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截止斜率可控的藍(lán)光防護(hù)光學(xué)薄膜

2021-06-15 09:09王雨思周賢建李青原葉釗松蔡源海劉近秋卜軼坤
中國(guó)光學(xué) 2021年3期
關(guān)鍵詞:目標(biāo)值折射率藍(lán)光

王雨思,周賢建,李青原,葉釗松,蔡源海,劉近秋,陳 楠,卜軼坤

(1. 廈門大學(xué) 電子科學(xué)與技術(shù)學(xué)院(國(guó)家示范性微電子學(xué)院),廈門 福建 361000;2. 瑞之路(廈門)眼鏡科技有限公司,廈門 福建 361000)

1 引 言

隨著電腦、智能手機(jī)、移動(dòng)顯示設(shè)備等使用人群的不斷增多,屏幕的使用時(shí)長(zhǎng)不斷增加,數(shù)碼時(shí)代的用眼健康問(wèn)題日益被關(guān)注。相關(guān)研究表明,對(duì)人眼有害的藍(lán)光波長(zhǎng)范圍為415~455 nm,高能藍(lán)光不僅會(huì)對(duì)眼睛產(chǎn)生不可逆轉(zhuǎn)的傷害,同時(shí)會(huì)引發(fā)眼底視網(wǎng)膜啟動(dòng)光氧化機(jī)制。長(zhǎng)期的藍(lán)光照射會(huì)導(dǎo)致視網(wǎng)膜色素上皮細(xì)胞衰亡,引起視網(wǎng)膜病變、黃斑變性、白內(nèi)障、青光眼等眼科疾病[1]。另一方面,460~480 nm左右的藍(lán)光光譜波長(zhǎng)對(duì)于人體生物鐘調(diào)節(jié)起著非常重要的作用。近年來(lái),對(duì)于如何有效防治藍(lán)光損傷的同時(shí),也不影響藍(lán)光衰減對(duì)于人體節(jié)律調(diào)節(jié)的影響研究,成為熱點(diǎn)課題,在商用光源及防護(hù)鏡片領(lǐng)域受到了廣泛重視[2]。

目前,有效的藍(lán)光防護(hù)技術(shù)路線主要有兩條:一種是采用吸收方式,即直接在鏡片材質(zhì)中加入吸收材料,如褐色素、黃色素等著色劑實(shí)現(xiàn)短波藍(lán)光透射衰減,此類技術(shù)路線的典型代表為德國(guó)哈羅防藍(lán)光護(hù)目眼鏡,該方案通過(guò)在鏡片中添加吸收劑,能過(guò)濾97%高能短波藍(lán)光,但其局限性在于,該方案由于藍(lán)光吸收過(guò)高將導(dǎo)致鏡片發(fā)黃,嚴(yán)重破壞了色中性,這種產(chǎn)品只適用于專業(yè)電子防護(hù),在日光條件下不能滿足一般鏡片增透鍍膜的需要;另一種采用反射方式,即利用光學(xué)鍍膜方式對(duì)不同波段的濾光進(jìn)行處理[3-4]。這也是目前國(guó)內(nèi)外眼鏡企業(yè)及激光防護(hù)領(lǐng)域所采取的主流技術(shù)路線。基于反射方式的防護(hù)薄膜種類繁多,通過(guò)對(duì)特定波長(zhǎng)光的濾除,可以起到防護(hù)效果[5-7]。例如,用于實(shí)現(xiàn)400~500 nm短波截止的濾光片稱為干涉截止濾光片,通過(guò)高低折射率多層介質(zhì)薄膜間的干涉原理,可對(duì)藍(lán)光波段415 nm~455 nm實(shí)現(xiàn)高反射率,對(duì)475 nm~760 nm藍(lán)光波段實(shí)現(xiàn)高透過(guò)率,進(jìn)而對(duì)藍(lán)光實(shí)現(xiàn)部分阻隔?,F(xiàn)有方案的局限性在于,干涉截止濾光片的截止斜率寬窄僅通過(guò)改變高低折射率薄膜的膜對(duì)周期數(shù)來(lái)實(shí)現(xiàn)。其光譜目標(biāo)值的取值方法多采取與工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)匹配的分段取值方法。目標(biāo)值的設(shè)計(jì)往往是線性且隨機(jī)的,因而優(yōu)化過(guò)程中不僅增加了運(yùn)算量,還由于解的不唯一性引入額外誤差。由于截止斜率的調(diào)控精度不高,容易造成445~475 nm的有益藍(lán)光透射性能不達(dá)標(biāo)的問(wèn)題。

本文提出一種適用于GB/T38120—2019標(biāo)準(zhǔn)的斜率可控藍(lán)光防護(hù)薄膜實(shí)用解決方案。通過(guò)改進(jìn)薄膜設(shè)計(jì)過(guò)程中目標(biāo)值的設(shè)定方法,利用非線性玻爾茲曼函數(shù)擬合長(zhǎng)波通薄膜結(jié)構(gòu),獲得非線性目標(biāo)值;并進(jìn)一步優(yōu)化膜系中的膜層厚度使其滿足光譜設(shè)計(jì)要求;改進(jìn)的非線性目標(biāo)值結(jié)合計(jì)算機(jī)輔助優(yōu)化實(shí)現(xiàn)了厚度最優(yōu)解的選取,得到了斜率可高精度調(diào)控的全介質(zhì)薄膜結(jié)構(gòu)。研究發(fā)現(xiàn)利用改進(jìn)的目標(biāo)值優(yōu)化膜系結(jié)構(gòu),光譜通帶波段具有明顯的波紋減緩振蕩效果。采用電子束蒸發(fā)離子束輔助沉積方法,成功制備了具有藍(lán)光防護(hù)功能的光學(xué)多層薄膜。該目標(biāo)值設(shè)定方法能夠更好地結(jié)合薄膜優(yōu)化算法簡(jiǎn)化優(yōu)化過(guò)程,提高最優(yōu)解選取精度,更好地滿足藍(lán)光防護(hù)薄膜膜系設(shè)計(jì)的需要。

2 藍(lán)光防護(hù)薄膜工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)

由于白光LED的輻射光譜強(qiáng)度主要集中于400~500 nm范圍,峰值輻射強(qiáng)度局限在415~455 nm附近。因此,445 nm以下波長(zhǎng)的光會(huì)對(duì)人眼造成傷害,應(yīng)該適當(dāng)濾除。根據(jù)GB/T 38120—2019《藍(lán)光防護(hù)膜的光健康與光安全應(yīng)用技術(shù)要求》,藍(lán)光防護(hù)膜的光透射比應(yīng)滿足表1中要求。另一方面,晝夜節(jié)律響應(yīng)函數(shù)的峰值在464 nm處,主要位于446~477 nm的藍(lán)光波段。同時(shí)根據(jù)國(guó)家輕工行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)QB/T 2506—2017 《眼鏡鏡片光學(xué)樹脂鏡片》可知,445 nm以上波長(zhǎng)的光,對(duì)人體節(jié)律具有有益調(diào)節(jié)功能,因此保證445~475 nm的高透過(guò)率至關(guān)重要,這也就引入了透射波段精確調(diào)控的問(wèn)題。

表1 GB/T38120—2019藍(lán)光防護(hù)膜的光透射比要求Tab. 1 Light transmittance requirement of blue-blocking protective thin films according to GB/T38120—2019

其中光透射比計(jì)算公式為:

式中λ為波長(zhǎng),單位為納米(nm);E0(λ)為光源初始光譜能量分布;E1(λ)為光路中加入鏡片后的光譜能量分布。為方便統(tǒng)一計(jì)算,用Es(λ)太陽(yáng)光譜功率分布代替E0(λ)。為了對(duì)上述有害藍(lán)光濾除及有益藍(lán)光增強(qiáng)進(jìn)行準(zhǔn)確評(píng)估,利用兩個(gè)參數(shù)精確評(píng)價(jià)藍(lán)光護(hù)目鏡片及薄膜的光譜性能:藍(lán)光透射比τs,b可以量化評(píng)估由于暴露于藍(lán)光輻射而可能對(duì)視網(wǎng)膜造成的損害程度;445~475 nm光透射比τc可用于衡量藍(lán)光阻隔對(duì)節(jié)律的影響;τs,b與τc計(jì)算公式如下:

式(2)中,藍(lán)光危害的波段主要集中于400~500 nm,峰值波長(zhǎng)為437 nm。藍(lán)光危害加權(quán)函數(shù)B(λ)數(shù)據(jù)來(lái)自GB/T 20145—2006。式(3)中,波段445~475 nm的選取可以用于量化鏡片抑制藍(lán)光輻射對(duì)人體晝夜節(jié)律的影響能力。鏡片對(duì)晝夜節(jié)律的影響由τc表示。τs,b的取值范圍為0~1,τs,b=0表示鏡片完全阻擋藍(lán)光,鏡片完全阻擋藍(lán)光對(duì)晝夜節(jié)律影響較大不利于褪黑素分泌。τs,b=1表示鏡片沒(méi)有藍(lán)光阻隔能力,不會(huì)影響正常晝夜節(jié)律。

3 藍(lán)光防護(hù)薄膜的設(shè)計(jì)

3.1 改進(jìn)的非線性目標(biāo)值選取方法

對(duì)于在500~800 nm波段具有很高的透過(guò)率,在相鄰的400~450 nm波段上急速過(guò)渡到透射被完全截止?fàn)顟B(tài),這種類型的光譜設(shè)計(jì)可以通過(guò)干涉截止濾光片實(shí)現(xiàn)[8]。常用高、低折射率相互交替的透明介質(zhì)材料TiO2/SiO2來(lái)設(shè)計(jì)膜系,膜系初始結(jié)構(gòu)可表示為(0.5HL0.5H)^s。s為對(duì)稱膜系的周期;0.5H表示光學(xué)厚度為1/8波長(zhǎng)的高折射率TiO2材料;L表示光學(xué)厚度為1/4波長(zhǎng)的低折射率SiO2材料。TiO2/SiO2膜對(duì)組合的多層膜系在透射帶內(nèi)利用等效折射率E替換成單層膜,膜系反射率在兩個(gè)數(shù)值之間振蕩,分別是:

基片反射率:

上包絡(luò)反射率:

目前,最普遍的消除波紋的方法為改變周期內(nèi)的膜層厚度,以實(shí)現(xiàn)薄膜和基板以及薄膜和空氣之間的相位匹配。結(jié)合計(jì)算機(jī)輔助算法使等效折射率變?yōu)楦咏念A(yù)期值。光學(xué)薄膜的優(yōu)化問(wèn)題本質(zhì)是通過(guò)構(gòu)建初始膜系的響應(yīng)特性R(λ)與所期望的理想特性RD(λ)之間的差別構(gòu)成評(píng)價(jià)函數(shù),來(lái)評(píng)價(jià)設(shè)計(jì)性能的優(yōu)劣。優(yōu)化方法主要有:最小二乘法、準(zhǔn)牛頓法、共軛梯度法、單純形法、黃金分割法以及聚類全局優(yōu)化算法等[9]。對(duì)于自動(dòng)優(yōu)化設(shè)計(jì)來(lái)說(shuō),初始結(jié)構(gòu)的選取對(duì)于最終優(yōu)化結(jié)果的優(yōu)劣尤為重要。初始結(jié)構(gòu)的選取一般要求有經(jīng)驗(yàn)的人員從平時(shí)的積累或者解析分析中得出。例如,濾光片的目標(biāo)反射率可以取下列特征的理想化參數(shù):

構(gòu)造不同類型的評(píng)價(jià)函數(shù),如計(jì)算平方和型評(píng)價(jià)函數(shù)最小值,進(jìn)而得到理想的設(shè)計(jì)結(jié)果。

值得注意的是,目標(biāo)值的線性理想?yún)?shù)在截止帶與通帶過(guò)渡區(qū)域取值不好,尖點(diǎn)與未能重合區(qū)域會(huì)在評(píng)價(jià)函數(shù)中占一定的比例,給評(píng)價(jià)函數(shù)收斂帶來(lái)難度與額外的計(jì)算量。這就影響了濾光片在通帶的光譜性能,導(dǎo)致通帶內(nèi)透射波紋不能很好消除。另外,該方法不能較好地實(shí)現(xiàn)斜率調(diào)控的目的,收斂過(guò)程隨機(jī),對(duì)于高精度控制斜率及計(jì)算機(jī)尋找特殊曲線類型的計(jì)算結(jié)果會(huì)令人失望。

本文采用與薄膜類型一致的函數(shù)關(guān)系獲取非線性目標(biāo)值。圖1(彩圖見(jiàn)期刊電子版)是常規(guī)光學(xué)薄膜設(shè)計(jì)流程圖,S1,S2,S3為長(zhǎng)波通薄膜結(jié)構(gòu)不同膜對(duì)周期數(shù)S的仿真透射光譜曲線??梢?jiàn),曲線斜率隨著周期數(shù)的增加而變陡峭。以往的設(shè)計(jì)中,當(dāng)薄膜材料固定時(shí),周期數(shù)S為調(diào)節(jié)長(zhǎng)波通濾光片斜率的主要參數(shù)。由圖1可知,周期數(shù)增多雖然可以使得截止斜率更加陡峭,然而并不能實(shí)現(xiàn)對(duì)斜率的精準(zhǔn)調(diào)控。通過(guò)OriginPro軟件擬合長(zhǎng)波通薄膜結(jié)構(gòu)的光譜,得到非線性玻爾茲曼方程。根據(jù)國(guó)標(biāo)要求,通過(guò)調(diào)整非線性玻爾茲曼方程的4個(gè)參數(shù),能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)斜率及截止位點(diǎn)的參數(shù)化調(diào)制。

圖1 非線性目標(biāo)值的光學(xué)薄膜設(shè)計(jì)流程圖Fig. 1 Flowchart of optical thin film design based on a nonlinear target

3.2 滿足藍(lán)光防護(hù)要求的光譜目標(biāo)值

利用上述擬合方法得到的函數(shù)關(guān)系還不能滿足藍(lán)光防護(hù)的光譜設(shè)計(jì)要求,需要對(duì)函數(shù)方程參數(shù)進(jìn)行調(diào)整。表2描述了不同參數(shù)條件下,玻爾茲曼函數(shù)曲線的分布規(guī)律。該函數(shù)利用參數(shù)a1表示初始值;a2表示最終值;(a2?a1)/dx表示曲線斜率;中點(diǎn)位置橫坐標(biāo)用X0表示。通過(guò)調(diào)節(jié)以上參數(shù),使得函數(shù)曲線滿足國(guó)標(biāo)要求,即可找到滿足條件的光譜目標(biāo)值。A1-D1描述了中心坐標(biāo)X0在400~460 nm每隔20 nm取值所得的函數(shù)曲線,用于分析藍(lán)光衰減波長(zhǎng)的最佳位點(diǎn)。A2-D2曲線為調(diào)整斜率的曲線,用于分析光譜斜率與藍(lán)光防護(hù)性能之間的影響。

表2 玻爾茲曼目標(biāo)值參數(shù)取值Tab. 2 Values of Boltzmann target parameter

將得到的8組曲線A1~D1,A2~D2帶入式(2),式(3),得到藍(lán)光阻隔參數(shù)τs,b以及晝夜節(jié)律影響參數(shù)τc,如圖2(彩圖見(jiàn)期刊電子版)所示。由于濾光片性能需要在實(shí)現(xiàn)短波藍(lán)光衰減的同時(shí),保證445~475 nm有益藍(lán)光的透射功能,所以對(duì)于430~450 nm波段的斜率邊緣陡峭程度的控制就顯得尤為關(guān)鍵。圖2中藍(lán)色區(qū)域表示曲線能夠同時(shí)兼顧藍(lán)光阻隔及節(jié)律調(diào)節(jié)功能的取值范圍。因此,利用B1曲線類型作為目標(biāo)值用于多層薄膜設(shè)計(jì),可以實(shí)現(xiàn)符合要求的深截止藍(lán)光防護(hù)薄膜。

圖2 藍(lán)光阻隔參數(shù)τs,b與晝夜節(jié)律影響參數(shù)τc計(jì)算結(jié)果Fig. 2 Calculation results of blue hazard factors τs,b andcircadian rhythm factors τc

3.3 多層光學(xué)薄膜結(jié)構(gòu)優(yōu)化

分別利用玻爾茲曼非線性目標(biāo)值B1和線性目標(biāo)值優(yōu)化得到膜系結(jié)構(gòu),仿真透射光譜結(jié)果如圖3(彩圖見(jiàn)期刊電子版)所示。以K9為基板(ns=1.52),選用(H/2 L H/2)^S長(zhǎng)波通薄膜初始結(jié)構(gòu)。薄膜材料選用較高折射率材料TiO2(nTiO2= 2.25@510 nm)與SiO2(nSiO2= 1.45@510 nm)作為膜對(duì)組合,可以在較少的層數(shù)下達(dá)到光譜要求[10]。SiO2膜層結(jié)構(gòu)為無(wú)定型態(tài),在工作波長(zhǎng)上色散較小,消光系數(shù)低,吸收少,是一種理想的低折射率材料[11-12]。目標(biāo)值優(yōu)化過(guò)程通過(guò)設(shè)定與長(zhǎng)波通“S”線形一致的光譜目標(biāo)(Target),利用玻爾茲曼函數(shù)得到滿足藍(lán)光光譜特性要求的目標(biāo)函數(shù)B1,結(jié)合局部?jī)?yōu)化算法對(duì)膜層厚度進(jìn)行精細(xì)修正來(lái)完成設(shè)計(jì)。膜系設(shè)計(jì)的初始結(jié)構(gòu)保持了相同的14層薄膜結(jié)構(gòu),帶入Macleod中優(yōu)化,用以說(shuō)明相同層數(shù)和膜系結(jié)構(gòu)條件下,線性及非線性目標(biāo)值對(duì)通帶內(nèi)光譜性能的影響。Simplex Parameters中的迭代次數(shù)等相關(guān)參數(shù)保持一致。目標(biāo)值數(shù)據(jù)波長(zhǎng)間隔選為1 nm,范圍為380~780 nm。基于線性目標(biāo)值優(yōu)化得到的膜系Z1為:

膜層總厚度為702.24 nm,總層數(shù)為14層。數(shù)字代表物理厚度。同理,基于線性目標(biāo)值優(yōu)化得到的膜系Z2為:

膜層總厚度為697.37 nm,總層數(shù)為14層。數(shù)字代表物理厚度。

圖3(a)、3(c)分別為基于非線性和線性目標(biāo)值優(yōu)化得到的薄膜400~800 nm透射光譜。圖3(b)、3(d)為各種透射光譜500~800 nm波段的局部放大圖??梢?jiàn),“S”線形的函數(shù)目標(biāo)值優(yōu)化得到的透射振蕩區(qū)間范圍明顯小于直線段線形目標(biāo)值優(yōu)化結(jié)果,具有更平坦的光譜性能。為了更好地分析基于線性及非線性目標(biāo)值優(yōu)化得到的多層膜通帶透射曲線的增透及振蕩程度,仿真得到不同層數(shù)的藍(lán)光防護(hù)膜的導(dǎo)納終點(diǎn)在500到800 nm處的軌跡圖,如圖3(e)~3(f)所示。根據(jù)反射公式,n0為空氣的折射率,Y為膜層的等效導(dǎo)納。若使薄膜在500~800 nm內(nèi)高透,由R=1?T可知,n0=Y時(shí)可使反射為零。圖3(e)中藍(lán)色實(shí)線表示的導(dǎo)納軌跡在500~800 nm內(nèi),位于Air(1,0)附近。而圖3(f)中,500~800 nm內(nèi)的導(dǎo)納軌跡偏離(1,0)程度較高,因而透射光譜具有更高的振蕩效果。對(duì)比分析上述線性及非線性目標(biāo)值優(yōu)化結(jié)果可看出,改進(jìn)的玻爾茲曼目標(biāo)值優(yōu)化得到的藍(lán)光防護(hù)薄膜結(jié)構(gòu)具有明顯的斜率控制和通帶波紋壓縮特點(diǎn)。分析仿真光譜可知,改進(jìn)的目標(biāo)值取值方法具有明顯的斜率控制和通帶波紋壓縮特點(diǎn)。由500~800 nm導(dǎo)納軌跡可知,通帶波紋壓縮是由于平滑的目標(biāo)值曲線,特別是拐點(diǎn)處的目標(biāo)值與光譜值差異性減少導(dǎo)致的。

圖3 基于非線型((a),(b),(e))及線型((c),(d),(f))目標(biāo)值設(shè)計(jì)藍(lán)光防護(hù)薄膜的仿真透過(guò)率和導(dǎo)納軌跡曲線Fig. 3 Theoretical design of transmittance curve of blue light protective film based on nonlinear ((a), (b), (e)) and linear ((c),(d), (f)) targets

4 藍(lán)光防護(hù)薄膜的制備和分析

4.1 單層膜表征

實(shí)驗(yàn)采用ZZS850型電子束蒸發(fā)離子束輔助沉積系統(tǒng)分別制備藍(lán)光防護(hù)單層薄膜和多層薄膜,離子源采用中國(guó)科學(xué)院空間中心K12考夫曼寬束離子源進(jìn)行離子輔助沉積[13]。電子槍蒸鍍過(guò)程中, TiO2容易失氧,會(huì)形成不同的結(jié)晶態(tài)。為了得到完整的TiO2膜,以Ti3O5顆粒材料作為蒸發(fā)的源材料最好,因?yàn)樗梢援a(chǎn)生相當(dāng)恒定的折射率和更好的耐磨性。單層TiO2薄膜沉積參數(shù):離子源偏壓為300 V;離子束流為120 mA;沉積速率為0.3 nm/s;采用石英晶振控制,基片溫度為65 ℃;Ar氣流量為2 cm3/min,O2流量為10 cm3/min;鍍膜基片選用厚度為2 mm、直徑為20 mm的K9光學(xué)玻璃,鍍膜前基片采用酒精和乙醚混合液清洗;并采用壓強(qiáng)控制儀控制真空內(nèi)的氣體壓力,控制真空度為1.5×10?2Pa。單層SiO2薄膜采用環(huán)形SiO2作為蒸發(fā)材料。沉積速率為1 nm/s,其它沉積參數(shù)完全一樣。

薄膜軟件Opti RE用于擬合測(cè)量的透射光譜以獲得SiO2層的折射率。確定厚度及光學(xué)常數(shù)范圍時(shí),由于SiO2薄膜的消光系數(shù)在可見(jiàn)光波長(zhǎng)范圍內(nèi)低于1.0×10?4,對(duì)透射的影響可忽略不計(jì)。TiO2薄膜短波弱吸收使用柯西定律擬合折射率與波長(zhǎng)的關(guān)系。擬合得到的單層膜光學(xué)常數(shù)如表3所示。

表3 TiO2和SiO2單層膜的光學(xué)常數(shù)Tab. 3 Optical constants of the TiO2 and SiO2 thin films

4.2 多層膜制備

采用電子束蒸發(fā)離子束輔助沉積技術(shù),根據(jù)3.3節(jié),膜系Z1結(jié)構(gòu)選擇TiO2和SiO2分別作為高低折射率薄膜材料,得到14層藍(lán)光防護(hù)薄膜。對(duì)制備的單面藍(lán)光防護(hù)光學(xué)薄膜,采用Lambda 750分光光度計(jì),對(duì)可見(jiàn)光400~800 nm內(nèi)的透射曲線進(jìn)行測(cè)試,實(shí)驗(yàn)結(jié)果如圖4所示。

圖4 藍(lán)光防護(hù)薄膜的400~800 nm透射曲線Fig. 4 Transmission of the blue light protective thin film at 400~800 nm

由圖4可知,藍(lán)光防護(hù)薄膜的測(cè)試曲線與理論設(shè)計(jì)曲線基本吻合。薄膜的光譜特性在385~415 nm的平均透過(guò)率小于15%,實(shí)現(xiàn)高能短波深截止;在415~445 nm的平均透過(guò)率小于50%,實(shí)現(xiàn)高能短波適當(dāng)濾除;在445~475 nm的平均透過(guò)率大于80%,保障了有益藍(lán)光透射對(duì)節(jié)律調(diào)節(jié)的需要;在475~800 nm平均透過(guò)率大于95%,滿足了剩余可見(jiàn)光波段高透過(guò)率需要。

5 結(jié) 論

本文根據(jù)藍(lán)光防護(hù)鏡片及薄膜工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)中500~800 nm波段高透過(guò)、400~450 nm波段藍(lán)光深截止的要求,提出了利用非線性玻爾茲曼函數(shù)擬合長(zhǎng)波通薄膜結(jié)構(gòu)的方法。結(jié)果表明,通過(guò)改進(jìn)的非線性光譜目標(biāo)值優(yōu)化膜系結(jié)構(gòu),可以實(shí)現(xiàn)更好的光譜性能。對(duì)比線性和非線性仿真光譜分析結(jié)果可知,改進(jìn)的目標(biāo)值取值方法具有明顯的斜率控制和通帶波紋壓縮特點(diǎn)。對(duì)比線性和非線性500~800 nm導(dǎo)納軌跡可知,通帶波紋壓縮是由于平滑的非線性目標(biāo)值曲線,特別是拐點(diǎn)處的目標(biāo)值與光譜值差異性減少導(dǎo)致的。最后,采用電子束蒸發(fā)離子束輔助沉積鍍膜方法,在K9基片上成功制備了具有短波藍(lán)光深截止及剩余可見(jiàn)光波段高透過(guò)率特性的藍(lán)光防護(hù)功能薄膜。所制備的藍(lán)光防護(hù)薄膜滿足GB/T38120—2019要求。

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