西安工業(yè)大學研究了利用脈沖電弧離子鍍技術制備類金剛石(DLC)薄膜的工藝及方法，并對其抗激光損傷特性進行了分析測試，得出了該制備技術下DLC薄膜抗激光損傷閾值的最佳制備工藝條件和最顯著影響因素；研究了非平衡磁控濺射技術制備DLC薄膜的工藝及方法，并對其抗激光損傷特性進行了分析測試，獲得了此制備技術下DLC薄膜抗激光損傷閾值的最佳制備工藝條件和最顯著影響因素；在分析論證薄膜激光損傷機理的基礎上，研究了DLC薄膜抗強激光損傷閾值的測試方法與評價標準，對制備的DLC薄膜的激光損傷閾值大小進行了測試與分析；制備出了既能滿足產(chǎn)品光學性能要求，又具有較強抗激光損傷能力的DLC激光薄膜。

利用兩種制備方法和項目研究中取得的關鍵技術，已成功的為國內多家單位(西安應用光學研究所、南京理工大學和西安光機所等)制備了用于紅外窗口表面增透保護和滿足系列激光產(chǎn)品要求的DLC激光薄膜，經(jīng)所有用戶應用后證明，該研究成果不僅使產(chǎn)品的整個光學系統(tǒng)既具有良好的光學性能，同時又具有一定的抗激光損傷能力。不僅解決了這些單位研究生產(chǎn)中遇到的關鍵技術問題，而且為這些單位帶來了一定的經(jīng)濟效益。