5 000 W級大功率半導體激光器綜合測試系列儀器研制成功并投入使用

為了滿足激光產(chǎn)業(yè)評價大功率半導體激光器的參數(shù)指標的需求，工信部電子五所歷時4年，在國家重大科學儀器設備開發(fā)專項基金的支持下，聯(lián)合中科院半導體所、中科院長春光機所等單位，解決了大功率半導體激光器的測試、檢測、可靠性與壽命綜合評價等關鍵難題，研發(fā)了具有自主知識產(chǎn)權的大功率半導體激光器綜合測試系列儀器并已將其投入使用。

大功率半導體激光器在軍用及民用領域得到了廣泛的應用，但與此同時，也暴露出了光束質量差、早期失效多、壽命短且無評價標準等可靠性問題。為了促進大功率半導體激光器的工程應用，工信部電子五所 “大功率半導體激光器壽命試驗系列儀器”項目團隊研制了萬瓦級激光器驅動電源，其技術指標達到了國際先進水平，連續(xù)驅動電流為0～200 A、準連續(xù)驅動電流0～400 A，電壓200 V內自適應。研制的大功率半導體激光器參數(shù)測試儀器，集成了電導數(shù)測試功能，實現(xiàn)了基于電導數(shù)的大功率半導體激光器可靠性的無損評價，這一功能在國內外同類產(chǎn)品中屬于首創(chuàng)。

在大功率半導體激光器壽命試驗儀器研制方面，“大功率半導體激光器壽命試驗系列儀器”項目團隊突破了參數(shù)檢測、電路保護等關鍵技術難關，研制了60工位單管激光器壽命試驗儀器、40工位單bar激光器壽命試驗儀器和12工位陣列壽命試驗儀器等系列儀器，技術指標優(yōu)于國際ILXLightwave、NANOFOOT等公司的同類產(chǎn)品。

上述5 000 W級大功率半導體激光器綜合測試系列儀器在國家激光點火工程、激光核聚變和激光同位素分離等國家重點工程中得到了具體的應用，有力地支撐了我國千瓦級大功率半導體激光器的測試、檢測、可靠性與壽命評價研究工作的開展，并于近期通過了工業(yè)和信息化部組織的 “國家重大科學儀器設備開發(fā)專項”的初步驗收，得到了包括劉頌豪院士、曹鏞院士在內的專家組的高度肯定。

（工信部電子五所重點實驗室 路國光供稿）