曹陽 王慧慧 陳金元

摘要：本文介紹了PECVD PM塔的溫度控制系統(tǒng)設計。作者提出了一種既能減小系統(tǒng)非線性，又能減小變量之間耦合的新的控制方案。在此基礎上，將PECVD PM塔的溫度控制系統(tǒng)視為10輸入和10輸出的線性被控對象，應用逆乃氏陣列法對系統(tǒng)進行了分析與設計。整個系統(tǒng)采用PLC系統(tǒng)控制。文中還給出了實驗結(jié)果。

關(guān)鍵詞：PECVD；多變量控制；系統(tǒng)設計；逆乃氏陣列法；PLC控制