上海被賦予打造集成電路產(chǎn)業(yè)高地的重大任務(wù),隨著產(chǎn)業(yè)規(guī)模逐步擴大,廢酸環(huán)境無害化處置成為突出問題。據(jù)了解,上海通過“點對點”資源化定向再利用創(chuàng)新模式已破解這一難題。據(jù)上海市生態(tài)環(huán)境局相關(guān)負責(zé)人介紹,上海首創(chuàng)的廢硫酸“點對點”資源化定向再利用模式運用逐步成熟,目前已經(jīng)全部覆蓋了上海具備回收廢酸條件的集成電路芯片制造企業(yè),總體上穩(wěn)定地解決了上海集成電路芯片制造企業(yè)廢硫酸處置問題。據(jù)上海市集成電路行業(yè)協(xié)會相關(guān)負責(zé)人介紹,集成電路產(chǎn)業(yè)生產(chǎn)過程中會使用大量濃硫酸,排放以硫酸物質(zhì)為主,處理廢硫酸成本很高,同時會存在一定的生態(tài)環(huán)境安全風(fēng)險。這個問題成為阻礙行業(yè)發(fā)展的難題。
在上海市經(jīng)濟和信息化委、上海市生態(tài)環(huán)境局等相關(guān)部門的支持下,上海市固體廢物和化學(xué)品管理技術(shù)中心、上海市集成電路行業(yè)協(xié)會積極探索,多次召開專家研討會論證處置方案,并于2016年開始由中芯國際和澎博公司開展廢硫酸“點對點”資源化定向再利用試點運行,經(jīng)過多輪試點驗證,最終形成較為成熟的經(jīng)驗。
2020年,上海市集成電路行業(yè)協(xié)會會同多部門專門編寫形成了《鈦白粉用集成電路制造行業(yè)廢硫酸》(T/SICA001—2020)團體標(biāo)準,在上海市質(zhì)量技術(shù)監(jiān)督部門網(wǎng)站和國家標(biāo)準網(wǎng)上進行公示,全力保障廢酸源頭質(zhì)量的把控。