《中國經(jīng)濟(jì)周刊》：中國市場對ASML意味著什么？鑒于當(dāng)前的國際形勢，ASML進(jìn)入中國市場的前景如何？您認(rèn)為ASML和中國可以在哪些方面進(jìn)行合作？

雷吉梅克：ASML已經(jīng)向中國供應(yīng)機(jī)器。我認(rèn)為中國將成為最大的芯片制造商。在過去的3年中，中國在ASML的銷售額占比已達(dá)10%～15%，而且無論是否可以將EUV機(jī)器交付到中國，這種增長都會繼續(xù)。

不允許ASML向中國交付EUV機(jī)器的原因是美國對荷蘭政府施加的壓力。

如果ASML能夠?qū)UV機(jī)器出售給中國，會如何？如果把7nm看作一個成熟的節(jié)點(diǎn)，我希望中國能在兩年左右的時間內(nèi)進(jìn)入量產(chǎn)階段。這需要投入巨大的精力。而5nm則需要更長的時間。如果沒有限制，中國肯定能在5至10年內(nèi)完成追趕。屆時，第二代EUV將投入生產(chǎn)（3nm及以上），我認(rèn)為這將是最后一代EUV或芯片光刻機(jī)。

《中國經(jīng)濟(jì)周刊》：ASML在世界各地都有供應(yīng)商，甚至有人認(rèn)為ASML所做的只是集成各種設(shè)備。您認(rèn)為，使ASML成為全球領(lǐng)導(dǎo)者的核心競爭力是什么？在其與世界各地供應(yīng)商合作的背景下，為什么其他公司不能生產(chǎn)先進(jìn)的光刻機(jī)？

雷吉梅克：ASML“只是集成各種設(shè)備”是一個謬論。

ASML最初只是一家小公司，除了外包生產(chǎn)（如精密零件和鏡片）和購買標(biāo)準(zhǔn)零件（如激光器、傳感器等）外，別無選擇。

它的核心競爭力是其發(fā)明、設(shè)計和生產(chǎn)非常復(fù)雜的系統(tǒng)的能力。集成所有子系統(tǒng)和組件的能力，這才是ASML真正的優(yōu)勢所在。這是最復(fù)雜的部分——確保所有內(nèi)容無縫協(xié)同工作，以實(shí)現(xiàn)高速、高精度的24/7操作。

ASML已經(jīng)收購了幾家最初是子系統(tǒng)供應(yīng)商的公司，例如Cymer（激光和EUV光源）和Berliner?Glas（微晶玻璃和光學(xué)組件）。進(jìn)行這些收購的原因是，各個部門的工程師無法將子系統(tǒng)與步進(jìn)器（半導(dǎo)體制造的一種關(guān)鍵設(shè)備）的其余部分集成在一起，ASML必須接管控制權(quán)。

我認(rèn)為對于ASML來說，有兩個至關(guān)重要的關(guān)鍵點(diǎn)：

其一，ASML擁有大量的受保護(hù)的專利和知識產(chǎn)權(quán)。事實(shí)上，ASML是一個知識密集型企業(yè)。你可以理解為他們創(chuàng)建了一個新的實(shí)驗(yàn)室，做了很多新的發(fā)明。而且他們非常擅長系統(tǒng)集成方面的知識，他們的工程師了解如何將這些制作光刻機(jī)所需要的元件集成在一起，也知道如何組裝一個光刻機(jī)。對于“ASML僅僅只擁有12%制造光刻機(jī)核心技術(shù)”的說法，我并不認(rèn)同，我認(rèn)為ASML已經(jīng)掌握了超過一半的核心技術(shù)。

其二，ASML仍然會從許多供應(yīng)商那里購買關(guān)鍵部件。如果技術(shù)不能很好地轉(zhuǎn)讓給ASML，ASML就會告訴研究人員，讓他們按照公司的計劃去開展研究。

在過去的36年中，ASML在研發(fā)方面投入了大量資金，如今每年在研發(fā)方面的支出約為20億歐元。這個“研發(fā)機(jī)器”現(xiàn)在非常強(qiáng)大，可以在需要時充當(dāng)問題解決者的角色。每當(dāng)發(fā)生危機(jī)時，總會有ASML研發(fā)應(yīng)急團(tuán)隊(duì)隨時準(zhǔn)備解決問題。例如，當(dāng)該行業(yè)未能為EUV制造開發(fā)標(biāo)準(zhǔn)時，ASML在很短的時間內(nèi)發(fā)明了該技術(shù)。

《中國經(jīng)濟(jì)周刊》：光刻機(jī)是工業(yè)制造的明珠。為什么美國、德國、英國等工業(yè)基礎(chǔ)雄厚、科研實(shí)力強(qiáng)的國家沒有像ASML這樣的光刻行業(yè)巨頭？日本的尼康和佳能為什么不能成為像ASML一樣的公司？

雷吉梅克：這是由于光刻機(jī)行業(yè)的復(fù)雜性和資本密集性。對于ASML的成功，我認(rèn)為在很大程度上有運(yùn)氣成分。

荷蘭是一個小國，但它是飛利浦的故鄉(xiāng)。當(dāng)飛利浦和ASML決定共同開展業(yè)務(wù)并開發(fā)機(jī)器時，ASML實(shí)際上是一個瀕死的嬰兒——它排在光刻機(jī)行業(yè)的末位。

作為一家技術(shù)驅(qū)動的大型跨國公司，飛利浦在20世紀(jì)60年代和70年代取得了巨大成功。飛利浦研究中心在20世紀(jì)70年代開發(fā)了一種晶圓步進(jìn)器，他們認(rèn)為這會帶來技術(shù)優(yōu)勢。幸運(yùn)的是，晶圓步進(jìn)器在飛利浦的一個技術(shù)角落中得以存活。

美國人退出光刻機(jī)行業(yè)的競爭，是因?yàn)樗麄儧]有長期計劃，而且GCA（美國公司，上世紀(jì)80年代初光刻機(jī)行業(yè)的全球銷量冠軍）的技術(shù)確實(shí)無法令人滿意。

雖然德國等其他國家也在努力開發(fā)步進(jìn)器，但我認(rèn)為可能是因?yàn)閺?fù)雜性和資本密集度，導(dǎo)致最終失敗。

我認(rèn)為，摩爾定律奠定了半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的基礎(chǔ)，光刻機(jī)廠商之間必然存在激烈的競爭。如果他們無法及時地將自己的產(chǎn)品推向市場，就會退出光刻機(jī)的主流市場。自上世紀(jì)90年代中期開始，ASML將機(jī)器推向市場的速度就比尼康和佳能還快。

在1984年時，ASML還是這個行業(yè)名單上的倒數(shù)第一。盡管如此，他們?nèi)匀幌露Q心要成為光刻機(jī)的NO.1。用ASML的話說，爭取第二名或第三名是沒有用的，只有當(dāng)你成為第一名，才能成為贏家。如果一開始沒有成為第一名的雄心，就沒必要開始，這個觀點(diǎn)適用于任何將復(fù)雜產(chǎn)品或資本轉(zhuǎn)化為生產(chǎn)或服務(wù)密集型的行業(yè)。

《中國經(jīng)濟(jì)周刊》：中科院宣布將攻堅光刻技術(shù)，您認(rèn)為他們必須解決的問題和難點(diǎn)有哪些？ASML的成功能否被復(fù)制？

雷吉梅克：這項(xiàng)技術(shù)非常復(fù)雜，中國可能需要很長時間才能制造出晶圓步進(jìn)器。我認(rèn)為中國能夠開發(fā)出相當(dāng)先進(jìn)的DUV機(jī)器，但是EUV將會面臨挑戰(zhàn)，例如真空、鏡面投影、非常先進(jìn)的控制系統(tǒng)。

即便中國開發(fā)出了晶圓步進(jìn)器，ASML將會有更先進(jìn)的技術(shù)進(jìn)入市場。

但毫無疑問的是，中國擁有足夠的資金和知識儲備，一旦擁有設(shè)備，就可以啟動先進(jìn)晶圓工廠項(xiàng)目。

我認(rèn)為使用DUV技術(shù)和多重圖案，也可以生產(chǎn)很多新一代的芯片。未來芯片的設(shè)計和應(yīng)用創(chuàng)新是中國必須重點(diǎn)關(guān)注的領(lǐng)域。

即使是ASML的頂級技術(shù)人員，也不了解整個機(jī)器的全貌，只有少數(shù)人能夠理解機(jī)器是如何工作的。即使其他國家的公司參與到光刻機(jī)的競賽中，也沒人會低估光刻設(shè)計的難度，而且它是極難復(fù)制的。

ASML在光刻機(jī)方面擁有大量的專利，且ASML非常重視專利保護(hù)，他們研發(fā)機(jī)器的所有技術(shù)都是最高機(jī)密。

過去，由于摩爾定律的存在，參與這場競賽的唯一機(jī)會就是制造出一臺比競爭對手更先進(jìn)的機(jī)器，這是上世紀(jì)80年代的游戲規(guī)則，到上世紀(jì)90年代就已經(jīng)不是這樣了。

如果你想制造出一臺光刻機(jī)，就需要在技術(shù)上投入大量的資金和人力，然而這樣的技術(shù)也只能維持幾代人。想復(fù)制ASML的成功，需要企業(yè)同時擁有資金、人才、政府支持以及歷史性的機(jī)遇。對于中國來說，與其投資半導(dǎo)體這種已經(jīng)很傳統(tǒng)的技術(shù)，不如先購買ASML的產(chǎn)品，并專注于研發(fā)不同于光刻機(jī)的技術(shù)路線，從而在硅基技術(shù)之后打造未來的信息系統(tǒng)。