刁雯蕙

中科院深圳先進技術(shù)研究院正高級工程師李劍平團隊提出了一種生成薄而寬的準(zhǔn)無衍射激光光片的光瞳掩模優(yōu)化設(shè)計方法。該方法提出了一個光片質(zhì)量的全局評價因子，用以表征光片厚度、無衍射范圍和旁瓣之間的制衡關(guān)系。理論和實驗表明，優(yōu)化后的掩模可將靜態(tài)光片無衍射范圍擴大50%，同時使其旁瓣低于20%。據(jù)此生成的新型靜態(tài)光片可以在不犧牲軸向分辨率的前提下，對樣品實現(xiàn)更大視野成像。