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一種可抗干擾的柔性電容式拉力傳感器及其制備方法

2022-03-12 23:09
傳感器世界 2022年12期
關(guān)鍵詞:電容式基板本發(fā)明

申請?zhí)? 202210777616.4

【申請日】2022.07.04

【公開號】CN115046657A

【公開日】2022.09.13

【分類號】G01L1/14

【申請人】海相(江蘇)科技有限公司; 太原理工大學(xué)

【發(fā)明人】張東光; 王志民; 楊嘉怡

【摘 要】本發(fā)明涉及柔性拉力傳感器,具體是一種可抗干擾的柔性電容式拉力傳感器及其制備方法。本發(fā)明解決了現(xiàn)有柔性電容式拉力傳感器在外部電磁干擾的影響下測量準(zhǔn)確性差的問題。一種可抗干擾的柔性電容式拉力傳感器,包括上可導(dǎo)電屏蔽層、下可導(dǎo)電屏蔽層、柔性上基板、柔性下基板;上可導(dǎo)電屏蔽層的下表面和柔性上基板的上表面粘合在一起形成柔性上復(fù)合層;下可導(dǎo)電屏蔽層的上表面和柔性下基板的下表面粘合在一起形成柔性下復(fù)合層;柔性上基板的下表面開設(shè)有叉指型微流控通道;柔性上基板的下表面和柔性下基板的上表面粘合在一起;叉指型微流控通道內(nèi)填充有液態(tài)金屬叉指電極。本發(fā)明適用于智能穿戴、醫(yī)療監(jiān)測設(shè)備、軟體機器人等領(lǐng)域。

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