功率放大器；高脈沖能量；白光超連續(xù)譜

引 言

與納秒脈沖相比，皮秒脈沖激光因為有更小的熱響應區(qū)、更快的加工速度和更高的加工質量，在激光微加工領域中顯示出更大的優(yōu)勢［1］，因此引起了國內外研究者的極大興趣。如今，擁有高脈沖能量的皮秒激光器已成功應用于太陽能電池的制造、硅電路板的刻畫及薄膜移除等特種加工［2］，但所用的多是晶體或準分子激光器。相對于晶體和準分子激光器，光纖皮秒激光器有著體積小、操作簡便、穩(wěn)定性好以及靈活性高等優(yōu)點。目前，國內對于皮秒光纖激光器的研究多注重于平均輸出功率的提高，雖然在這個過程中單脈沖能量也會伴隨提高，但其功率提高的幅度畢竟有限，一般不足以滿足激光微加工的需求。另外，由于激光在光纖中有很強的非線性效應，這在一定程度上限制了激光的峰值功率，也限制了單脈沖能量的進一步的提高。鑒于此，作者試圖通過協(xié)調重復頻率、脈沖寬度與峰值功率之間的關系，研制一種單脈沖能量相對較高的被動鎖模皮秒脈沖光纖激光器，為進一步探索和比較不同脈寬及單脈沖能量激光的特性及應用效果創(chuàng)造條件。

要獲得高單脈沖能量、高峰值功率的激光，當然還需要與之相適應的光纖放大器，前人的研究工作已經(jīng)為此奠定了基礎［3-4］。另外，要獲得皮秒級的脈沖輸出也離不開成熟的鎖模技術，其中與主動鎖模相比，被動鎖模更加方便實用，整個系統(tǒng)中沒有外加信號的控制，且鎖模過程可自發(fā)完成。在現(xiàn)今所報道的被動鎖模技術中，與非線性偏振旋轉鎖模、單壁碳納米管和石墨烯鎖模相比，利用半導體可飽和吸收鏡的鎖模技術已相對成熟，也便于進一步的工業(yè)化應用。

此外，皮秒激光的另一個重要應用方面是制備超連續(xù)譜光源［5-6］。該光源在超精密時間及頻率測量、寬帶光纖通信、光譜分析、光學相干層析等領域均有重要的應用前景，在過去幾年里一直是國內外研究的熱點［7-8］。限于實驗條件，在將此高單脈沖能量、百皮秒脈寬激光用于打標、打孔實驗之前，作者先嘗試用其抽運光子晶體光纖，初步探測其在超連續(xù)光譜產(chǎn)生上的效果和特點。

1 高能量百皮秒脈寬光纖激光器

1.1 實驗結構

在光纖激光器中，理論上通過提高平均輸出功率或降低脈沖的重復頻率都可以提高單脈沖能量。但要提高平均輸出功率便需要更多的放大級和抽運源，從而使激光器體積更加龐大、價格更加昂貴，因此降低重復頻率可能是更經(jīng)濟、可行的手段。在鎖模光纖激光器中，只需增加諧振腔長度，就可以達到降低脈沖重復頻率目的。實驗中利用本單位前期研制的種子源激光器［9］，通過必要的改進，重新設定重復頻率、選定脈沖寬度，得到了100ps脈寬的脈沖輸出。在此基礎上，根據(jù)已有經(jīng)驗，選用主振蕩放大結構進行功率放大，在提高平均輸出功率的同時重點提高單脈沖能量。

Fig.1 Amplifying process of 100psmode-locked Yb-doped fiber laser

百皮秒脈寬、高單脈沖能量光纖激光器的搭建方式如圖1所示。種子光由實驗室自制的被動鎖模皮秒脈沖摻鐿光纖激光器提供，為了提高功率和單脈沖能量，在種子源之后先接入預放大級光纖放大器，采用正向包層抽運方式，抽運源采用凱普林公司中心波長976nm、功率10W的半導體激光器（K97S02F-10.00W-R），用5m長、纖芯直徑7μm的雙包層摻鐿光纖作為增益介質（CorActive，100023-DCF-YB-7/125-FA），其在974nm處的吸收系數(shù)約5dB/m。預放大級后接入隔離器，以防止光纖端面的反射影響實驗結果。在預放大得到的皮秒脈沖進入主放大級之前安裝95∶5的分束器，在該分束器5％的輸出端用帶寬1GHz的示波器（Agilent DSO7104B）和1.8GHz的光電探測器（Thorlabs DET01CFC）對脈沖串進行實時監(jiān)控，以確保激光器的穩(wěn)定運行。

在預放大的基礎上，進一步采用高功率摻鐿光纖放大器作為主放大級。使用6個與預放大級型號相同的包層抽運激光二極管作為抽運源，通過（6+ 1）×1合束器耦合到增益光纖內。增益光纖為長5m、纖芯直徑20μm的雙包層摻鐿光纖（Nufern，LMA-YDF-20/130-08FA），此光纖在976 nm處的吸收系數(shù)約5dB/m。為防止光纖的端面反射，將放大后的激光通過一個20W的偏振無關隔離器進行輸出，使用帶寬25GHz的高速示波器及分辨率0.02nm的光譜分析儀對輸出激光的光譜及脈沖進行測量。

1.2 實驗結果與分析

在種子源輸出端，使用分辨率0.02nm的光譜分析儀（Ykogawa AQ6370）測得中心波長和光譜寬度分別為1064.1nm和0.09nm，如圖2所示。使用25GHz帶寬的高速示波器和25GHz光電探測器測得脈沖半峰全寬（full width at half maximum，F(xiàn)WHM）為100.25ps、重復頻率為10.19MHz，重復頻率與激光器共振腔長度吻合，脈沖序列及單脈沖形狀如圖3所示。

Fig.2 Optical spectra of seed source

高功率光纖激光器通常由低功率種子源和多級功率放大器組成。低功率種子源決定了激光輸出的波長、脈寬和重復頻率等關鍵參量，功率放大器決定了種子源信號的單程增益、平均功率和單脈沖能量。實驗證明，通過增加種子源激光器諧振腔的腔長，可有效降低種子光輸出脈沖的重復頻率，為增加脈寬、提高單脈沖能量奠定了基礎。

Fig.3 a—mode-lockedpulsetrainsat10.19MHzoftheseedsource b—pulsewidthat10.19MHzoftheseedsource

本實驗中種子光的平均輸出功率為1.25mW，研究結果顯示，若進一步增加抽運功率，會使種子光產(chǎn)生脈沖分裂并降低輸出脈沖的穩(wěn)定性。種子光通過預放大后得到了160mW的平均輸出功率，其中95％供給主放大級進行功率再放大。主放大級中激光平均輸出功率隨抽運功率的變化曲線如圖4所示。顯然，至少在本實驗的范圍內，抽運功率與輸出脈沖的功率基本上呈正比關系，經(jīng)計算其斜效率約為49.5％。

Fig.4 Relationshipbetweenaverageoutputpower，peakoutputpower andpumppowerinmasteramplifier

如圖5所示，當平均輸出功率15W時，對輸出光譜及脈沖進行測量，測得中心波長1064.40nm、光譜寬度0.32nm、FWHM為98.10ps，此時激光的單脈沖能量1.47μJ。實驗結果顯示，隨著抽運功率的增加單脈沖能量也相應增加，在抽運功率增至35.37W時得到了16.60W的平均輸出功率，相應的單脈沖能量高達 1.63μJ，脈沖峰值功率為16.61kW。與作者工作單位YU等人之前的工作相比［10］，該激光器的輸出功率雖說不高，但激光的單脈沖能量得到了較大幅度的提升，這是種子源激光低重頻、大脈寬的特點決定的。

Fig.5 Singlepulsewidthat15Waverageoutputpower

當主放大級平均輸出功率16.60W時，抽運功率與輸出功率的線性關系沒并沒有明顯變化，此時偏振無關隔離器的傳輸效率大約為80％，如果此輸出端不采用隔離器而使用光纖角度切割或其它防反方法，預計平均輸出功率可以接近20W、單脈沖能量接近2μJ。只是為了確保偏振無關隔離器的安全，本實驗中沒有繼續(xù)增加抽運功率。可見，通過繼續(xù)增加抽運功率進一步提高激光器平均輸出功率、單脈沖能量和峰值功率還是有潛力的。

2 超連續(xù)光譜產(chǎn)生

鑒于超連續(xù)譜光源重要的應用前景，所以，在上述高能量百皮秒脈寬光纖激光器的基礎上，作者嘗試將其輸出光接入光子晶體光纖制作全光纖的超連續(xù)譜光源，旨在檢驗其產(chǎn)生超連續(xù)光譜的效果，推進其在該領域的應用。

由于主放大級光纖和非線性光子晶體光纖的纖芯直徑分別為20μm和4.6μm，模場嚴重失配，無法直接熔接。經(jīng)過摸索，作者通過自制的模場轉換器先將20μm的纖芯轉換為6μm纖芯的光纖，而后再將其與17m長的光子晶體光纖熔接，實現(xiàn)了全光纖結構的超連續(xù)譜光源制作。另外，在6μm與4.6μm纖芯的熔接過程中，通過對光纖熔接機參量的優(yōu)化設置，使熔接過程全自動化，且熔接耦合效率接近90％。整個轉接過程主要的難點和限制因素還是自制模場轉換器的轉換效率。

隨著模場轉換效率的初步提高，本實驗成功地在光子晶體光纖中得到了2.85W的白光輸出。顯而易見，如果模場轉換效率能進一步提高，這種激光產(chǎn)生超連續(xù)光譜的效率還會大幅度提高，這也為今后進一步的研究指明了方向。不過，盡管模場轉換效率還不足20％，這種激光仍然可以產(chǎn)生優(yōu)質的超連續(xù)光譜，其超連續(xù)光譜的波長覆蓋范圍大于1100nm（超過了本檢測儀器的量程600nm～1700nm），光子晶體光纖也發(fā)出明亮的白光，并觀察到了六角發(fā)散型遠場光斑（見圖6）。

Fig.6 Far field profiles of output beam of phonic crystal fiber

3 小 結

利用自制的種子源激光器獲得了脈寬100ps的種子光，再配合兩級主振蕩放大結構，研制出了單脈沖能量相對較高、百皮秒脈寬、全光纖結構的激光器，得到了16.60W的平均輸出功率，相應的單脈沖能量為1.63μJ，峰值功率為16.61kW，抽運功率的光光轉換效率約為49.5％。通過自制模場轉換器，一定程度上克服了主放大器光纖（20μm纖芯）與光子晶體光纖（4.5μm纖芯）嚴重的模場失配問題。用該激光器成功地抽運了一段17m長的光子晶體光纖，得到了2.85W的白光超連續(xù)光譜，該超連續(xù)譜光源的波長覆蓋了600nm～1700nm的檢測范圍。實驗結果肯定了該激光在超連續(xù)譜光源研制中的應用價值。

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All-fiber am plification and application of 100ps laser pulse

SUN Ruo-yu，LIU Jiang，TAN Fang-zhou，WANG Pu
（Institute of Laser Engineering，Beijing University of Technology，Beijing 100124，China）

In order to get high single pulse energy with 100ps pulse width，amode-locked Yb-doped picosecond fiber laser was designed and 100ps laser pulse was output.Master oscillator power amplifier（MOPA）with two-stage all fiber structure was adopted.In the preamplifier，gain medium was double-clad Yb-doped fiber with 7μm core diameter and average power of stable pulse output was 160mW.In themaster amplifier，gain medium was double-clad Yb-doped fiber with 20μm core diameter and its output power was 16.60W while pump power increased to 35.37W.The corresponding single pulse energy was1.63μJand peak powerwas16.61kW.And then，output laser ofmaster amplifierwas injected into photonic crystal fiber of 4.6μm core via a home-made mode field adapter.2.85W output power of white light supercontinuum was obtained and the supercontinuum spectrum wavelength covered the measured range from 600nm to 1700nm.The results show that this laser can be used for the generation of supercontinuum spectrum sources.

fiber optics；master oscillator power amplifier；high pulse energy；white light supercontinuum

TN248.1

A

10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2013.04.001

1001-3806（2013）04-0417-04

國家自然科學基金資助項目（61177048）

孫若愚（1990-），男，博士研究生，主要從事高功率光纖激光器、高功率光纖放大器等方面的研究。

*通訊聯(lián)系人。E-mail：wangpuemail＠bjut.edu.cn

2012-12-03；

2012-12-07