申請?zhí)? 201710007556.7

【公開號】 CN106814110A

【公開日】 2017.06.09

【分類號】 G01N27/12

【申請日】 2017.01.05

【申請人】 華中科技大學(xué)

【發(fā)明人】 劉歡;臧劍鋒;宋志龍;黃釗

【摘 要】 本發(fā)明公開了一種具有微褶皺薄膜結(jié)構(gòu)的可拉伸半導(dǎo)體電阻式柔性氣體傳感器及其制備方法。采用具有可拉伸特性的絕緣襯底 聚丙烯酸酯雙面泡綿膠帶(VeryHighBond，VHB)，將其單向預(yù)拉伸一定的程度固定在剛性基底上；并在預(yù)拉伸狀態(tài)的VHB襯底上進行圖案化的石墨烯電極和膠體量子點薄膜的制備，繼而緩慢回縮VHB襯底后，完成傳感器制備。制備的氣體傳感器具有微褶皺薄膜結(jié)構(gòu)的氣敏層和圖案化的石墨烯電極，傳感器具有可拉伸的柔性特征，制作溫度和工作溫度可低至室溫，室溫下可檢測氣體濃度的瞬間或微量變化，響應(yīng)恢復(fù)速度快且靈敏度高，同時該氣體傳感器具有一定的抗環(huán)境濕度干擾特性，具有更好的長期穩(wěn)定性。