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2014年中國大陸13種主要半導體設備進口43.66億美元

2015-07-18 11:44
電子工業(yè)專用設備 2015年2期
關鍵詞:研磨機半導體器件光刻機

·行業(yè)快訊·

2014年中國大陸13種主要半導體設備進口43.66億美元

2014年1~12月中國大陸13種主要半導體設備進口14647臺、43.66億美元。

制造半導體器件或集成電路的化學氣相沉積裝置、等離子體干法刻蝕機和分步重復光刻機等三種設備共進口1 578臺、25.35億美元,位居進口額的前三位。其中:制造半導體器件或集成電路的化學氣相沉積裝置進口10.11億美元,占進口總額的23.2%,位居首位;等離子體干法刻蝕機進口8.45億美元,占進口總額的19.4%;分步重復光刻機進口6.79億美元,占進口總額的15.5%。

制造硅單晶和硅片設備中的硅單晶爐、切割機和研磨機等三種設備,2014年共進口1871臺、3.43億美元。其中,切割設備進口1 298臺、2.3億美元,硅單晶爐進口239臺、6 303萬美元,研磨機進口334臺、4 943萬美元。

后封裝設備中的引線鍵合機和塑封壓機二種設備共進口8 828臺、5.56億美元。其中引線鍵合機進口8 463臺、4.71億美元。

2014年中國大陸主要半導體設備進口額/億美元

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