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MgAl/PbPc/Cu有機(jī)薄膜二極管的制備與氣敏特性分析

2015-01-04 13:42王東興等
關(guān)鍵詞:測(cè)試儀二極管器件

王東興等

摘要:選用酞菁鉛作為有機(jī)半導(dǎo)體氣敏材料,用真空熱蒸鍍、磁控濺射等鍍膜方法制備器件,所制備薄膜二極管的結(jié)構(gòu)為MgAl/PbPc/cu,使用Keithley 4200半導(dǎo)體測(cè)試儀與氣敏測(cè)量系統(tǒng)分析器件肖特基二極管的氣敏特性,通過(guò)對(duì)電流一電壓特性的實(shí)測(cè)數(shù)據(jù)進(jìn)行深入的理論分析,比較出器件對(duì)不同濃度NO2氣體的敏感程度。endprint

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