江文清　夏志平

【摘 要】陀螺儀主要用來測量旋轉角度或者是速度，其應用范圍十分廣泛，包括了導航，剎車調(diào)節(jié)控制等。微機械陀螺儀又可以進一步細分為加速式，振動式與轉子式。本文就微機械陀螺儀的新進展及發(fā)展趨勢作簡要闡述。

【關鍵詞】微機械陀螺儀；新進展；發(fā)展趨勢

相比于傳統(tǒng)陀螺儀，微機械陀螺儀的特點體現(xiàn)在體積小而成本低，能夠批量生產(chǎn)，應用領域擴大不會受到限制。陀螺儀與微電子機械技術結合從而產(chǎn)生了新一代的微機陀螺儀，并且以其自身優(yōu)點而廣泛應用。

1 微機械陀螺儀

振動式微機械陀螺儀利用多晶或者是單晶硅制成振動質(zhì)量，受到基于帶動旋轉，通常應用的是平面電極或者是梳狀電極靜電驅動，檢測工作主要由平板電容器完成。轉子式微機陀螺儀主要是利用多晶硅制作，應用了靜電懸浮，角速度測量利用的是力短再平衡回路。微機械加速陀螺儀利用了參數(shù)相匹配的加速器，通過反向高頻抖動從而構成多功能慣性傳感器，能夠對角速度與加速度進行測量。

2 微機械陀螺儀發(fā)展

陀螺儀作為慣性敏感器，同時也是INS基礎核心器件，前者性能一定程度上取決于后者性能。依據(jù)相研究資料，慣性陀螺儀依據(jù)結構可以將其分為三個類別，機械陀螺儀，微機械陀螺儀，光學陀螺儀。機械陀螺儀主要指利用高速轉子軸穩(wěn)定性對載體角傳感器進行測量。在多種陀螺儀中，技術較為成熟的轉子陀螺儀主要有靜電陀螺儀，動力調(diào)諧陀螺，機械陀螺，液浮陀螺等。精度方面能夠有效滿足工作需要。我國首先研制的是靜電陀螺，定位是高精度船用，后經(jīng)試驗證明精度能夠有效滿足要求。

后期隨著光電技術發(fā)展與應用，光纖陀螺與激光陀螺逐漸得到了應用，相比于激光陀螺而言，光纖陀螺的成本更低，對于批量生產(chǎn)更加有利。在光纖陀螺研究工作方面我國起步較晚，但是取得了不錯的成果，在精度方面能夠滿足大部分情況下工作開展需要。微機械陀螺發(fā)展主要利益于微機械加工技術與電子技術發(fā)展，我國對微機械陀螺的研究開始于80年代末期，經(jīng)過長期研究發(fā)展，產(chǎn)品已經(jīng)能夠滿足軍民兩用。技術在發(fā)展的同時，光纖成本由于其成本較低，精度較高，因此能夠在未來獲得良好發(fā)展。

激光在60年首次出現(xiàn)，之后相關國家開始研究其應用于方位側向，并將其稱之為激光陀螺儀。此種設備工作原理是利用光程差對旋轉角速度進行測量，閉合光路，由同一光源發(fā)生兩束光，分別沿順、逆時針方向，通過對相位差或者是干涉條紋變化進行檢查從而得到旋轉角速度。美國企業(yè)首先制作出了激光陀螺儀試驗裝置，后期研究與試驗工作中，研究人員利用石英作為腔體，從而使技術應用成為了可能。之后美國空軍與海軍制定了相關研究計劃，并且試驗成功。光纖陀螺儀首先在美國制造出試驗裝置，光纖傳感與通信技術培訓的應用，光纖陀螺儀發(fā)展取得了更大的進步，并且在一定程度上能夠取代傳統(tǒng)的機械陀螺儀。

3 微機械陀螺儀參數(shù)與應用

微機械陀螺涉及到的參數(shù)內(nèi)容包括了零偏飄移，分辨率，角隨機游走，標度因子，測量范圍等。參數(shù)同時也決定了其應用的范圍，微機械陀螺儀依據(jù)其性能指標可以分為低精度，中精度，高精度，不同性能指標的微機械陀螺儀應用行不同的環(huán)境條件，并且其發(fā)揮的作用是不同的。低精度與中精度的微機械陀螺儀用于對相對較短時間的角速度測量，而限制其發(fā)展的主要因素則是角隨機游走。低精度的微機械陀螺儀主要應用電子，機器人，汽車導航等，上述場合對精度的要求比較低。而中精度的微機械陀螺儀則應用于飛機，高精度微機械陀螺儀主要應用于航天與空間定位等。微機械陀螺儀應用的領域十分廣泛，比如手機，平板電腦，數(shù)碼相機，音樂播放順，游戲控制器，智能玩具等電子領域。車輛防滑驅動控制，氣囊系統(tǒng)與底盤控制等也有廣泛應用。而在軍事中的應用則主要是高精度的微機械陀螺儀，主要取決于其具體的用途，武器裝備向著精準打擊方向發(fā)展，因此就需要高精度微機械陀螺儀為其提供應有的保障。而應用于軍事方面其自身特點體現(xiàn)在功耗低，小體積，成本低，具體應用包括了機器人，戰(zhàn)術導彈，無人機等。

4 微機械陀螺儀的不同類型

應用于實際工作并且發(fā)展較快的微機械陀螺儀是硅基微機械陀螺儀，其應用范圍汽車工業(yè)領域擴展到個人導航等方面。此類型微機械陀螺儀優(yōu)點體現(xiàn)在質(zhì)量輕與體積小，而功耗低，能夠較好的滿足手持設備要求，并且隨著相關技術的發(fā)展，其精度大幅度提升，已經(jīng)進入了高精度范圍。從結構框架方面來細分，此類型微機械陀螺儀又可以將其分為，框架式，耦合式，振動式，解耦式，多軸或者單軸陀螺，多自由度或者是雙自由度陀螺等。

就解耦式陀螺儀而言，影響其性能正常發(fā)揮的因素主要是正交誤差信號的存在，主要影響內(nèi)容是溫度偏移。而解決此問題則需要通過正交解耦技術，從而消弱誤差信號對功能正常發(fā)揮的影響。環(huán)形陀螺儀具有分辨率高，長期穩(wěn)定，匹配模式優(yōu)良等特性。單純只考慮最大增益等因素，傳統(tǒng)設計工作都使陀螺工作時保持在最高諧振頻率，而達成此目的則需要通過驅動諧振與敏感驅動頻率。但是系統(tǒng)對影響諧振頻率發(fā)生變化的因素十分敏感，高增益情況下，帶寬就會很窄。除此之外阻尼也會對其產(chǎn)生一定影響。

微機械振動陀螺儀依據(jù)材料可以將其分為壓力陶瓷、固態(tài)聲學、石英微機械陀螺。壓力陶瓷微機械振動儀相比于傳統(tǒng)振動儀，利用自身材料構成振子從而完成，因此其魯棒性能優(yōu)良，能夠更好的抵抗外力沖擊力與震動對性能造成的影響，檢測范圍也更加的寬泛，能夠在大氣環(huán)境下工作并且不需要真空封裝。

固態(tài)聲學陀螺指的是陀螺結構中沒有角速敏感裝置以及彈性支撐結構，具備良好的抗沖擊能力，同時對于真空封裝也沒有特別的要求。石英微機械陀螺屬于振動陀螺的范疇，其工作原理是哥式加速效應。基體材料主要是石英，通過驅動與檢測電極實現(xiàn)驅動模態(tài)與狀態(tài)信號敏感。此類型陀螺儀應用了一體化加工，優(yōu)點體現(xiàn)在體積小，精度高，可靠性高，環(huán)境適應性良好等方面，應用領域十分廣泛。

5 制約微機械陀螺儀發(fā)展的因素

制約因素首先需要考慮到漂移誤差，硅微陀螺在性能方面還有待提升，而性能提升的關鍵就在于使其存在的漂移誤差降低，尤其是隨機漂移誤差。由于技術與理論不完善，相比于傳統(tǒng)慣性器件，微機械陀螺儀的精度大約會降低一到三個數(shù)量級，而漂移又是其主要的誤差源，微機械陀螺儀漂移通?？梢苑譃檎Ｖ灯疲俾孰S機游走，速率斜坡，角度隨游走等，量化噪聲等。從宏觀方面來區(qū)分，雙可以將其為分為隨機部分與確定部分，后者再進一步細分又可以將其分為斜坡分量與常值漂移。而此部分是有規(guī)律可循的，如果補償?shù)靡酝晟?，有?guī)律可循部分不會影響到陀螺儀精度。確定部分消除后剩余的是隨機部分，被認為是噪音，對于噪音而言，實時補償是無能為力的。漂移數(shù)據(jù)處理通常應用的是時間序列法建模，并利用算法使隨機噪聲產(chǎn)生的影響減小。因此在實際工作過程中，盡可能標定其確定部分，而使隨機部分減少。

精度方面存在的問題是陀螺儀結構設計會影響到靈敏度，而應用于實際工作中，系統(tǒng)成本與精度則主要有慣性儀表決定。高精度陀螺儀成本高而制造難度大。目前應用于工作的陀螺儀如何提升其應用精度是未來發(fā)展的重點。

6 結束語

陀螺儀在某些行業(yè)應用非常廣泛，而其自身也經(jīng)歷了長期發(fā)展，種類多樣而功能豐富，能夠很好的滿足生產(chǎn)生活需要。雖然其自身在某些方面仍然存在局限，但是其未來發(fā)展前景是十分良好的。

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