林本堅一生獲獎無數(shù)，曾十度獲美國IBM杰出發(fā)明獎、美國IBM杰出貢獻獎、2008年當選美國國家工程學院院士……更在2014年獲選為臺灣中研院院士，成為臺灣最高學術殿堂首位企業(yè)界院士。2018年，林本堅又獲得未來科學大獎數(shù)學與計算機科學獎。未來論壇理事會輪值主席陳恂說：“大概從2006年開始至今，世界上所有的高端芯片——包括咱們?nèi)耸忠徊康氖謾C里的核心芯片、人工智能芯片、5G芯片、比特幣挖礦芯片，無一不是浸潤式光刻科技制造的。說沒有浸潤式光刻科技就沒有IT的今天，毫不夸張。世界上第一個提出這個科技的就是林本堅。”

林本堅從小生長在越南西貢，出于對物理的喜愛以及工作機會的思量，林本堅在考臺北大學時選擇了電機系，進而與電磁波結(jié)緣。臺大畢業(yè)后，林本堅又前往美國俄亥俄州立大學攻讀博士學位。畢業(yè)后，林本堅在IBM一做就是22年。在IBM的道路并非一帆風順，50歲時，他申請?zhí)崆巴诵輨?chuàng)業(yè)。然而創(chuàng)業(yè)后，他才發(fā)現(xiàn)專利在美國維持不易，最后應邀加入臺積電。

2002年，全球芯片產(chǎn)業(yè)進入發(fā)展瓶頸期，芯片產(chǎn)業(yè)所遇到的問題主要出自光刻技術，林本堅提出浸潤式光刻技術，在臺積電高層的大力支持下，開始放手一搏。他的創(chuàng)新和推動不但讓全球芯片工藝得以推進了六七代，臺積電也因此躋身一線大廠、主導業(yè)界規(guī)格。2015年底，林本堅從臺積電退休，并應邀加入清華大學擔任講座教授。

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